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高Q值横向激发体声波谐振器的设计与制备
1
作者
张帅
俞振一
+4 位作者
郭瑜
孙宗琴
傅肃磊
许志斌
王为标
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第2期154-158,共5页
随着5G移动通信时代的发展,射频前端(RF front-ends)的滤波和信号处理迫切需要高频大带宽的声学谐振器。横向激发体声波谐振器(XBAR)具有超高的工作频率和超大的机电耦合系数(k^(2)),但其品质因数(Q)值不高,阻碍了其在射频前端中的应用...
随着5G移动通信时代的发展,射频前端(RF front-ends)的滤波和信号处理迫切需要高频大带宽的声学谐振器。横向激发体声波谐振器(XBAR)具有超高的工作频率和超大的机电耦合系数(k^(2)),但其品质因数(Q)值不高,阻碍了其在射频前端中的应用。该文提出了一种基于ZY切铌酸锂(LiNbO 3)的XBAR谐振器,通过有限元(FEM)仿真对谐振器进行了优化设计,并在微机电系统(MEMS)工艺下对谐振器进行加工。该文所制备的横向激发体声波谐振器A 1模式的谐振频率为4.72 GHz,k 2=26.9%,Q_(3) dB为384,温度频率漂移系数为-60.5×10^(-6)/℃。A_(3)模式的谐振频率为13.5 GHz,k^(2)=4.4%。
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关键词
横向激发体声波谐振器(XBAR)
品质因数(Q)值
高频
大带宽
5G通信
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职称材料
超大带宽高频XBAR谐振器研究
2
作者
俞振一
郭瑜
+6 位作者
傅肃磊
苏荣宣
李百川
张帅
徐惠平
潘峰
王为标
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第5期700-703,共4页
随着第五代移动通信(5G)时代的到来,高频、大带宽的谐振器成为通信行业的迫切需求。该文设计制备了一款可实现高频超大带宽的横向激发体声波谐振器(XBAR)。该谐振器A1模式的谐振频率为5.81 GHz,机电耦合系数可达39.6%,Q-3 dB为248;A3模...
随着第五代移动通信(5G)时代的到来,高频、大带宽的谐振器成为通信行业的迫切需求。该文设计制备了一款可实现高频超大带宽的横向激发体声波谐振器(XBAR)。该谐振器A1模式的谐振频率为5.81 GHz,机电耦合系数可达39.6%,Q-3 dB为248;A3模式的谐振频率高达17.04 GHz,机电耦合系数为7.0%。该谐振器A1和A3模式的频率温度漂移系数(TCF)分别为-72.6×10^(-6)/℃和-38.5×10^(-6)/℃。此外,该文还提出了一种新型叉指电极(IDT)结构,该结构可以抑制寄生模式,提升谐振器性能。
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关键词
XBAR谐振器
高频率
超大带宽
5G通信
寄生模式
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职称材料
题名
高Q值横向激发体声波谐振器的设计与制备
1
作者
张帅
俞振一
郭瑜
孙宗琴
傅肃磊
许志斌
王为标
机构
江南大学物联网工程学院
无锡市好达电子股份有限公司
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第2期154-158,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(61701195)。
文摘
随着5G移动通信时代的发展,射频前端(RF front-ends)的滤波和信号处理迫切需要高频大带宽的声学谐振器。横向激发体声波谐振器(XBAR)具有超高的工作频率和超大的机电耦合系数(k^(2)),但其品质因数(Q)值不高,阻碍了其在射频前端中的应用。该文提出了一种基于ZY切铌酸锂(LiNbO 3)的XBAR谐振器,通过有限元(FEM)仿真对谐振器进行了优化设计,并在微机电系统(MEMS)工艺下对谐振器进行加工。该文所制备的横向激发体声波谐振器A 1模式的谐振频率为4.72 GHz,k 2=26.9%,Q_(3) dB为384,温度频率漂移系数为-60.5×10^(-6)/℃。A_(3)模式的谐振频率为13.5 GHz,k^(2)=4.4%。
关键词
横向激发体声波谐振器(XBAR)
品质因数(Q)值
高频
大带宽
5G通信
Keywords
laterally excited bulk wave resonator(XBAR)
quality factor(Q)
high-frequency
large-bandwidth
5G
分类号
TN713 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
超大带宽高频XBAR谐振器研究
2
作者
俞振一
郭瑜
傅肃磊
苏荣宣
李百川
张帅
徐惠平
潘峰
王为标
机构
江南大学物联网工程学院
无锡市好达电子股份有限公司
清华大学材料学院
上海师范大学信息与机电工程学院
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第5期700-703,共4页
基金
国家重点研发计划资助项目(2020YFB0408900)
国家自然科学基金资助项目(52002205)。
文摘
随着第五代移动通信(5G)时代的到来,高频、大带宽的谐振器成为通信行业的迫切需求。该文设计制备了一款可实现高频超大带宽的横向激发体声波谐振器(XBAR)。该谐振器A1模式的谐振频率为5.81 GHz,机电耦合系数可达39.6%,Q-3 dB为248;A3模式的谐振频率高达17.04 GHz,机电耦合系数为7.0%。该谐振器A1和A3模式的频率温度漂移系数(TCF)分别为-72.6×10^(-6)/℃和-38.5×10^(-6)/℃。此外,该文还提出了一种新型叉指电极(IDT)结构,该结构可以抑制寄生模式,提升谐振器性能。
关键词
XBAR谐振器
高频率
超大带宽
5G通信
寄生模式
Keywords
XBAR resonator
high frequency
ultra wide-bandwidth
5G communication
spurious mode
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TN751.2 [电子电信—电路与系统]
TN713 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高Q值横向激发体声波谐振器的设计与制备
张帅
俞振一
郭瑜
孙宗琴
傅肃磊
许志斌
王为标
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
超大带宽高频XBAR谐振器研究
俞振一
郭瑜
傅肃磊
苏荣宣
李百川
张帅
徐惠平
潘峰
王为标
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022
0
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职称材料
已选择
0
条
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参考文献
引证文献
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