分子外流源L1211中近红外HH天体的发现(英文)

报告分子外流源Ｌ１２１１ 中新发现的１２ 个近红外ＨＨ 天体．在Ｌ１２１１ 的～４’区域，取得了ＪＨＫ’宽带和Ｈ２ ｖ ＝ １０ Ｓ（１） 发射线窄带的近红外图像．分析表明，新探测到的许多红外源与浓密分子云物理成协，其中有２０ 多个源表现出典型的Ｔ Ｔａｕｒｉ 星、Ｈｅｒｂｉｇ Ａｅ／Ｂｅ星和原恒星的红外超．Ｌ１２１１ 中的ＩＲＡＳ点源没有被观测到，可能是更深地埋于分子云中．对红外观测和分子线观测消光估计的比较显示，小于２μｍ 的近红外观测还不足以揭示深埋于分子云的整个年轻星团．根据近红外ＨＨ 天体的形态分布和红外源性质，能进一步证认这些ＨＨ 天体的激发源．其结果表明，Ｌ１２１１

HV-9000型精密平坦化装置

ＳＯＮＹ公司在该装置中所采用的半固定颗粒研磨轮与ＣＭＰ技术中所用的研磨装置相似，对半导体制造中单元分离、层间绝缘膜平坦化等工艺残留台阶误差的除去，效率相当高。已面市的ＨＶ－９０００型精密平坦化装置还可适用于今后的３００ｍｍ圆片加工。本文对其作一简要介绍。