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新一代晶圆划片技术
被引量:
3
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作者
江朝宗
伯诺 理查德扎根
《电子工业专用设备》
2007年第6期31-34,48,共5页
随着半导体及电子业技术的发展和消费市场无止境的需求,传统的划片(Dicing)技术,在许多方面已经无法满足业者的需求,代之而起的是激光划片(Laser Dicing)技术。而激光固然有某些优势,却亦有其缺陷。无论如何,激光引领划片的潮流,来势汹...
随着半导体及电子业技术的发展和消费市场无止境的需求,传统的划片(Dicing)技术,在许多方面已经无法满足业者的需求,代之而起的是激光划片(Laser Dicing)技术。而激光固然有某些优势,却亦有其缺陷。无论如何,激光引领划片的潮流,来势汹汹,难以抵檔。
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关键词
划片
激光划片
微水刀激光
水导激光
超薄晶圆
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职称材料
题名
新一代晶圆划片技术
被引量:
3
1
作者
江朝宗
伯诺 理查德扎根
机构
瑞士喜诺发公司中国代表处
出处
《电子工业专用设备》
2007年第6期31-34,48,共5页
文摘
随着半导体及电子业技术的发展和消费市场无止境的需求,传统的划片(Dicing)技术,在许多方面已经无法满足业者的需求,代之而起的是激光划片(Laser Dicing)技术。而激光固然有某些优势,却亦有其缺陷。无论如何,激光引领划片的潮流,来势汹汹,难以抵檔。
关键词
划片
激光划片
微水刀激光
水导激光
超薄晶圆
Keywords
Dicing
Laser dicing
Laser Micro Jet
Water Jet Guided Laser
Ultra thin wafer
分类号
TN305.1 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
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作者
出处
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1
新一代晶圆划片技术
江朝宗
伯诺 理查德扎根
《电子工业专用设备》
2007
3
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