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新一代晶圆划片技术 被引量:3
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作者 江朝宗 伯诺 理查德扎根 《电子工业专用设备》 2007年第6期31-34,48,共5页
随着半导体及电子业技术的发展和消费市场无止境的需求,传统的划片(Dicing)技术,在许多方面已经无法满足业者的需求,代之而起的是激光划片(Laser Dicing)技术。而激光固然有某些优势,却亦有其缺陷。无论如何,激光引领划片的潮流,来势汹... 随着半导体及电子业技术的发展和消费市场无止境的需求,传统的划片(Dicing)技术,在许多方面已经无法满足业者的需求,代之而起的是激光划片(Laser Dicing)技术。而激光固然有某些优势,却亦有其缺陷。无论如何,激光引领划片的潮流,来势汹汹,难以抵檔。 展开更多
关键词 划片 激光划片 微水刀激光 水导激光 超薄晶圆
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