光学面形绝对检测方法发展综述

详细介绍了三平(球)面互检法、双球面法、旋转平均法、平移差分法(伪剪切干涉法)、奇偶函数法、随机球法和旋转平移法等光学面形绝对检测方法的测量原理,针对不同方法简述了国内外绝对检测技术的发展动态,并对比了不同绝对检测方法的适用领域以及存在相应的技术限制。从物理实现和算法两方面对绝对检测技术的未来发展趋势进行展望,提出了通过提高外部机械结构精度来增加面形绝对检测精度,分析了深度神经网络算法与计算光学成像技术两种方法在绝对检测过程中的优势,并提出通过将两种方法与绝对检测技术相结合可进一步提高光学面形的绝对检测精度,为绝对检测相关领域的研究提供有益参考。