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Bi_(2)O_(3)电致变色薄膜的膜厚甄选
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作者 吴浩 赵加栋 +1 位作者 刘春雨 俞圣雯 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期43-53,共11页
为了得到能够呈现出合理电致变色性能的Bi_(2)O_(3)薄膜,需要筛选其膜厚.通过磁控溅射法制备得到厚度为20~300 nm的Bi_(2)O_(3)薄膜,并利用UH4150紫外可见(ultravioletvisible,UV-Vis)分光光度计和CHI-660e电化学工作站测试薄膜的电致... 为了得到能够呈现出合理电致变色性能的Bi_(2)O_(3)薄膜,需要筛选其膜厚.通过磁控溅射法制备得到厚度为20~300 nm的Bi_(2)O_(3)薄膜,并利用UH4150紫外可见(ultravioletvisible,UV-Vis)分光光度计和CHI-660e电化学工作站测试薄膜的电致变色性能.采用扫描电子显微镜(scanning electron microscope,SEM)和X射线衍射仪(X-ray diffraction,XRD)分别检测了薄膜的表面形貌和物相结构.对变色对比度(ΔT_(λ=550 nm))、电致变色效率(η)以及性能保留度(R_(ΔT)、R_(η))的表现进行综合甄别,发现膜厚介于60~120 nm之间的Bi_(2)O_(3)薄膜的ΔT和η分别达到25%和10 cm^(2)/C,并且具有较高的电致变色性能保留度(R_(ΔT)=20%、R_(η)=44.6%).这可能与该厚度区间薄膜的主要物相为具有较高离子导电性的δ相有关. 展开更多
关键词 膜厚 氧化铋 电致变色 薄膜
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溶胶-凝胶方法制备铁酸铋薄膜及膜厚的影响 被引量:4
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作者 俞圣雯 蔡金玉 +1 位作者 严云飞 程晋荣 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期509-513,共5页
以溶胶-凝胶方法制备不同厚度的铁酸铋(BiFeO3,BFO)薄膜,XRD分析表明,BFO薄膜呈钙钛矿相结构,且随着厚度的增加,薄膜的结晶性变好.而薄膜厚度为4层(200 nm)至8层(400 nm)之间,其微观结构可能发生由赝立方相向三方相的转变.同时,随着膜... 以溶胶-凝胶方法制备不同厚度的铁酸铋(BiFeO3,BFO)薄膜,XRD分析表明,BFO薄膜呈钙钛矿相结构,且随着厚度的增加,薄膜的结晶性变好.而薄膜厚度为4层(200 nm)至8层(400 nm)之间,其微观结构可能发生由赝立方相向三方相的转变.同时,随着膜厚的增加,BFO薄膜的介电性能得到改善,绝缘性能得到提高,铁电性能也相应地好转. 展开更多
关键词 铁酸铋 溶胶-凝胶 薄膜 厚度
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LECBD法制备Pb团簇 被引量:1
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作者 俞圣雯 陈平平 王广厚 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 1998年第S1期270-272,共3页
用LECBD法制备的Pb团簇薄膜,具有亚微米量级的平整度、均匀性,结构致密,具有较高的应用前景。
关键词 LECBD PB CLUSTER
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BiFeO_3-PbTiO_3系高温压电陶瓷的阻抗谱分析 被引量:4
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作者 程晋荣 石贵阳 +2 位作者 祁玉发 陈建国 俞圣雯 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期535-540,共6页
采用交流阻抗谱分析0.63(Bi_(0.94)La_(0.06))(Ca_(0.05)Fe_(0.95))O_3-0.37PbTiO_3(BLGF-PT)高温压电陶瓷的导电机制.阻抗谱和模谱分析表明,BLGF-PT的绝缘性能主要由晶粒贡献,BLGF-PT陶瓷的电学等效电路可以用一个电阻和一个通用电容... 采用交流阻抗谱分析0.63(Bi_(0.94)La_(0.06))(Ca_(0.05)Fe_(0.95))O_3-0.37PbTiO_3(BLGF-PT)高温压电陶瓷的导电机制.阻抗谱和模谱分析表明,BLGF-PT的绝缘性能主要由晶粒贡献,BLGF-PT陶瓷的电学等效电路可以用一个电阻和一个通用电容器并联构成.由阻抗谱计算得出的晶粒电阻率随温度的升高而下降,载流子的激活能为0.88 eV. 展开更多
关键词 阻抗谱 高温压电陶瓷 等效电路 导电机制
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脉冲激光镀膜工艺制备BiFeO_3-CoFe_2O_4多铁性复合薄膜 被引量:1
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作者 程晋荣 朱岩岩 +4 位作者 陈建国 俞圣雯 吴文彪 金灯仁 孟中岩 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期487-491,共5页
采用脉冲激光镀膜(PLD)工艺,在Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上制备了柱状结构0.7BiFeO3-0.3CoFe2O4(BFO-CFO)多铁性复合薄膜.在薄膜的沉积过程中,通过自组装生长实现钙钛矿结构BiFeO3和尖晶石结构CoFe2O4相的形成以及两相分离.探索了BFO-CFO... 采用脉冲激光镀膜(PLD)工艺,在Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上制备了柱状结构0.7BiFeO3-0.3CoFe2O4(BFO-CFO)多铁性复合薄膜.在薄膜的沉积过程中,通过自组装生长实现钙钛矿结构BiFeO3和尖晶石结构CoFe2O4相的形成以及两相分离.探索了BFO-CFO复合薄膜的生长条件和机制,研究了薄膜厚度对BFO-CFO复合薄膜结构和性能的影响. 展开更多
关键词 多铁性复合薄膜 脉冲激光工艺 柱状结构 自组装生长 厚度
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太赫兹探测器读出电路的单电子晶体管制备 被引量:2
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作者 刘永涛 李欣幸 +3 位作者 张志鹏 方靖岳 秦华 俞圣雯 《太赫兹科学与电子信息学报》 2017年第1期15-20,共6页
射频单电子晶体管具有高电荷灵敏度和高读出速率的特点,可用于超导太赫兹单光子探测器产生的微弱电荷信号的读出。采用绝缘体上硅(SOI)材料制备的硅基单电子晶体管具有结构可控、工艺可重复的优点。但是,目前单电子晶体管的成品率约为3... 射频单电子晶体管具有高电荷灵敏度和高读出速率的特点,可用于超导太赫兹单光子探测器产生的微弱电荷信号的读出。采用绝缘体上硅(SOI)材料制备的硅基单电子晶体管具有结构可控、工艺可重复的优点。但是,目前单电子晶体管的成品率约为30%,难以满足探测器阵列化的需求。为进一步提高单电子晶体管成品率,首先采用电子束零宽度线曝光工艺精确设定单电子晶体管的图形,其次对感应耦合等离子体刻蚀工艺中的气氛比例进行优化,实现电子束曝光图形的良好转移。最后通过降低氧化温度进一步保持了图形转移的准确度。单电子晶体管的隧穿势垒宽度得到了良好的控制,使成品率提高到90%,增强了单电子晶体管作为阵列化超导太赫兹单光子探测器读出电路的可行性。 展开更多
关键词 零宽度线曝光 单电子晶体管 近邻效应 太赫兹单光子探测器 隧穿势垒
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热沉钨铜合金薄板冷轧裂纹产生机理的研究 被引量:1
7
作者 万向武 曾贵 +3 位作者 常真 俞圣雯 李运波 朱玉斌 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2015年第1期153-155,共3页
传统液相烧结工艺制备的钨铜合金会产生很多缺陷,在压力加工下成为宏观裂纹。对比分析了在相同制备条件下的80W-Cu和85W-Cu合金的冷轧前后的内外部组织形貌,并对这两种合金内部和表面各区域的钨颗粒粒度进行了统计分析。结果表明:85W-C... 传统液相烧结工艺制备的钨铜合金会产生很多缺陷,在压力加工下成为宏观裂纹。对比分析了在相同制备条件下的80W-Cu和85W-Cu合金的冷轧前后的内外部组织形貌,并对这两种合金内部和表面各区域的钨颗粒粒度进行了统计分析。结果表明:85W-Cu合金比80W-Cu合金含铜量少,在烧结过程中,85W-Cu合金没有足够的液铜填充到W-W骨架中,因而85W-Cu合金内部具有更多的孔隙,而这些孔隙缺陷是轧制时形成宏观裂纹的根源。 展开更多
关键词 W-Cu合金 孔隙 宏观裂纹 钨颗粒
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熔焊法制备93W-Ni-Fe合金块状材料 被引量:1
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作者 田军强 唐星 +4 位作者 侯占杰 夏彬 俞圣雯 李云波 朱玉斌 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2013年第22期101-103,共3页
以高纯钨粉、镍粉和铁粉为原料,配制93W-Ni-Fe复合粉料,将其轧制成一定厚度的方形薄片。采用熔焊法,制备高密度93W-Ni-Fe合金块状材料,并对其组织进行分析。
关键词 熔焊法 93W-Ni-Fe合金
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(TA)_5T结构TiO_2/Ag组装薄膜的制备及其性能
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作者 韩薇 王悦 +2 位作者 唐昊天 于静静 俞圣雯 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期719-726,共8页
采用磁控溅射法制备了不同Ag含量的(TA)_5T结构的TiO_2/Ag组装薄膜,并研究了薄膜的结构及其性能.利用X射线衍射(X-ray diffraction,XRD)仪分析了薄膜的物相结构,扫描电子显微镜(scanning electron microscope,SEM)观察了薄膜的表面形貌... 采用磁控溅射法制备了不同Ag含量的(TA)_5T结构的TiO_2/Ag组装薄膜,并研究了薄膜的结构及其性能.利用X射线衍射(X-ray diffraction,XRD)仪分析了薄膜的物相结构,扫描电子显微镜(scanning electron microscope,SEM)观察了薄膜的表面形貌,用紫外可见分光光度计(ultraviolet-visible spectrophotometry,UV-VIS)研究了薄膜的吸收光谱,采用Keithley 2400测试了薄膜的I-V曲线,计算了薄膜的电阻率.结果表明:在N2气氛中500?C退火60 min,制备得到的(TA)5T结构TiO_2/Ag组装薄膜中的TiO_2呈锐钛矿相,并且随着Ag含量的增加,TiO_2晶粒变大;分布在组装薄膜表面的Ag纳米颗粒形状不规则、大小不统一且分布不均匀;与纯TiO_2薄膜对比,(TA)5T组装薄膜的吸收边蓝移,出现了表面等离子体共振(surface plasmon resonance,SPR)吸收峰,且其电阻率随着Ag含量的增加而减小,并可通过调节Ag层厚度来调控Ag含量,从而调控等离子体共振峰的峰位. 展开更多
关键词 TiO2/Ag组装薄膜 磁控溅射法 Ag含量 表面等离子体共振
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Te团簇膜及其退火效应
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作者 陈平平 洪建明 +5 位作者 季亚林 缪炳有 俞圣雯 李天信 韩民 王广厚 《电子显微学报》 CAS CSCD 1998年第5期501-502,共2页
新发展起来的低能团簇束流淀积技术(LECBD)由于其尺寸可控,以及分布均一而引起人们的关注。利用该技术已制备了高质量的Sb,Bi薄膜,并发现了许多新奇的现象[1]。Te及其合金膜已在记忆开关元件等光电器件中得到大量的... 新发展起来的低能团簇束流淀积技术(LECBD)由于其尺寸可控,以及分布均一而引起人们的关注。利用该技术已制备了高质量的Sb,Bi薄膜,并发现了许多新奇的现象[1]。Te及其合金膜已在记忆开关元件等光电器件中得到大量的应用,并有很强的各向异性特性[2]... 展开更多
关键词 薄膜 退火效应 团簇束流淀积 团簇膜
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单电子晶体管与原子力扫描探针的集成
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作者 刘永涛 李欣幸 +2 位作者 张志鹏 秦华 俞圣雯 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第6期413-418,共6页
单电子晶体管(SET)可用作超灵敏电荷计,将SET集成到原子力扫描探针上,可得到对被测样品的表面形貌和电荷空间分布扫描成像。介绍了一种硅基台阶型原子力扫描探针与SET的集成方案。一对共漏极的SET集成在台阶型针尖上,台阶型的针尖和静... 单电子晶体管(SET)可用作超灵敏电荷计,将SET集成到原子力扫描探针上,可得到对被测样品的表面形貌和电荷空间分布扫描成像。介绍了一种硅基台阶型原子力扫描探针与SET的集成方案。一对共漏极的SET集成在台阶型针尖上,台阶型的针尖和静电探针的设计避免了SET的刻蚀损伤。通过SET和静电探针的电容耦合来实现电荷探测。将扫描探针与石英音叉进行组装,在8 K低温下成功实现了间距2μm金属光栅10°倾角的形貌扫描,并获得形貌图,针尖上的SET具有良好的库仑阻塞效应和单电子隧穿特性。 展开更多
关键词 单电子晶体管(SET) 原子力扫描探针 绝缘体上硅(SOI) 台阶型针尖 石英音叉
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0.7BiFeO_3-0.3PbTiO_3薄膜结构与电学性能的厚度效应
12
作者 张海波 孙冬梅 俞圣雯 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第11期39-42,共4页
以溶胶一凝胶法在Pt/Ti/Si02/Si(111)基底上制备了厚度为30~1110nm的0.7BiFeO3.0.3PbTiO3(0.7BFO-0.3PT)薄膜,研究了薄膜厚度对0.7BFO-0.3PT薄膜的结构与电学性能的影响。结果表明,随着膜厚的增加,晶格常数C与日的比... 以溶胶一凝胶法在Pt/Ti/Si02/Si(111)基底上制备了厚度为30~1110nm的0.7BiFeO3.0.3PbTiO3(0.7BFO-0.3PT)薄膜,研究了薄膜厚度对0.7BFO-0.3PT薄膜的结构与电学性能的影响。结果表明,随着膜厚的增加,晶格常数C与日的比值c/a以及晶粒尺寸都呈现先增大后减小的趋势,但其剩余极化强度及介电常数却均与薄膜厚度呈正比。厚度为180nm的0.7BFO-0.3PT薄膜具有最大的矫顽场(2.99×10^5V/cm)和晶粒均匀度(42nm),同时其品格常数比c/a也达到最大,为1.1299。 展开更多
关键词 薄膜 结构 电学性能 厚度效应
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退火气氛对Bi_2O_3薄膜电致变色性能的影响
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作者 于静静 石基 俞圣雯 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期968-977,共10页
采用溶胶-凝胶法制备了Bi_2O_3薄膜,分别在空气、氮气、氧气气氛中退火.用X射线衍射(X-ray diffraction, XRD)仪分析薄膜的物相结构;用扫描电子显微镜(scanning electron microscope, SEM)观察薄膜的表面形貌;用紫外可见分光光度计(ultr... 采用溶胶-凝胶法制备了Bi_2O_3薄膜,分别在空气、氮气、氧气气氛中退火.用X射线衍射(X-ray diffraction, XRD)仪分析薄膜的物相结构;用扫描电子显微镜(scanning electron microscope, SEM)观察薄膜的表面形貌;用紫外可见分光光度计(ultraviolet-visible spectroscopy, UV-Vis)以及电化学工作站测试薄膜的电致变色性能.结果表明:Bi_2O_3薄膜具有电致变色现象,表现为黑色与透明淡黄色之间的相互转换,其中氮气气氛退火的样品具有100%的化学计量比相及较高含量的δ相,颗粒尺寸分布范围较小,电致变色效率最高,约为21 cm^2/C. 展开更多
关键词 氧化铋 电致变色 薄膜 溶胶-凝胶
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Zn-Ti-O/FTO复合薄膜的选择降解
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作者 石基 赵加栋 俞圣雯 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期133-143,共11页
采用溶胶-凝胶法在氟掺杂氧化锡(fluorine-doped tin oxide,FTO)导电玻璃上制备Zn-Ti-O/FTO复合薄膜,并通过X射线衍射(X-ray diffraction,XRD)分析样品的物相结构,利用紫外可见(ultra-violet and visible,UV-Vis)分光光度计测试样品的... 采用溶胶-凝胶法在氟掺杂氧化锡(fluorine-doped tin oxide,FTO)导电玻璃上制备Zn-Ti-O/FTO复合薄膜,并通过X射线衍射(X-ray diffraction,XRD)分析样品的物相结构,利用紫外可见(ultra-violet and visible,UV-Vis)分光光度计测试样品的吸收光谱,使用扫描电子显微镜(scanning electron microscope,SEM)表征样品的微观形貌.分别研究了Zn-Ti-O/FTO对甲基橙(methyl orange,MO)、亚甲基蓝(methylene blue,MB)以及罗丹明B(rhodamine B,RhB)的光催化降解作用.结果表明:所得到的Zn-Ti-O/FTO结构表现出明显的有机物降解的优选性,对于MB具有光催化降解效率为90.3%/(6 h)的最优降解效果.这种优选性可能与薄膜、衬底的导带底/价带顶以及有机降解物的最低未占分子轨道能级和最高占据分子轨道能级的相对位置相关. 展开更多
关键词 Zn-Ti-O/FTO 光催化 优选性 溶胶-凝胶
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Effects of HfO_2 buffer layers on the dielectric property and leakage current of Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3 thin films by pulsed laser deposition
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作者 耿彦 程晋荣 +1 位作者 俞圣雯 吴文彪 《Journal of Shanghai University(English Edition)》 CAS 2010年第6期456-459,共4页
Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST) thin films with and without HfO 2 buffer layer were fabricated on Pt/Ti/SiO2/Si substrates by pulsed laser deposition. Dependences of HfO 2 thickness on the dielectric property and leakage curre... Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST) thin films with and without HfO 2 buffer layer were fabricated on Pt/Ti/SiO2/Si substrates by pulsed laser deposition. Dependences of HfO 2 thickness on the dielectric property and leakage current of BST thin films were focused. The dielectric constant of BST thin films increased and then decreased with the increase of HfO 2 thickness, while the dielectric relaxation was gradually improved. The loss tangent and leakage current under positive bias decreased with the HfO 2 thickness increasing. The leakage current analysis based on the Schottky emission indicated an improvement of the BST/Pt interface with HfO 2 buffer layer. The loss tangent, tunability and figure of merit of optimized HfO 2 buffered BST thin film achieved 0.009 8, 21.91% (E max = 200 kV/cm), 22.40 at 10 6 Hz, respectively. 展开更多
关键词 Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST) thin film HfO 2 buffer layer dielectric property leakage current Schottky emission
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Preparation of BiFeO_3 thin films by pulsed laser deposition method
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作者 张冠军 程晋荣 +2 位作者 陈蕊 俞圣雯 孟中岩 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2006年第B01期123-125,共3页
BiFeO3 (BFO) thin films were prepared on Pt(111)/TiO2/SiO2/Si(100) substrates by the pulsed-laser deposition (PLD) technique at a low temperature of 450℃. The XRD results indicate that the BFO thin films are of perov... BiFeO3 (BFO) thin films were prepared on Pt(111)/TiO2/SiO2/Si(100) substrates by the pulsed-laser deposition (PLD) technique at a low temperature of 450℃. The XRD results indicate that the BFO thin films are of perovskite structure with the presence of small amount of second phases. The oxygen pressures have great effect on the crystalline structures and dielectric properties of BFO thin films. The dielectric constant of the BFO thin films decreases with increasing oxygen pressures, achieving 186, 171 and 160 at the frequency of 104 Hz for the oxygen pressures of 0.666, 1.333 and 13.332 Pa, respectively. The BFO thin films prepared at the oxygen pressure of 0.666 Pa reveal a saturated hysteresis loop with the remanent polarization of 7.5 μC/cm2 and the coercive field of 176 kV/cm. 展开更多
关键词 BIFEO3 薄膜 脉冲激光沉积法 制备 结构 介电性质
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Dielectric properties of BiFeO_3-PbTiO_3 thin films prepared by PLD
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作者 陈蕊 俞圣雯 +2 位作者 张冠军 程晋荣 孟中岩 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2006年第B01期116-118,共3页
BiFeO3-PbTiO3 (BFO-PT) thin films were prepared on Pt/TiO2/SiO2/Si substrates by pulsed-laser deposition (PLD) technique under different oxygen pressures. The structures of the films were characterized by means of XRD... BiFeO3-PbTiO3 (BFO-PT) thin films were prepared on Pt/TiO2/SiO2/Si substrates by pulsed-laser deposition (PLD) technique under different oxygen pressures. The structures of the films were characterized by means of XRD. The current densities were performed to check the conductivity of the films. The dielectric constant and loss factor (tanδ) of the films were measured. The results show that the BFO-PT layers are mainly perovskite structured; the film deposited under 6.665 Pa exhibits low leakage current, low dielectric loss (0.017-0.041) and saturated hysteresis loop with polarization (Pr) value and coercive field (Ec) of 3 μC/cm2 and 109 kV/cm. 展开更多
关键词 BiFeO3-PbTiO3薄膜 脉冲激光沉积法 制备 介电性质 铁电性质
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