塑料超宽带减反射膜及抗高温高湿特性研究

为探究塑料镜片在高湿环境下透过率下降和高温环境下容易发生膜裂现象的原因,选取Ti3O5、SiO2作为高、低折射率材料,使用TFCalc进行膜系设计及优化,采用电子束蒸发工艺得到420~880 nm、平均反射率R 1%的减反射膜。测试结果表明:四种工艺参数下镀膜后的塑料镜片在85℃、85RH的环境下24 h后,透过率下降小于1%;在120℃的环境下24 h后,2#和4#镜头出现了膜裂现象。增加膜层的聚集密度可以有效提升塑料镜片的防水性能和抗高温性能。