电化学沉积类金刚石薄膜阳极材料影响研究

分别由石墨、铂、铜和不锈钢制成阳极，在较低温度条件（60－70℃）下电解丙酮／去离子水混合溶液沉积类金刚石薄膜。利用台阶仪、扫描电子显微镜（SEM）、能谱仪（EDX）和拉曼光谱仪（Raman）对薄膜进行表征。结果表明：由石墨、铂作阳极制备了典型的非掺杂DLC薄膜，并且石墨阳极获得的DLC薄膜生长速率高、表面平整光滑；由铜阳极制备了铜掺杂的DLC薄膜；而在相同条件下，使用不锈钢作阳极没有获得碳薄膜。因此，阳极材料对液相电化学沉积DLC薄膜的成膜速率、表面形貌、成分和结构均有显著影响。