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CeO_2纳米粒子抛光液分散稳定性及其化学机械抛光特性研究 被引量:17
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作者 陈广林 刘德福 +1 位作者 陈涛 佘亦曦 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期187-193,共7页
目的制备性能优良的CeO_2纳米粒子抛光液。方法通过使用不同种类及不同浓度的分散剂制备了一种良好的CeO_2纳米粒子抛光液,采用激光粒度仪,紫外可见分光光度仪等对其进行了表征,进而研究了其在石英玻璃片化学机械抛光中的特性。结果不... 目的制备性能优良的CeO_2纳米粒子抛光液。方法通过使用不同种类及不同浓度的分散剂制备了一种良好的CeO_2纳米粒子抛光液,采用激光粒度仪,紫外可见分光光度仪等对其进行了表征,进而研究了其在石英玻璃片化学机械抛光中的特性。结果不同分散剂的分散作用不同,且分散剂的浓度直接影响分散效果。离子型分散剂主要通过静电稳定作用实现抛光液的分散稳定,而非离子型分散剂则通过空间位阻作用实现抛光液的分散稳定。阴离子型分散剂与非离子型分散剂的分散稳定效果明显强于阳离子型分散剂,而阴离子型分散剂与非离子型分散剂混合复配后的分散稳定效果又强于单一分散剂的效果。结论混合复配型分散剂配制的CeO_2纳米粒子抛光液静置72 h后仍分散均一稳定,基本可以满足抛光液分散稳定性能的要求。配制的CeO_2纳米粒子抛光液在石英玻璃化学机械抛光中主要通过纳米粒子的吸附作用实现材料的去除,抛光后的石英玻璃表面无划痕,表面粗糙度可以达到10 nm左右,有效提高了石英玻璃的抛光质量。 展开更多
关键词 抛光液 分散性 表面活性剂 化学机械抛光 吸光度 ZETA电位
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光纤阵列的超声椭圆振动辅助化学机械抛光 被引量:8
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作者 陈涛 刘德福 +1 位作者 佘亦曦 严日明 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期132-138,共7页
为了获得平整的光纤阵列端面,设计了一套超声椭圆振动辅助化学抛光系统,并进行常规化学机械抛光和超声椭圆振动辅助化学机械抛光的对照试验。结果表明,应用超声椭圆振动辅助化学机械抛光技术加工光纤阵列,选择合理的抛光工艺参数,可获... 为了获得平整的光纤阵列端面,设计了一套超声椭圆振动辅助化学抛光系统,并进行常规化学机械抛光和超声椭圆振动辅助化学机械抛光的对照试验。结果表明,应用超声椭圆振动辅助化学机械抛光技术加工光纤阵列,选择合理的抛光工艺参数,可获得质量较好的光纤阵列端面,相比于常规化学机械抛光技术,光纤的表面粗糙度降低了25%。采用单因素试验法,分别研究了抛光粒子材料及抛光液酸碱性对于超声椭圆振动辅助化学机械抛光的作用效果,并利用Vecco表面轮廓仪对抛光后光纤阵列端面进行观察和分析。采用正交试验法获得了一组超声椭圆振动辅助化学机械抛光光纤阵列的优化工艺参数,最佳工艺参数组为:超声振动频率25 k Hz,抛光液流量35 m L/min,抛光压力50 k Pa,抛光盘转速20 r/min,抛光粒子质量分数0.5%。 展开更多
关键词 光纤阵列 超声椭圆振动 化学机械抛光 表面粗糙度
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一种圆锥形变幅杆弯曲振动固有频率的计算方法 被引量:6
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作者 严日明 刘德福 +1 位作者 陈涛 佘亦曦 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2016年第7期198-204,共7页
提出了一种圆锥形变幅杆弯曲振动固有频率的计算方法;先忽略剪切变形和惯性矩作用,基于Euler-Bernoulli杆理论求解出固有频率初值,再计入二者的作用进行弯曲振动固有频率的修正。应用有限元分析法和模态实验测试对该方法进行验证,理论... 提出了一种圆锥形变幅杆弯曲振动固有频率的计算方法;先忽略剪切变形和惯性矩作用,基于Euler-Bernoulli杆理论求解出固有频率初值,再计入二者的作用进行弯曲振动固有频率的修正。应用有限元分析法和模态实验测试对该方法进行验证,理论结果与实验结果吻合,误差<5%。基于该方法编写程序,实现了弯曲振动变幅杆结构的主动设计。 展开更多
关键词 圆锥形变幅杆 超声弯曲振动 固有频率
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光纤阵列组件超声椭圆振动辅助抛光系统设计 被引量:2
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作者 佘亦曦 刘德福 +1 位作者 陈涛 严日明 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期804-807,共4页
针对现有化学机械抛光工艺难以满足光纤阵列组件高质量的要求,该文根据压电陶瓷的逆压电效应及超声振动原理,提出了一种夹心式模式转换型超声椭圆振动装置,用以提高光纤阵列组件端面的抛光质量。设计了用于光纤阵列组件超声椭圆振动辅... 针对现有化学机械抛光工艺难以满足光纤阵列组件高质量的要求,该文根据压电陶瓷的逆压电效应及超声振动原理,提出了一种夹心式模式转换型超声椭圆振动装置,用以提高光纤阵列组件端面的抛光质量。设计了用于光纤阵列组件超声椭圆振动辅助化学机械抛光的超声振动系统,并对所设计的系统进行了有限元分析和测试试验。试验结果表明,超声振动系统共振频率测试结果与设计结果误差小于5%,超声椭圆振动双向振幅分别为4μm和2μm。 展开更多
关键词 超声椭圆振动 超声换能器 光纤阵列组件 有限元分析(FEA) 阻抗测试
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直升机传动系统的现状与发展研究 被引量:5
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作者 佘亦曦 康丽霞 唐朋 《航空科学技术》 2021年第1期78-82,共5页
本文介绍了常规构型直升机传动系统的发展现状和复合推力高速直升机传动系统、倾转旋翼构型传动系统、可变转速传动系统、电传动技术等几种极具代表性的新构型直升机传动系统或技术的发展历程、性能参数和技术特点。提出了后续直升机传... 本文介绍了常规构型直升机传动系统的发展现状和复合推力高速直升机传动系统、倾转旋翼构型传动系统、可变转速传动系统、电传动技术等几种极具代表性的新构型直升机传动系统或技术的发展历程、性能参数和技术特点。提出了后续直升机传动系统高功率密度、高可靠性、高安全性、高效率、低噪声和低成本的发展方向,从而得出多种新构型传动系统和传动技术得以应用的趋势。 展开更多
关键词 直升机 传动系统 技术特点 现状 发展
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航空摩擦离合器的关键技术研究
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作者 佘亦曦 张治中 谭武中 《现代制造技术与装备》 2022年第9期51-53,共3页
航空摩擦离合器是实现直升机传动系统变转速工作的核心部件,在直升机起飞和变速换挡过程中具有重要作用。20世纪末以来,国内外学者对航空摩擦离合器的设计及特性进行了大量研究。针对航空摩擦离合器的设计,文章重点研究了摩擦离合器参... 航空摩擦离合器是实现直升机传动系统变转速工作的核心部件,在直升机起飞和变速换挡过程中具有重要作用。20世纪末以来,国内外学者对航空摩擦离合器的设计及特性进行了大量研究。针对航空摩擦离合器的设计,文章重点研究了摩擦离合器参数选择、接合过程温度场分析、接合过程摩擦系数分析、动力学特性分析、摩擦副磨合磨损激励以及磨损量变化规律研究等关键技术。 展开更多
关键词 摩擦离合器 温度场 摩擦 动力学
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