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SiO2薄膜制备方法、性能及其应用的研究进展 被引量：8
1
作者 俞立宸 季鑫 +2 位作者 高磊 顾雁豪 周晟吉 《上海工程技术大学学报》 CAS 2019年第3期215-218,277,共5页
综述了二氧化硅(SiO2)薄膜的制备方法和研究进展,介绍了磁控溅射、溶胶凝胶法和真空镀等SiO2薄膜制备方法及其优缺点,论述SiO2薄膜在光学、电学和光电等性能研究方面的新进展,最后对SiO2薄膜的应用和发展进行了展望.
关键词 SIO2薄膜 制备方法 磁控溅射 光学性能
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