高性能模拟集成电路工艺技术

介绍了模拟集成电路工艺的发展过程和现状,讨论了国内的BiCMOS工艺、互补双极工艺(CB)、和SOI双极工艺的最新进展。重点介绍了BiCMOS工艺的研究与开发,指出了模拟集成电路工艺的发展趋势。

二十四所半导体工艺技术发展历程与展望

回顾了中电科技集团公司第二十四研究所自建所以来的半导体集成电路工艺发展历程。晶圆尺寸从1.5吋(40 mm)到6吋(150 mm),特征线宽从10μm到0.5μm,器件特征频率从低频到射频,工作电压从5 V到800 V,包括射频和高压大功率的各种器件。从研制成功全国第一块大规模集成电路至今,二十四所作为全国唯一的模拟集成电路专业研究所,在各个领域均取得了突出的成就,见证了中国半导体集成电路事业的发展历程。最后,展望了二十四所模拟及专用集成电路工艺技术的发展前景。

平行缝焊工艺抗盐雾腐蚀技术研究

抗盐雾腐蚀是提高集成电路封装可靠性的重要手段之一。根据金属腐蚀机理,通过优化封焊工艺和AuSn合金焊料平行缝焊封盖工艺,以及在封盖后再次进行电镀修复损伤等措施,提高了平行缝焊集成电路的抗盐雾腐蚀能力。

枇杷叶片越冬期光合色素及矿质营养含量的变化

以枇杷品种解放钟为材料,对越冬期(2002年11月至2003年2月)叶片光合色素及矿质营养含量的变化进行了研究.结果表明,越冬过程中解放钟枇杷幼叶、成熟叶及老叶叶绿素b含量逐渐下降,而叶绿素a、叶绿素a+b及类胡萝卜素(Car)含量先增加后下降,2月份其含量降至最低.11月份至翌年1月份叶片叶绿素a、叶绿素b、叶绿素a+b及Car含量为:老叶>成熟叶>幼叶;2月份叶片叶绿素a+b含量及叶绿素a/b表现为:成熟叶>老叶>幼叶.幼叶叶绿素a+b含量大幅度降低是叶绿素a含量下降的结果.叶片N、P含量表现为先上升后下降,至2月份降至最低;成熟叶及老叶K含量保持相对稳定;叶片中Ca、Fe含量呈增加趋势,且老叶>成熟叶>幼叶;而幼叶Mg含量略高于老叶和成熟叶.枇杷成熟叶和老叶光合色素及叶片N、P、K、Ca、Fe含量的变化可能是其对冬季适应性的生理反应.

一种新型半绝缘键合SOI结构

报道了一种新型半绝缘键合SOI结构,采用化学气相淀积加外延生长键合过渡多晶硅层的方法实现了该结构.研制出的这种新结构,完整率大于85%,Si—Si键合界面接触比电阻小于5×10-4Ω·cm2.这种新结构可以广泛用于高低压功率集成电路、高可靠集成电路、MEMS、硅基光电集成等新器件和电路中.

基于MBE的f_(max)为157GHz的SiGe HBT器件

在模拟集成电路的应用中,不仅注重器件 fT,而且注重晶体管最高振荡频率(fmax).文中以 MBE生长的SiGe材料为基础,进行了提高SiGe HBT器件fmax的研究,研制出了fmax=157GHz的SiGe HBT器件.

一种16位高速D/A转换器的研究

介绍了一种16位高速D/A转换器的电路设计、工艺制作和测试结果。该电路为高性能数字/模拟混合电路,工作电压±5.0V,转换速率≥30MSPS,建立时间50ns,增益误差±8%FSR,积分非线性误差LSB,并行输入类型,电流工作模式,功耗500mW,采用2.0μmBiCMOS工艺制作。该工艺包括减压薄外延、高压氧化等平面隔离、可修调SiCr电阻、双层金属布线、12次离子注入、21次光刻。NPN晶体管特征频率fT为4.0GHz;CMOS管的栅氧化层为30nm,耐压为12.0V。

基于BiCMOS技术的高速数字/模拟转换器

基于BiCMOS技术,进行了高速数字/模拟转换器研究.以并行输入类型,电流工作模式的16位D/A转换器为载体,进行了电路设计、工艺制作和测试.在±5.0V工作电压下,测试得到转换速率≥30MSPS,建立时间为50ns,增益误差为±8%FSR,积分非线性误差为1/2 LSB,功耗为500mW.

硅材料对双极超高速器件的影响

本文选择ECL(发射极耦合逻辑)亚毫微秒门电路EB60、ECL1000MHz÷10分频器S8665、ECL1000MHz÷2分频器S032为样品,从晶向、少子寿命、“雾”及薄外延等方面分析讨论了硅材料对双极超高速器件成品率和性能参数的影响。

一种微调晶振频率的软件实现方法

提出一种实用的基于软件和硬件相结合的晶振频率微调方法。该方法能够对晶振输出频率进行精确调节,实现对系统晶振频率的在线校准,无需拆卸系统硬件,能够极大地提高频率校准的效率。该方法的频率校准精度较高,由校准软件和硬件带来的误差可低至1.5×10-13,能够满足大部分通信系统的使用要求,可广泛用于通信、雷达、频率合成器等领域。

高速12位D/A转换器

介绍了高速12位D/A转换器的电路设计,采用2μm等平面高速双极工艺,研制出数据更新率≥80MHz,线性误差≤3LSB,微分非线性≤3LSB的12位D/A转换器电路.

九江大桥坍塌落水桥段的探测及数据分析

通过判读旁扫声呐声图、分析多波束测深系统水深数据,获得事故现场水下地形、地貌、障碍物姿态,为下一步的探摸、打捞提供可靠的依据。

探讨提高海事测绘航海图服务能力之我见

航海图是海事测绘的主要航海保障服务产品,向航行船舶提供实用、现势的航海图是海事测绘长期追求的目标。本文通过对航海图现状的分析,结合广东海事局海测大队近几年的工作实践,提出提高海事测绘航海图服务能力的看法。

潮平岸阔帆正劲 乘势开拓谱新篇

广州海事测绘中心作为交通运输部南海航海保障中心的重要组成机构，于2013年1月正式运行，承担着港口航道测量、船舶航行技术支持和航运经济服务保障职能。

南海航路测量水位控制关键技术研究

大跨度、离岸远的航路测量是海事测绘的重点课题,水位控制是航路水深测量中的难点。为提高航路测量水位控制精度,结合粤东、珠江口、涠洲岛附近水域航路测量水位控制实例,总结了航路测量水位控制的3个关键技术:数学模型构建、布站方案设计、质量控制及精度评估。结果表明:从传递方法、基准站、水位时段3个方面评估平均海面、深度基准面的传递精度更合理;余水位订正法、最小二乘曲线拟合法水位改正精度差异小,改正中误差在水深主检比对中误差之内;余水位订正法可降低潮位控制成本和难度,为离岸远的航路测量提供了备选方案。

南华县社会主义新农村建设中农村基层党建问题研究

本文认真分析了南华县农村基层党组织建设的现状,社会主义新农村建设中农村基层党组织存在的问题及原因,并结合南华县实际提出了加强南华县农村基层党组织建设的具体措施。它对于加强农村基层党组织建设具有一定的参考价值。

新型无人海道测量艇的设计与实现

为提升无人艇在浅水区和危险区等复杂水域开展专业化海道测量的应用能力,在广泛调研国内外同类型无人海道测量艇功能定位和设计要求的基础上,采用了一种优化后的M型艇型设计和油电混合动力,引入高精度惯导姿态定位系统提升姿态控制和避障能力,研发了基于电子海图的测量和导航一体化控制系统,并综合给出了一种适应浅水区测量和专业海道测量的无人海道测量艇的设计方案。实际应用表明该无人海道测量艇具有优良的水动力性能和水下噪声抑制能力,具备了适应多种环境的通信保障能力,实现了高精度的航行轨迹控制和自主避障,能够在复杂水域自主完成高精度测量任务,测量成果满足海道测量规范要求。本项研究为后续无人艇作为测量平台持续提升海道测量能力提供了借鉴和参考。

一种N沟VDMOS电离辐射界面陷阱电流传导性研究

利用X射线对一种N沟VDMOS在不同的负载功率下进行了辐射试验,采用电流-电压(I-V)测试方法发现这种H2-O2(氢氧合成)氧化栅介质VDMOS样品存在自退火效应时,新增界面陷阱特性与通常的理论不能够很好地一致.根据所测数据,明确提出了有自退火效应样品的新增界面陷阱除了电荷效应外还具有传导电流能力的观点,初步认为该电流是表面费米能级和陷阱能级相互作用导致的产生复合电流,该电流不能简单地从I-V曲线上定量分辨出来.

二三维海陆一体综合信息平台设计与实现

随着人工智能、GIS、大数据等技术的发展及其应用的日渐成熟,航运经济发展将迎来智能航运的新时代。在此背景下,根据智能航运对海图数据管理、表达、应用与服务等方面的需求,研究了二三维海陆一体实景综合信息平台的建设与实现技术,展示了该平台的功能与特点,展望了二三维海陆一体信息技术在智能航运中的应用前景,以期从海洋地理空间信息融合与表达的角度为智能航运的发展提供借鉴。