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题名溅射靶材在集成电路领域的应用及市场情况
被引量:1
- 1
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作者
侯洁娜
陈颖
赵聪鹏
刘超
黄润坤
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机构
中国电子信息产业发展研究院
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出处
《中国集成电路》
2023年第7期23-28,共6页
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文摘
溅射沉积是一种物理气相沉积技术,用于薄膜制备,被广泛应用于集成电路、平板显示、光伏等电子信息产业。尤其是,溅射靶材作为用于溅射沉积的关键材料,在集成电路等领域发挥了重要作用。本文基于溅射靶材在不同领域的应用,介绍了靶材相关加工技术以及靶材性能的影响等内容,阐述了不同溅射靶材在集成电路制造工艺中的不同应用,并介绍了全球半导体靶材市场的整体情况以及全球主要靶材供应商的产品情况。
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关键词
溅射靶材
溅射沉积
集成电路
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Keywords
sputtering target
sputtering deposition
integrated circuit
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名全球光刻胶产业现状及布局
被引量:5
- 2
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作者
陈颖
黄润坤
吴頔
麻尧斌
侯洁娜
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机构
中国电子信息产业发展研究院
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出处
《中国集成电路》
2023年第5期22-26,65,共6页
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文摘
随着5G、智能家居、物联网、增强现实(VR)/虚拟现实(AR)等新兴领域应用的发展,对半导体芯片、显示面板、印刷电路板(PCB)等的需求也逐渐提升,对应领域产业链中的上游光刻胶是制造中的关键材料,也是保证产品和技术顺利变革发展的重要支撑。光刻胶主要用于光刻过程中的图形转移,其分辨率、对比度等技术指标直接影响最终产品质量。本文对光刻胶进行了系统性介绍,包括组分、制造流程、评价指标和分类等,同时分析了当下光刻胶市场和竞争格局情况,并对其产业未来的发展趋势进行了预测和判断。
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关键词
光刻胶
产业特点
竞争格局
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Keywords
Photoresist
Industrial characteristics
Competitive landscape
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
TB34
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名石英部件在半导体领域应用及市场概览
被引量:1
- 3
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作者
左政
侯洁娜
王珺
刘超
于跃东
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机构
中国电子信息产业发展研究院
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出处
《中国集成电路》
2023年第6期30-35,共6页
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文摘
石英部件作为集成电路、光伏等高端制造工艺中广泛应用的关键零部件,对半导体等下游产业发展具有重要意义。本文介绍了石英部件在半导体领域的应用及全球市场的主要情况,分析了半导体领域石英部件应用的未来行业趋势。
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关键词
石英
石英部件
半导体
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Keywords
quartz
quartz products
semiconductor
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分类号
F42
[经济管理—产业经济]
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题名车载激光雷达行业概述
被引量:1
- 4
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作者
黄润坤
陈颖
吴頔
侯洁娜
麻尧斌
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机构
中国电子信息产业发展研究院
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出处
《科技经济市场》
2023年第5期16-18,共3页
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文摘
随着高级驾驶辅助系统(ADAS)的应用和新能源汽车的兴起,激光雷达成为备受关注的领域。文章介绍了车载激光雷达行业的发展历史、应用原理及分类、市场情况、未来发展趋势及面临的挑战。
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关键词
激光雷达行业
应用原理
ADAS
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分类号
TN9
[电子电信—信息与通信工程]
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