超精密抛光机床设计及床身动态特性分析

为满足光学元件表面精密抛光加工的需要和减少加工与检测中二次装夹产生的误差,文中设计研发了一款集精密抛光加工与测量一体化的超精密抛光机床,并对其进行动态特性分析。首先,应用ANSYS Workbench对机床床身模型进行模态分析,得出前6阶固有频率均在100 Hz以内;然后,对机床床身样机进行试验模态测试分析,测试结果与仿真结果基本吻合,误差小于7%,验证了建立的有限元模型具有良好的精度;最后,基于有限元模型,在模态分析的基础上对机床整机进行动态特性分析,分析环境振动和加工振动对机床的加工平台、测量平台等关键位置的振动特性的影响。结果表明:研发的机床结构合理,具有良好的稳定性,为我国超精密机床结构的设计与优化提供了参考与理论依据。

磨料水射流抛光技术进展综述

磨料水射流抛光技术具有加工材料范围广、无热加工影响、能满足非线性与复杂曲面零件需要的高形状精度和高表面粗糙度要求等优势,在精密加工领域具有良好的研究价值和应用前景。首先对加工质量高敏感的工艺参数,如射流动能、喷嘴结构、磨料类型、加工路径等研究进行综述,总结了不同材料加工的工艺参数,分析了不同形状的去除函数加工的适用性;然后对磨料水射流与其他技术结合而衍生出的一系列新技术进行了总结,比较各种新技术的特点;最后对磨料水射流加工及其材料去除函数模型研究的发展趋势进行预测。