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基于纳米胺结构保护层的多波段高反射Ag基膜系制备
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作者 苏志 何文彦 +1 位作者 魏铭 王长军 《半导体光电》 CAS 北大核心 2023年第4期580-585,共6页
Ag基膜系具有在可见到近红外波段最高的反射率,但Ag的环境稳定性较差,易受腐蚀而导致反射率降低。采用离子束辅助电子束蒸发沉积(IAD)方式制备了不同厚度比例的Ta_(2)O_(5)-SiO_(2)纳米胺薄膜,计算出有效折射率和膜层残余应力,选用Ta_(2... Ag基膜系具有在可见到近红外波段最高的反射率,但Ag的环境稳定性较差,易受腐蚀而导致反射率降低。采用离子束辅助电子束蒸发沉积(IAD)方式制备了不同厚度比例的Ta_(2)O_(5)-SiO_(2)纳米胺薄膜,计算出有效折射率和膜层残余应力,选用Ta_(2)O_(5)厚度占比为75%的纳米胺薄膜,进一步设计制备了纳米胺结构保护层Ag基膜系和常规两层式结构保护层Ag基膜系,实现了多波段高反射率目标,并且两种Ag基膜系的残余应力相近。在24 h湿热实验后,纳米胺结构保护层Ag基膜系的反射率红移量小于常规两层式结构保护层Ag基膜系;在144 h湿热实验后,纳米胺结构保护层Ag基膜系表面缺陷腐蚀程度小于常规两层式结构保护层Ag基膜系,结合聚焦离子束制样后利用TEM观察结果,表明纳米胺结构保护层具有更高的致密度,能够为Ag基膜系提供更优良的环境稳定性。 展开更多
关键词 Ag基膜系 纳米胺 反射率 残余应力 环境稳定性
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结构光检测大型止推环止推面平面度探究 被引量:4
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作者 何文彦 曹学东 +1 位作者 匡龙 张鹏 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2016年第11期7-12,共6页
为指导高精度大型止推面加工,需要对其平面度进行面采样测试。本文建立了结构光检测模型:激光器投射平行条纹到被测表面,CCD相机接收包含条纹的图像。被测面理想的情况下,CCD相机接收到直条纹;当被测面存在凹凸时,条纹发生扭曲,扭曲量... 为指导高精度大型止推面加工,需要对其平面度进行面采样测试。本文建立了结构光检测模型:激光器投射平行条纹到被测表面,CCD相机接收包含条纹的图像。被测面理想的情况下,CCD相机接收到直条纹;当被测面存在凹凸时,条纹发生扭曲,扭曲量和高度存在比例关系。论文推导了结构光检测一体式装置的数学模型,分析了入射角对测量精度的影响。实验结果表明,入射角越大,系统分辨力越高;当入射角度继续增大时,检测精度有望达到要求,然而图像畸变严重,处理困难。论文提出改进分体式检测装置,CCD相机固定在待测面正上方,线激光阵列以相同角度入射。在入射角为85°时,对400 mm×400 mm的平面检测时,采用4 096 pixel×4 096 pixel的CCD,借助亚像素技术,结构光检测系统分辨力可以达到亚微米级别。 展开更多
关键词 大面型 平面度 面采样 线结构光
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电子束蒸发SiO_2薄膜残余应力在不同湿度环境下的对比 被引量:4
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作者 叶晓雯 丁涛 +5 位作者 程鑫彬 沈正祥 王孝东 刘永利 鲍刚华 何文彦 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第3期713-717,共5页
采用电子束蒸发方法在BK7基底上制备SiO2单层膜,通过台式探针轮廓仪分别测量了大气(45%RH)和干燥环境(5%RH)中不同沉积温度下制备的SiO2单层膜残余应力,同时使用分光光度计和原子力显微镜对样品的折射率和表面形貌进行研究。测试结果表... 采用电子束蒸发方法在BK7基底上制备SiO2单层膜,通过台式探针轮廓仪分别测量了大气(45%RH)和干燥环境(5%RH)中不同沉积温度下制备的SiO2单层膜残余应力,同时使用分光光度计和原子力显微镜对样品的折射率和表面形貌进行研究。测试结果表明:SiO2薄膜的残余应力在两个环境中均表现为压应力,且随沉积温度的升高均逐渐增大。干燥环境下与大气环境相比,应力值减小了约100MPa。此外,随沉积温度的升高,薄膜折射率不断增大,表面粗糙度逐渐减小。说明:随着沉积温度的变化,SiO2薄膜的微结构发生了改变。相应地,由水诱发的应力随薄膜致密度的增加而逐渐减小。 展开更多
关键词 SiO2单层膜 沉积温度 残余应力 由水诱发的应力 折射率 表面形貌
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非平行光束对窄带滤光片光谱性能的影响 被引量:1
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作者 何文彦 孔明东 +1 位作者 任戈 魏铭 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第8期415-421,共7页
因为发散角和线宽效应的存在,非平行光束入射窄带滤光片时,滤光片的透射特性会发生变化。特别是在斜入射时,窄带滤光膜透射通带波形更易从矩形向三角形退化,并且伴随峰值透过率降低等负面现象。虽然已知的卷积模型可以对非平行光束入射... 因为发散角和线宽效应的存在,非平行光束入射窄带滤光片时,滤光片的透射特性会发生变化。特别是在斜入射时,窄带滤光膜透射通带波形更易从矩形向三角形退化,并且伴随峰值透过率降低等负面现象。虽然已知的卷积模型可以对非平行光束入射窄带滤光片的情况进行数值模拟,但是由于制备和测量误差的阻碍,其正确性和数值模拟的准确性没有严格的实验进行验证。通过膜系优化和测量误差修正降低相应误差及其影响,并通过等离子体辅助反应磁控溅射(PARMS)的方法制备了工作角度为17°的1064 nm高性能窄带滤光片。滤光片的透射光谱分别由两款分光光度计Cary 7000和Lambda 1050测量得到。在不同条件下测得的光谱与数值模拟结果吻合得很好,充分验证了卷积模型的有效性和数值模拟的准确性。 展开更多
关键词 窄带滤光片 数值模拟 发散角效应 线宽效应
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SiO_2光学薄膜的吸收边特性 被引量:3
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作者 孔明东 李斌成 +2 位作者 郭春 柳存定 何文彦 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2019年第4期11-17,共7页
二氧化硅(SiO_2)是光学系统中最常用光学薄膜材料之一,其微观结构、缺陷等信息对于研究和提高薄膜的性能具有重要作用。本文通过电子束蒸发、离子辅助、磁控溅射方法制备SiO_2薄膜并进行测试,计算出其吸收边光谱,对吸收边光谱的强吸收区... 二氧化硅(SiO_2)是光学系统中最常用光学薄膜材料之一,其微观结构、缺陷等信息对于研究和提高薄膜的性能具有重要作用。本文通过电子束蒸发、离子辅助、磁控溅射方法制备SiO_2薄膜并进行测试,计算出其吸收边光谱,对吸收边光谱的强吸收区、e指数区、弱吸收区进行分段分析得到SiO_2薄膜的带隙宽度、带尾能量和氧空位缺陷含量数据。进一步分析三种薄膜和其在常规退火温度下的带隙宽度、带尾能量和氧空位缺陷含量的数据,获得SiO_2薄膜的微观原子排列结构、微观缺陷信息,并对不同镀膜技术和不同退火温度下SiO_2薄膜的原子排列结构、微观缺陷的差异和变化进行了分析和讨论。 展开更多
关键词 SIO2薄膜 带隙宽度 带尾能量 氧空位缺陷
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新型卫星导航装备维修训练手段研究
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作者 何文彦 徐婷 张勇 《价值工程》 2023年第36期72-74,共3页
卫星导航装备维修保障能力很大程度上决定了装备的完好性及特种效能,而装备维修保障能力的提升主要取决于有效的维修训练手段。传统维修训练依托实装进行,存在实装依赖性强、训练组织难、耗损大成本高等实际问题,很难适应装备维修保障... 卫星导航装备维修保障能力很大程度上决定了装备的完好性及特种效能,而装备维修保障能力的提升主要取决于有效的维修训练手段。传统维修训练依托实装进行,存在实装依赖性强、训练组织难、耗损大成本高等实际问题,很难适应装备维修保障发展需求。新兴维修训练基于虚拟维修进行,虽解决了传统维修训练受制于实装数量、训练场地、训练效益等约束,仍存在无法进行实地、实景沉浸式维修训练的问题。基于此,本论文提出一种新型维修训练手段,将仿真训练样机与维修训练软件相结合,解决传统及新兴维修训练所面临的实际问题,具有十分重要的特种研究意义。 展开更多
关键词 卫星导航装备 维修保障能力 维修训练手段 虚拟维修 仿真训练
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基于FPGA的北斗时统设备铷钟驯服技术实现
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作者 何文彦 雷正伟 +2 位作者 甄红涛 李凯丽 刘雅迪 《价值工程》 2023年第2期59-61,共3页
为了更好地实现时间同步和提高守时设备精度,提出了一种基于FPGA硬件平台的北斗守时设备铷钟驯服技术。采用时间间隔测量原理计算铷钟的钟差值,采用vondrak滤波和kalman滤波相结合方法对钟差值进行滤波,然后利用PID控制算法对铷钟电压... 为了更好地实现时间同步和提高守时设备精度,提出了一种基于FPGA硬件平台的北斗守时设备铷钟驯服技术。采用时间间隔测量原理计算铷钟的钟差值,采用vondrak滤波和kalman滤波相结合方法对钟差值进行滤波,然后利用PID控制算法对铷钟电压进行控制,从而实现铷钟驯服。测试结果表明,滤波算法对钟差值有显著滤波效果,对实现时间同步和提高守时精度起到了关键作用。 展开更多
关键词 铷钟驯服 VONDRAK滤波 KALMAN滤波 PID控制
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从抗击冰雪斗争探析交通战备保障存在的问题及对策
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作者 潘洪喜 何文彦 《国防》 2008年第6期57-58,共2页
虽然年初突袭我国南方地区的冰雪灾害已经远去,但是,在抗灾斗争中交通战备保障方面暴露的问题不容忽视。如交通战备部门机构不健全、人员编制少,影响工作的正常开展;交通战备法规制度不健全,没有相关交通通信保障国防动员补偿实施细则... 虽然年初突袭我国南方地区的冰雪灾害已经远去,但是,在抗灾斗争中交通战备保障方面暴露的问题不容忽视。如交通战备部门机构不健全、人员编制少,影响工作的正常开展;交通战备法规制度不健全,没有相关交通通信保障国防动员补偿实施细则作保障, 展开更多
关键词 交通战备 国防交通 通信保障 交通保障 国防动员 专业保障队伍 建立健全 办公室 冰雪灾害 交通运输
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磁控溅射制备持久性银反射镜研究 被引量:1
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作者 徐旭 何文彦 +2 位作者 王长军 魏铭 李斌成 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期127-134,共8页
研究了磁控溅射制备Sub/NiCrNx/Ag/NiCrNx/SiNx/Air多层结构银反射镜的特性,分析了Nz对Ag薄膜、介质保护层及银反射镜光谱的影响。采用深度剖析X射线光电子能谱和透射电子显微镜分析了银反射镜短波波段(400-500nm)反射率偏低的... 研究了磁控溅射制备Sub/NiCrNx/Ag/NiCrNx/SiNx/Air多层结构银反射镜的特性,分析了Nz对Ag薄膜、介质保护层及银反射镜光谱的影响。采用深度剖析X射线光电子能谱和透射电子显微镜分析了银反射镜短波波段(400-500nm)反射率偏低的原因。采用分光光度计、扫描电子显微镜和X射线衍射仪研究了N2占比对Ar/N2混合气体溅射制备单层银膜光学性质、表面形貌及晶向结构的影响,比较了不同Ar/N2比例混合气体溅射制备银反射镜的反射率,并分析了对应样品SiN。保护层的化学计量比。实验结果显示,溅射制备银膜时,在Ar中引入一定比例的N2,SiNx保护层的化学计量比得到改善。当N2体积比由0上升至40%时,Ar/N2混合气体溅射制备的银反射镜在400nm波长处反射率由71.7%提高到79.3%。此外,基于Ar/N2混合气体溅射溅射制备的银反射镜样品具备优良的环境稳定性。 展开更多
关键词 薄膜 银反射镜 磁控溅射 SiNx薄膜 Ar/N2混合
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Optimization of the spectral performance of an antireflection coating on a micro-spherical substrate 被引量:1
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作者 郭春 孔明东 何文彦 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第9期75-78,共4页
To improve the optical performance of an antireflection(AR) coating on a micro-spherical substrate, the ray angle of the incidence distribution and the thickness profile are taken into consideration during the optic... To improve the optical performance of an antireflection(AR) coating on a micro-spherical substrate, the ray angle of the incidence distribution and the thickness profile are taken into consideration during the optical coating design. For a convex spherical substrate with a radius of curvature of 10 mm and a clear aperture of 10 mm,three strategies are used for the optimization of the spectral performance of a broadband AR coating in the spectral region from 480 to 720 nm. By comparing the calculated residual reflectance and spectral uniformity,the developed method demonstrates its superiority in spectral performance optimization of an AR coating on a micro-spherical substrate. 展开更多
关键词 nm Optimization of the spectral performance of an antireflection coating on a micro-spherical substrate AOI AR
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Fabrication of multi-wavelength visible and infrared filter for solar atmosphere tomographic imaging
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作者 孔明东 郭春 +2 位作者 李斌成 何文彦 魏铭 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第12期86-90,共5页
To simultaneously obtain high-resolution multi-wavelength (from visible to near infrared) tomographic images of the solar atmosphere, a high-performance multi-wavelength optical filter has to be used in solar imagin... To simultaneously obtain high-resolution multi-wavelength (from visible to near infrared) tomographic images of the solar atmosphere, a high-performance multi-wavelength optical filter has to be used in solar imaging telescopes. In this Letter, the fabrication of the multi-wavelength filter for solar tomographic imaging is described in detail. For this filter, Ta2O5 and SiO2 are used as high- and low-index materials, respectively, and the multilayer structure is optimized by commercial Optilayer software at a 7.5° angle of incidence. Experimentally, this multi-wavelength optical filter is prepared by a plasma ion-assisted deposition technique with optimized deposition parameters. High transmittance at 393.3, 396.8, 430.5, 525, 532.4, 656.8, 705.8, 854.2, 1083, and 1565.3 nm, as well as high reflectance at 500 and 589 nm are achieved. Excellent environmental durability, demonstrated via temperature and humidity tests, is also established. 展开更多
关键词 Si Fabrication of multi-wavelength visible and infrared filter for solar atmosphere tomographic imaging Ta
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