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高纯度蚀刻气体的开发和生产
1
作者
佐藤四郎
石井冬彦
《有机氟工业》
CAS
1996年第3期36-36,共1页
关键词
气体蚀刻
氟化物气体
蚀刻
下载PDF
职称材料
题名
高纯度蚀刻气体的开发和生产
1
作者
佐藤四郎
石井冬彦
机构
关东电化工业(株)新制品开发本部水岛研究所
关东电化工业(株)新制品开发本部氟研究所
出处
《有机氟工业》
CAS
1996年第3期36-36,共1页
关键词
气体蚀刻
氟化物气体
蚀刻
分类号
TQ116.49 [化学工程—无机化工]
TQ124.3 [化学工程—无机化工]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
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1
高纯度蚀刻气体的开发和生产
佐藤四郎
石井冬彦
《有机氟工业》
CAS
1996
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