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一种多晶铁纤维的表面改性方法 被引量:15
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作者 余洪斌 赵振声 +1 位作者 聂彦 邓联文 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期45-47,共3页
介绍了一种对多晶铁纤维表面进行改性的方法。从磁学物理的角度出发 ,并结合大量实验结果 ,确定了具体的实施方案。结果表明处理后的纤维表面电阻率得到显著提高 。
关键词 多晶铁纤维 磷化处理 表面电阻率 表面改性
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基于MEMS技术的一种新型可变形反射镜 被引量:5
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作者 余洪斌 陈海清 +2 位作者 竺子民 张大成 李婷 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期1154-1158,共5页
给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法 ,并且通过工艺流片制造出有效反射面积为 30 m m× 30 mm,拥有 4 9个静电驱动单元的可变形反射镜 .测试得到的镜面变形 -电压数据显示其与模拟结果具有很好的一致性 .
关键词 可变形反射镜 体微加工 静电驱动 响应频率
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基于硅微加工技术的新型变形反射镜 被引量:3
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作者 余洪斌 陈海清 +2 位作者 张大成 竺子民 李婷 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期825-829,共5页
 给出了一种基于硅微加工技术的新型变形反射镜的设计和加工方法。变形反射镜镜面主体是由一定厚度的硅膜构成,硅膜上表面溅射有一层Ti/Au,背面有一7×7阵列的台柱与之相连,台柱下方是对应的驱动电极。当给电极施加电压时,产生的...  给出了一种基于硅微加工技术的新型变形反射镜的设计和加工方法。变形反射镜镜面主体是由一定厚度的硅膜构成,硅膜上表面溅射有一层Ti/Au,背面有一7×7阵列的台柱与之相连,台柱下方是对应的驱动电极。当给电极施加电压时,产生的静电力就会拉动台柱向下运动,从而使相应的镜面部分发生变形;通过控制通电电极的位置及电压,就可获得特定的镜面形状。在变形反射镜的加工工序中采用浅腐蚀形成键合台,采用深腐蚀加工出台柱。并采用<110>条补偿图形对台柱的凸角进行补偿,在0.2MPa气压下进行键合,最后成功研制出有效反射面积为30mm×30mm,拥有49个静电驱动单元的变形反射镜。 展开更多
关键词 变形反射镜 体微加工 静电驱动 凸角补偿 阳极键合
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磁驱动MEMS光开关的设计、分析和仿真 被引量:3
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作者 余洪斌 陈海清 +1 位作者 刘彦 李俊 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期18-20,共3页
对比静电驱动与磁驱动,发现只有当驱动器的间距小于1.75μm时,静电能密度才处于优势地位,而大于此间距后,磁驱动将表现出主导地位.在此基础上,为了设计出具有较大运动范围的光开关,提出了一种新的基于MEMS技术的磁驱动形式,采用溅射、... 对比静电驱动与磁驱动,发现只有当驱动器的间距小于1.75μm时,静电能密度才处于优势地位,而大于此间距后,磁驱动将表现出主导地位.在此基础上,为了设计出具有较大运动范围的光开关,提出了一种新的基于MEMS技术的磁驱动形式,采用溅射、激光镀覆等方法在衬底上制备磁性薄膜,并通过外加磁场实现开关动作.对采用永磁材料和软磁材料这两种情况下光开关的静态行为进行了分析和模拟.结果显示,尽管使用不同类型的磁性材料会对开关的响应产生影响,但其最大转角都可达到80°,远远超过静电驱动光开关所能实现的程度,同时它还避免了静电驱动中常见的结构“塌陷”现象. 展开更多
关键词 光开关 静电驱动 磁驱动 永磁材料 软磁材料
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用于自适应光学系统的几种新型可变形反射镜 被引量:2
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作者 余洪斌 陈海清 +2 位作者 竺子民 李俊 王忠 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期64-67,共4页
将MEMS技术用于自适应光学系统具有重大意义。本文从原理及制作工艺上论述了几种新型的可变形反射镜,为下一步的深入研究打下基础。
关键词 硅微加工 自适应光学 可变形反射镜 MEMS技术 制作工艺 薄膜DMs
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星载自适应光学系统新型可变形反射镜的研究 被引量:1
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作者 余洪斌 陈海清 +2 位作者 竺子民 张大成 李婷 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期352-355,共4页
给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法。从静电驱动的角度阐述此种反射镜的结构设计原理,并对具体加工中的腐蚀和键合工艺进行了详细讨论。成功制造出有效反射面积为30 mm×30 mm,拥有49个静电驱动单元的可... 给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法。从静电驱动的角度阐述此种反射镜的结构设计原理,并对具体加工中的腐蚀和键合工艺进行了详细讨论。成功制造出有效反射面积为30 mm×30 mm,拥有49个静电驱动单元的可变形反射镜。 展开更多
关键词 可变形反射镜 体微加工 静电驱动 阳极键合
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具有多运动自由度的新型多功能微镜 被引量:2
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作者 余洪斌 陈海清 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期816-820,共5页
基于多层硅表面微加工技术,设计并制造了一种全新的微镜结构,它由底电极层、支撑层和镜面层构成.支撑层采用对称布置的双T型梁结构,能提供垂直方向的平动和绕两水平轴的转动,从而实现微镜对入射光的强度调制和相位调制功能.测试结果表明... 基于多层硅表面微加工技术,设计并制造了一种全新的微镜结构,它由底电极层、支撑层和镜面层构成.支撑层采用对称布置的双T型梁结构,能提供垂直方向的平动和绕两水平轴的转动,从而实现微镜对入射光的强度调制和相位调制功能.测试结果表明,微镜能获得最大2μm的平动范围,同时其绕两水平轴的转动角度分别为±2.3°和±1.45°.此外,通过进一步增大牺牲层的厚度,可以很容易地使微镜获得更大的变形范围. 展开更多
关键词 微机电系统 微镜 相位调制 强度调制 T型梁
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一种新型微变形镜键合技术 被引量:1
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作者 余洪斌 陈海清 +3 位作者 竺子民 李俊 张大成 李婷 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第8期12-14,22,共4页
对一种新型可变形反射镜加工中的硅-玻璃阳极键合工艺进行了研究。设计了一种通过导线将压焊点引至键合区的特殊结构,使得键合过程中台柱与驱动电极保持等电势,从而有效避免了电极和结构之间的相互作用所引入的缺陷,使得最终获得的驱动... 对一种新型可变形反射镜加工中的硅-玻璃阳极键合工艺进行了研究。设计了一种通过导线将压焊点引至键合区的特殊结构,使得键合过程中台柱与驱动电极保持等电势,从而有效避免了电极和结构之间的相互作用所引入的缺陷,使得最终获得的驱动电极的有效面积接近100%。针对键合前后气体体积收缩导致的镜面凹陷问题,提出在玻璃上加工出贯穿器件的浅槽结构。实验结果表明,在380C,1atm的环境下施加-1000V电压进行阳极键合时,当浅槽深度大于200nm时,将获得较好的镜面质量。 展开更多
关键词 变形镜 键合 静电力
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多元醇还原法制备Co-Ni和Fe-Co-Ni磁粉
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作者 余洪斌 聂彦 +1 位作者 赵振声 何华辉 《信息记录材料》 2002年第1期14-16,共3页
通过多元醇还原法可以制得尺寸范围从几微米到几十纳米的球形、单分散和Co-Ni系和Fe-Co-Ni系磁粉,并在2~18GHz频率范围内研究其微波磁特性。实验表明,此法制得的Co-Ni系和Fe-Co-Ni系磁粉的物理化学特性随着Co含量的不同而呈现出一定规... 通过多元醇还原法可以制得尺寸范围从几微米到几十纳米的球形、单分散和Co-Ni系和Fe-Co-Ni系磁粉,并在2~18GHz频率范围内研究其微波磁特性。实验表明,此法制得的Co-Ni系和Fe-Co-Ni系磁粉的物理化学特性随着Co含量的不同而呈现出一定规律性变化。 展开更多
关键词 多元醇还原法 制备 Co-Ni Fe-Co-Ni 磁粉 组分 磁性能
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当前经济评价存在的问题
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作者 余洪斌 《冶金经济与管理》 1991年第1期24-26,共3页
经济分析与评价工作,作为可行性研究的有机组成部分和重要内容,目前已逐步走向规范化、标准化,这对于提高可行性研究的质量,实现项目决策科学化起到了积极的作用.然而,由于人们长期以来不重视投资效益,忽视经济评价工作的作用,加之目前... 经济分析与评价工作,作为可行性研究的有机组成部分和重要内容,目前已逐步走向规范化、标准化,这对于提高可行性研究的质量,实现项目决策科学化起到了积极的作用.然而,由于人们长期以来不重视投资效益,忽视经济评价工作的作用,加之目前价格混乱,投资体制不合理,竞争机制不完善,经济评价工作还远未达到应有的水平和深度,尤其是评价工作的科学性、公正性、可靠性,还亟待研究和改进.一、关于经济评价的价格问题价格是影响项目经营成本和销售收入的主要因素。 展开更多
关键词 经济评价 经济分析 销售收入 可行性研究 决策科学化 评价部分 经营成本 其他条件不变 原料费用 单位产品
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3种表面处理对2E12-T3铝合金晶间腐蚀和剥离腐蚀行为的影响 被引量:3
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作者 余洪斌 刘道新 +4 位作者 吴剑 叶作彦 胡慧玲 张小明 雷明霞 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期22-24,31,共4页
为了有效控制2E12新型铝合金的晶间腐蚀和剥离腐蚀破坏,对2E12-T3铝合金表面分别进行了包铝、阳极氧化和微弧氧化处理,利用浸泡腐蚀试验、金相显微镜、扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)等研究了表面处理对2E12-T3铝合金晶间腐蚀和剥离... 为了有效控制2E12新型铝合金的晶间腐蚀和剥离腐蚀破坏,对2E12-T3铝合金表面分别进行了包铝、阳极氧化和微弧氧化处理,利用浸泡腐蚀试验、金相显微镜、扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)等研究了表面处理对2E12-T3铝合金晶间腐蚀和剥离腐蚀行为的影响规律,探讨了作用机理。结果表明:2E12-T3铝合金对晶间腐蚀和剥离腐蚀十分敏感,表面包铝、阳极氧化和微弧氧化均能显著提高2E12-T3铝合金的抗晶间腐蚀和抗剥离腐蚀性能,其中微弧氧化处理提高抗晶间腐蚀性能的效果最好,表面包铝提高抗剥离腐蚀性能的效果最好。 展开更多
关键词 阳极氧化 微弧氧化 包铝层 2E12-T3铝合金 晶间腐蚀 剥离腐蚀
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论攀钢冷轧薄板工程项目的经济效益
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作者 余洪斌 《冶金经济与管理》 1994年第2期23-26,共4页
关键词 冷轧薄板 重点建设项目 工程项目 攀钢 投资 最大 经济效益
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美国国家质量奖评价标准历年变化浅析
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作者 余洪斌 徐敏 《质量与市场》 2015年第4期56-58,共3页
美国波多里奇国家质量奖经过20多年的发展,现已成为全球最具影响力的质量奖项。本文通过研究分析波多里奇国家质量奖卓越绩效准则的演变,特别是2014年版标准的最新变化,以期为国内广大企业追求卓越绩效提供参考和借鉴。
关键词 质量奖 评价 标准
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低损耗MnZn铁氧体材料的研究现状及发展趋势 被引量:3
14
作者 李海华 冯则坤 +1 位作者 余洪斌 何华辉 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 2003年第2期62-65,共4页
介绍了低损耗MnZn铁氧体的研究现状及TDK ,SIMENS等公司最新产品情况 ,通过对原材料的性质、掺杂和烧结工艺分析 ,说明它们决定了低损耗MnZn铁氧体的微观结构 ,同时也表明原材料的匹配对提高材料的性能有重要作用。
关键词 低损耗 MNZN铁氧体材料 研究现状 发展趋势 原材料 掺杂 烧结工艺 微结构
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光栅光阀的应用、模拟技术和发展趋势 被引量:3
15
作者 李俊 陈海清 +1 位作者 余洪斌 王忠 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第7期11-15,共5页
光栅光阀(GLV)是一种基于微机电系统技术的新型微型反射光栅,在静电力的作用下微梁弯曲,从而获得所需要的光强分布。讨论了GLV的原理,结合其特点给出GLV的典型应用;比较了两种常用的计算机模拟方法,最后讨论了GLV的发展新趋势。
关键词 微机电系统 光栅光阀 MEMS模拟 有限元分析
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基于MEMS技术的自适应光学系统的研究 被引量:1
16
作者 杨振刚 陈海清 +1 位作者 李俊 余洪斌 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期1-4,共4页
用自适应光学系统来校正由大气湍流等产生的波前畸变,能够得到很好的效果。通过对自适应光学系统的工作原理进行研究,提出了一种基于MEMS技术的微小型自适应光学系统校正波前畸变的方法,将MEMS技术应用于变形反射镜,并构建了具体的实验... 用自适应光学系统来校正由大气湍流等产生的波前畸变,能够得到很好的效果。通过对自适应光学系统的工作原理进行研究,提出了一种基于MEMS技术的微小型自适应光学系统校正波前畸变的方法,将MEMS技术应用于变形反射镜,并构建了具体的实验平台,用来校正一种人为产生的波前畸变,且阐述了具体的实验过程。实验结果表明,基于MEMS技术的自适应光学系统能够很好地闭环校正波前畸变,且其体积小、质量轻、校正性能稳定,为自适应光学技术在星载相机上的应用提供了依据。 展开更多
关键词 自适应光学系统 MEMS技术 波前探测器 变形反射镜 波前校正
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微变形反射镜主要性能测试研究 被引量:10
17
作者 方迪 陈海清 +1 位作者 李俊 余洪斌 《光学仪器》 2005年第3期21-26,共6页
微变形反射镜(MEMS-DM)是用于自适应光学中波前校正的重要元件。测试实验中对37单元微变形反射镜的光学影响函数矩阵进行了推导和全面测量,从而验证了其叠加性。由光学影响函数推导出了微变形反射镜的控制电压矩阵,利用电压矩阵校正了... 微变形反射镜(MEMS-DM)是用于自适应光学中波前校正的重要元件。测试实验中对37单元微变形反射镜的光学影响函数矩阵进行了推导和全面测量,从而验证了其叠加性。由光学影响函数推导出了微变形反射镜的控制电压矩阵,利用电压矩阵校正了变形镜的初始面形。最后,对微变形镜校正波前畸变能力进行了测量和评估,得出关于优化微变形镜设计相关方面的一些结论。 展开更多
关键词 自适应光学 微变形反射镜 光学影响函数 ZERNIKE多项式 校正能力
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一种新的Mems变形反射镜主要性能参数测试 被引量:1
18
作者 刘喜斌 余洪斌 方迪 《湖南理工学院学报(自然科学版)》 CAS 2006年第2期41-44,共4页
通过对37单元Mems变形镜面形的测量得到了变形镜的电压-位移静态曲线。通过对自适应光学微变形反射镜理论研究推导和实验测试,导出了变形反射镜光学影响函数的矩阵并由此得到电压控制矩阵,从而利用控制电压校正了变形镜的初始面形,为系... 通过对37单元Mems变形镜面形的测量得到了变形镜的电压-位移静态曲线。通过对自适应光学微变形反射镜理论研究推导和实验测试,导出了变形反射镜光学影响函数的矩阵并由此得到电压控制矩阵,从而利用控制电压校正了变形镜的初始面形,为系统波前畸变校正提供了与理论相一致的实验依据。对变形镜校正能力进行了测评,为今后全面优化设计微变形反射镜及其更完美的适应自适应光学系统的需要提供了实验数据与理论支持。 展开更多
关键词 Mems变形反射镜 静态响应曲线 影响函数
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欧洲质量奖评价标准演变及新诉求 被引量:2
19
作者 徐敏 余洪斌 《中国质量技术监督》 2014年第10期48-50,共3页
欧洲质量奖经过20多年的发展,现已成为全球最具影响力的质量奖项之一。本文通过研究分析欧洲质量奖评价标准的演变,特别是2013年版标准的最新变化,以期为国内企业追求卓越绩效提供参考,帮助企业有效推进卓越绩效管理,适应全球经济环境... 欧洲质量奖经过20多年的发展,现已成为全球最具影响力的质量奖项之一。本文通过研究分析欧洲质量奖评价标准的演变,特别是2013年版标准的最新变化,以期为国内企业追求卓越绩效提供参考,帮助企业有效推进卓越绩效管理,适应全球经济环境和竞争。 展开更多
关键词 质量奖 卓越绩效 新诉 全球经济环境 组织能力 伙伴关系 评价标准 中国质量认证 关键绩效指标 自我
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日本戴明奖最新评价标准分析 被引量:2
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作者 徐敏 余洪斌 《中国质量技术监督》 2015年第1期64-65,共2页
戴明奖给日本企业的全面质量管理(TQM)带来了深远影响.日本企业以申请戴明奖作为动力和桥梁,积极运用和推广TQM活动,经过几十年的努力,逐渐形成了日本企业的竞争力,取得了令世人瞩目的经济奇迹.戴明奖评价标准从1951年戴明奖设立以来... 戴明奖给日本企业的全面质量管理(TQM)带来了深远影响.日本企业以申请戴明奖作为动力和桥梁,积极运用和推广TQM活动,经过几十年的努力,逐渐形成了日本企业的竞争力,取得了令世人瞩目的经济奇迹.戴明奖评价标准从1951年戴明奖设立以来,一直在变化和完善,推动了戴明奖的不断发展.获得戴明奖的企业,都积极按照评审标准和要求,根据企业的特点、环境,持续完善和改进企业的质量控制和质量管理方法,其产品质量和服务得到有效提高,从而刺激更多其他企业积极开展TQM活动,以提升企业竞争力. 展开更多
关键词 日本企业 标准分析 评价标准 企业竞争力 全面质量管理 质量管理方法 质量控制 产品质量
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