恒压式微流量计的研制

介绍了恒压式微流量计的设计原理和参数的选择方法，并给出了实验结果，流量测量范围为３．４９～１．９７×１０－５Ｐａ·Ｌ／ｓ，不确定度小于２．２５％。该微流量计己用于动态流量法校准系统和低温泵的抽速测量之中。

恒压式微流量计

本文介绍恒压式微流量计的设计原理和参数的选择方法，并给出了误差分析与实验结果．流量测量范围为３．４９～１．９７×１０５Ｐａ１／ｓ，不确定度≤２．２５％。该微流量计已用于动态流量法校准系统和低温泵的抽速测量之中。

气体微流量标准装置

介绍了气体微流量标准装置的工作原理，并对其测量不确定度进行了分析与验证。测试结果表明：流量的校准范围为１７．１～１．２２×１０￣（－５）ＰａＬ／ｓ，不确定度为２％。