ZnS/MgF_2截止滤光片的潮气吸附

潮气吸附是薄膜光学滤光片的光学不稳定性的主要原因。本文介绍了利用吸附技术研究ZnS和MgF_2构成的截止滤光片、宽带滤光片等的潮气渗透过程及潮气吸附所引起的分光特性的漂移。对于短波通滤光片,这种漂移可达200A左右,而对于间隔层为MgF_2的多腔宽带滤光片.漂移量可达250A左右。这与基于薄膜的聚集密度概念在PC-1500袖珍计算机上模拟的结果相当一致。

紫外反射镜的研制

随着紫外大功率准分子激光器的发展,金属反射镜已不能满足要求,所以必须研制低损耗的全介质反射镜。本文描述了波长350nm(XeF)、308nm(XeCl)、248nm(KrF)和193nm(ArF)四种准分子激光反射镜的制备技术,其反射率分别达到99.7％、99.5％ 、98％和96％。在波长308nm,反射镜的激光破坏阈值达8J/cm^2以上。

诱导透射滤光片监控误差的计算机模拟

本文讨论了膜系控制误差模拟计算的方法,并利用此方法计算了控制误差对诱导透射滤光片特性的影响;对诱导透射滤光片的两种控制方法作了计算机模拟。模拟结果表明,诱导透射滤光片的直接监控具有较高的成品率。实验结果与理论模拟是符合的。