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Low-Temperature Growth of Polycrystalline silicon Films by SiCl4/H2 rf Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition 被引量:4
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作者 林璇英 黄创君 +3 位作者 林揆训 余运鹏 余楚迎 池凌飞 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2003年第10期1879-1882,共4页
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Luminescent Properties of Nano-crystalline Silicon Films Embedded in SiO_(2)
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作者 林璇英 林揆训 +6 位作者 姚若河 石旺舟 李美亚 徐楚迎 余运鹏 傑厚蕴 徐严平 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 1999年第9期670-671,共2页
Nano-crystalline silicon(nc-Si)films embedded in SiO2 exhibited strong visible light luminescence at room temperature.The energies of photoluminescence peak were found to be more than 1.9eV and the peaks shifted to hi... Nano-crystalline silicon(nc-Si)films embedded in SiO2 exhibited strong visible light luminescence at room temperature.The energies of photoluminescence peak were found to be more than 1.9eV and the peaks shifted to higher energies when nano-Si films were post-oxidized.The photoluminescence intensity depended significantly on the size of the grains and the characteristics of the oxidized surface.Microcrystalline silicon grains of 2-3nm average size and radiation recombination centers located on the nanoscale silicon grain surfaces and located in the Si oxide layers are considered to be the source of the visible luminescence. 展开更多
关键词 temperature. surface. CRYSTALLINE
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用SiCl_4-H_2低温沉积多晶硅薄膜微结构的Raman分析 被引量:14
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作者 林璇英 黄创君 +3 位作者 林揆训 余运鹏 余楚迎 黄锐 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期1558-1561,共4页
用拉曼散射谱研究以SiCl4 H2 为气源 ,用射频辉光放电等离子体增强化学气相沉积技术 ,在 2 0 0℃低温下沉积多晶硅薄膜的微结构特征 .结果表明 ,薄膜表层包含有大量微晶相的纳米硅晶粒和非晶相的硅聚合物 ,随射频功率增加 ,晶相结构的... 用拉曼散射谱研究以SiCl4 H2 为气源 ,用射频辉光放电等离子体增强化学气相沉积技术 ,在 2 0 0℃低温下沉积多晶硅薄膜的微结构特征 .结果表明 ,薄膜表层包含有大量微晶相的纳米硅晶粒和非晶相的硅聚合物 ,随射频功率增加 ,晶相结构的成分增大 .另一方面 ,深度拉曼谱分布的研究也显示薄膜的晶化度和晶粒尺度随纵向深度的增加逐渐增大 .因此可以认为 ,在多晶硅薄膜生长的最初阶段 ,空间反应过程对低温晶化起重要作用 . 展开更多
关键词 拉曼散射光谱 多晶硅薄膜 晶体结构 射频辉光放电等离子体增强化学气相沉积技术 晶化度
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