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激光诱导放电等离子体极紫外辐射的模拟
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作者 王均武 玄洪文 +2 位作者 俞航航 王新兵 Vassily S.Zakharov 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期258-265,共8页
极紫外光刻是目前新一代超高集成度半导体芯片制造流程中重要的一环,激光诱导放电等离子体是极紫外光源产生的重要技术手段之一.本文基于全局状态方程、原子结构计算程序、碰撞辐射模型建立了一个辐射磁流体力学模型,对激光诱导放电等... 极紫外光刻是目前新一代超高集成度半导体芯片制造流程中重要的一环,激光诱导放电等离子体是极紫外光源产生的重要技术手段之一.本文基于全局状态方程、原子结构计算程序、碰撞辐射模型建立了一个辐射磁流体力学模型,对激光诱导放电等离子体的动力学特性及极紫外的辐射特性进行模拟,模拟复现了放电过程中的箍缩现象,得到的极紫外光的转化效率与实验符合.研究发现放电电流的上升速率对极紫外光的产生有极大的影响,该结果对后续极紫外光输出功率、转化效率以及光谱纯度的提升有重要的指导意义. 展开更多
关键词 辐射磁流体力学 激光诱导放电等离子体 碰撞辐射模型 极紫外光
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声光偏转快调谐脉冲CO_2激光器实验研究 被引量:3
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作者 潘其坤 俞航航 +4 位作者 陈飞 谢冀江 何洋 于德洋 张阔 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期355-361,共7页
采用双声光调制器光路快速偏转技术与自准直光栅法实现CO_2激光全波段快调谐同光路输出。首先对声光调制器特性进行实验研究,结果显示:声光调制器偏转角度约为4. 4°,与运用布拉格方程计算结果相符;且激光单次通过声光调制器移频量... 采用双声光调制器光路快速偏转技术与自准直光栅法实现CO_2激光全波段快调谐同光路输出。首先对声光调制器特性进行实验研究,结果显示:声光调制器偏转角度约为4. 4°,与运用布拉格方程计算结果相符;且激光单次通过声光调制器移频量为40. 68 MHz,与声光驱动器射频频率一致,将激光往返多次经声光调制器的移频量叠加。进而,开展基于声光调制器的CO_2激光快调谐实验研究,运用两个对称布置的同驱动频率声光调制器补偿声光移频,实现偏转光路振荡输出,运用光栅法在直线光路中实现激光全波段可调谐输出。最终,在声光调制器时序控制下,实现双波长激光快调谐同光路输出,选定激光波长的切换时间约为1 ms,脉宽小于300 ns,且双波长切换速度不受CO_2激光跃迁谱带的限制。 展开更多
关键词 CO2激光器 快调谐 声光调制器 光栅
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双光子吸收碱金属蒸气激光器研究进展 被引量:3
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作者 俞航航 陈飞 +5 位作者 李耀彪 何洋 潘其坤 谢冀江 于德洋 卢启鹏 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期38-47,共10页
蓝紫激光和中红外激光在基础研究和国防工程中有重要的应用前景。单光子吸收的碱金属蒸气激光器具有量子效率高、受激发射截面大和热管理性能好等优点,近些年来已成为激光领域中研究热点之一,目前已实现k W量级的输出。双光子吸收的碱... 蓝紫激光和中红外激光在基础研究和国防工程中有重要的应用前景。单光子吸收的碱金属蒸气激光器具有量子效率高、受激发射截面大和热管理性能好等优点,近些年来已成为激光领域中研究热点之一,目前已实现k W量级的输出。双光子吸收的碱金属蒸气激光器可实现蓝紫激光和中红外激光级联输出的特性,也引起越来越多的关注。本文从碱金属原子密度、泵浦光功率、偏振和频率失调量以及调控激光等几种影响因素出发,综述了双光子吸收碱金属蒸气激光的研究进展,在此基础上分析了影响激光输出特性的原因,最后对双光子吸收碱金属蒸气激光器的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 碱金属蒸气激光器 双光子吸收 红外激光 蓝紫激光
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用于超短脉冲CO2激光的半导体光开关理论建模与数值分析 被引量:3
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作者 高月娟 陈飞 +3 位作者 潘其坤 俞航航 李红超 田有朋 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期577-585,共9页
本文开展了基于半导体光开关技术实现超短脉宽CO2激光输出的物理机制研究。首先,在分析光生载流子过程及载流子复合扩散机制的基础上,引入直接吸收、俄歇复合、等离激元辅助复合以及双极扩散等物理过程,并基于Drude理论,完善了半导体光... 本文开展了基于半导体光开关技术实现超短脉宽CO2激光输出的物理机制研究。首先,在分析光生载流子过程及载流子复合扩散机制的基础上,引入直接吸收、俄歇复合、等离激元辅助复合以及双极扩散等物理过程,并基于Drude理论,完善了半导体光开关理论模型。其次,利用该模型对两级半导体光开关产生超短CO2脉冲机制进行了数值模拟及分析,结果显示该模型与国外最新实验结果一致,表明了模型的合理性与正确性。最后,利用该模型分析了控制光脉冲宽度对两级光开关工作效率的影响,发现短的控制光脉冲更有利于精确、高效地截取出高质量的超短CO2脉冲。本文研究证明半导体光开关法是实现超短CO2激光脉宽可调输出的有效技术途径。 展开更多
关键词 CO2激光 半导体光开关 光生等离子体 超短脉冲
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Watt-level,green-pumped optical parametric oscillator based on periodically poled potassium titanyl phosphate with high extraction efficiency
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作者 Hang-Hang Yu Zhi-Tao Zhang Hong-Wen Xuan 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第12期236-240,共5页
We report a compact,efficient optical parametric oscillator(OPO)based on a periodically poled potassium titanyl phosphate(PPKTP)crystal pumped by a 532 nm laser,which generated 1.51 W of average power at the signal wa... We report a compact,efficient optical parametric oscillator(OPO)based on a periodically poled potassium titanyl phosphate(PPKTP)crystal pumped by a 532 nm laser,which generated 1.51 W of average power at the signal wavelength of 709 nm with the pulse duration of~1.0 ns.The extraction efficiency was up to 59%.To the best of our knowledge,this is the first report on Watt-level green-pumped PPKTP-based singly resonant oscillator OPO(SRO-OPO).The precise build-up time of OPO was determined to be 1.6 ns benefitting from the characteristic of twin-peak pulse profile of pump beam.The spectrum width of the idler was also measured to be 4.2 nm with the central wavelength of 2134 nm at 0.2 nm spectral resolution of optical spectrum analyzer.In addition,the beam quality of M^(2)<1.9 of generated signal exhibits a good consistency with M^(2)<1.5 for the pump source. 展开更多
关键词 SRO-OPO PPKTP build-up time
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基于国产商用CLBO晶体的高转换效率、高功率深紫外266 nm激光 被引量:1
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作者 俞航航 张志韬 玄洪文 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期234-240,共7页
深紫外激光具有光子能量高、波长短等特点,在激光加工、半导体光刻等领域中具有重要的应用价值。固体激光非线性频率变换是实现高功率、高相干性深紫外激光输出的主要方式之一。采用全固态532 nm激光作为基频光、国产商用CsLiB_(6)O_(10... 深紫外激光具有光子能量高、波长短等特点,在激光加工、半导体光刻等领域中具有重要的应用价值。固体激光非线性频率变换是实现高功率、高相干性深紫外激光输出的主要方式之一。采用全固态532 nm激光作为基频光、国产商用CsLiB_(6)O_(10)(CLBO)晶体作为频率变换晶体,在基频光功率为34.2 W时,实现了平均功率为14 W、重复频率为100 kHz、脉冲宽度为1.8 ns的266 nm深紫外激光输出,光-光转换效率达到41%。该深紫外光源具有效率高、结构紧凑的优点,验证了国产商用CLBO晶体的实用性,可进一步获得更稳定、更高功率的深紫外激光输出。 展开更多
关键词 激光器 深紫外激光 全固态激光 CsLiB_(6)O_(10)晶体 高功率
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铌酸锂受激辐射太赫兹波的结构优化与模拟
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作者 孔默阳 俞航航 王天武 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2024年第11期192-198,共7页
提出一种基于接触光栅的共线型铌酸锂强太赫兹辐射源方案,其特点在于实现了泵浦光入射方向与太赫兹波辐射方向的共线,直接省略了传统倾斜波前技术中复杂的角度调节工作。该方案同时兼具结构紧凑、光路简单、辐射效率高等优点,为铌酸锂... 提出一种基于接触光栅的共线型铌酸锂强太赫兹辐射源方案,其特点在于实现了泵浦光入射方向与太赫兹波辐射方向的共线,直接省略了传统倾斜波前技术中复杂的角度调节工作。该方案同时兼具结构紧凑、光路简单、辐射效率高等优点,为铌酸锂太赫兹源的广泛应用打下基础。通过结构仿真、理论推导与数值仿真,对方案中的接触光栅结构设计与铌酸锂晶体中发生的非线性相互作用进行了研究分析,得到了最优化光栅结构参数以及太赫兹波在铌酸锂晶体内部传播的辐射场强度分布情况。根据仿真结果,当泵浦光传播一定距离后,太赫兹辐射能量将会达到最大值。本次仿真得到了该最大值所在位置,并以此确定了晶体的最佳厚度,为制作铌酸锂强太赫兹辐射源提供了参考。 展开更多
关键词 铌酸锂 太赫兹波 倾斜波前技术 非线性相互作用 接触光栅
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