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微晶硅材料高速生长及其在太阳能电池中的应用
1
作者
孙建
俞远高
+5 位作者
王锐
侯国付
薛俊明
赵颖
耿新华
李乙钢
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第9期697-701,共5页
高气压耗尽RF-PECVD在高速生长优质微晶硅材料和太阳能电池方面具有巨大的优势。采用这种沉积方法,本征微晶硅材料的生长速度提高到0.32nm/s,晶化率达58.2%。把这种高速生长的微晶硅材料用作太阳电池的本征吸收层,在没有优化工艺参数和...
高气压耗尽RF-PECVD在高速生长优质微晶硅材料和太阳能电池方面具有巨大的优势。采用这种沉积方法,本征微晶硅材料的生长速度提高到0.32nm/s,晶化率达58.2%。把这种高速生长的微晶硅材料用作太阳电池的本征吸收层,在没有优化工艺参数和没有采用ZnO增反电极时,电池的转换效率达到4.8%。
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关键词
高速生长
微晶硅电池
高压耗尽
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职称材料
微晶硅NIP太阳电池
2
作者
俞远高
杨瑞霞
+1 位作者
侯国付
薛俊明
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期193-196,共4页
微晶硅NIP太阳电池具有许多优点,如用于制备柔性太阳电池可极大地扩展太阳电池的应用空间,保护窗口层免受等离子轰击以保持其性能,以及扩大窗口层的光学带隙提高太阳电池的开路电压和短路电流等。综合介绍了微晶硅NIP太阳电池的基本原...
微晶硅NIP太阳电池具有许多优点,如用于制备柔性太阳电池可极大地扩展太阳电池的应用空间,保护窗口层免受等离子轰击以保持其性能,以及扩大窗口层的光学带隙提高太阳电池的开路电压和短路电流等。综合介绍了微晶硅NIP太阳电池的基本原理、研究现状、存在的问题并展望其发展前景。
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关键词
微晶硅
NIP
太阳电池
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职称材料
微晶硅材料及其在太阳能电池中的应用
被引量:
10
3
作者
俞远高
侯国付
+4 位作者
王锐
薛俊明
赵颖
耿新华
杨瑞霞
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2006年第8期48-55,共8页
微晶硅(μc-Si:H)是国际公认的新一代硅基薄膜太阳能电池材料。综述了微晶硅的基本特性,器件质量级材料的表征参量,材料的生长技术,微晶硅在太阳电池中的应用及其发展前景。
关键词
微晶硅
转化效率
等离子体增强化学气相沉积
太阳电池
原文传递
NIP型非晶硅薄膜太阳能电池的研究
被引量:
7
4
作者
王锐
薛俊明
+7 位作者
俞远高
侯国付
李林娜
孙建
张德坤
杨瑞霞
赵颖
耿新华
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期511-514,共4页
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术制备非晶硅(a-Si)NIP太阳能电池,其中电池的窗口层采用P型晶化硅薄膜,电池结构为Al/glass/SnO2/N(a-SiH)/I(a-SiH)/P(cryst-SiH)/ITO/Al。为了使P型晶化硅薄膜能够在a-Si表面成功生长,...
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术制备非晶硅(a-Si)NIP太阳能电池,其中电池的窗口层采用P型晶化硅薄膜,电池结构为Al/glass/SnO2/N(a-SiH)/I(a-SiH)/P(cryst-SiH)/ITO/Al。为了使P型晶化硅薄膜能够在a-Si表面成功生长,电池制备过程中采用了H等离子体处理a-Si表面的方法。通过调节电池P层和N层厚度和H等离子体处理a-Si表面的时间,优化了太阳能电池的制备工艺。结果表明,使用H等离子体处理a-Si表面5min,可以在a-Si表面获得高电导率的P型晶化硅薄膜,并且这种结构可以应用到电池上;当P型晶化硅层沉积时间12.5min,N层沉积12min,此种结构电池特性最好,效率达6.40%。通过调整P型晶化硅薄膜的结构特征,将能进一步改善电池的性能。
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关键词
非晶硅(a-Si)
太阳能电池
I/P界面
NIP电池
原文传递
题名
微晶硅材料高速生长及其在太阳能电池中的应用
1
作者
孙建
俞远高
王锐
侯国付
薛俊明
赵颖
耿新华
李乙钢
机构
南开大学光电子所
河北工业大学
河北工业大学
南开大学学物理学院
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第9期697-701,共5页
基金
国家重点基础研究发展计划(973)项目(200028202
200028203)
+1 种基金
南开大学博士启动基金(J02033)
国家教育部光电子信息技术科学重点实验室资助的课题(2005-18)
文摘
高气压耗尽RF-PECVD在高速生长优质微晶硅材料和太阳能电池方面具有巨大的优势。采用这种沉积方法,本征微晶硅材料的生长速度提高到0.32nm/s,晶化率达58.2%。把这种高速生长的微晶硅材料用作太阳电池的本征吸收层,在没有优化工艺参数和没有采用ZnO增反电极时,电池的转换效率达到4.8%。
关键词
高速生长
微晶硅电池
高压耗尽
Keywords
high-rate deposition
microcrystalline silicon solar cell
high-pressure depletion
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
微晶硅NIP太阳电池
2
作者
俞远高
杨瑞霞
侯国付
薛俊明
机构
河北工业大学信息工程学院
南开大学光电子薄膜技术与器件研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期193-196,共4页
基金
教育部光电子信息技术科学重点实验室开放课题(2005-18)
天津市科技发展计划项目(06YFGZGX02100)
南开大学博士启动基金(J02033)
文摘
微晶硅NIP太阳电池具有许多优点,如用于制备柔性太阳电池可极大地扩展太阳电池的应用空间,保护窗口层免受等离子轰击以保持其性能,以及扩大窗口层的光学带隙提高太阳电池的开路电压和短路电流等。综合介绍了微晶硅NIP太阳电池的基本原理、研究现状、存在的问题并展望其发展前景。
关键词
微晶硅
NIP
太阳电池
Keywords
microcrystalline Si
NIP
solar cells
分类号
TK514 [动力工程及工程热物理—热能工程]
下载PDF
职称材料
题名
微晶硅材料及其在太阳能电池中的应用
被引量:
10
3
作者
俞远高
侯国付
王锐
薛俊明
赵颖
耿新华
杨瑞霞
机构
河北工业大学
南开大学光电子薄膜技术与器件研究所
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2006年第8期48-55,共8页
基金
天津市科技发展计划项目(No.06YFGZGX02100)
教育部光电子信息技术科学重点实验室开放课题(No.2005-18)
南开大学博士启动基金(No.J02033)
文摘
微晶硅(μc-Si:H)是国际公认的新一代硅基薄膜太阳能电池材料。综述了微晶硅的基本特性,器件质量级材料的表征参量,材料的生长技术,微晶硅在太阳电池中的应用及其发展前景。
关键词
微晶硅
转化效率
等离子体增强化学气相沉积
太阳电池
Keywords
microcrystalline silicon
conversion efficiency
PECVD
solar cells
分类号
TK514 [动力工程及工程热物理—热能工程]
原文传递
题名
NIP型非晶硅薄膜太阳能电池的研究
被引量:
7
4
作者
王锐
薛俊明
俞远高
侯国付
李林娜
孙建
张德坤
杨瑞霞
赵颖
耿新华
机构
河北工业大学信息工程学院
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所
河北工业大学材料科学与工程学院
出处
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期511-514,共4页
基金
国家重点基础研究发展规划"973"资助项目(2006CB202602
2006CB202603)
天津市科技发展计划资助项目(06YFGZGX02100)
文摘
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术制备非晶硅(a-Si)NIP太阳能电池,其中电池的窗口层采用P型晶化硅薄膜,电池结构为Al/glass/SnO2/N(a-SiH)/I(a-SiH)/P(cryst-SiH)/ITO/Al。为了使P型晶化硅薄膜能够在a-Si表面成功生长,电池制备过程中采用了H等离子体处理a-Si表面的方法。通过调节电池P层和N层厚度和H等离子体处理a-Si表面的时间,优化了太阳能电池的制备工艺。结果表明,使用H等离子体处理a-Si表面5min,可以在a-Si表面获得高电导率的P型晶化硅薄膜,并且这种结构可以应用到电池上;当P型晶化硅层沉积时间12.5min,N层沉积12min,此种结构电池特性最好,效率达6.40%。通过调整P型晶化硅薄膜的结构特征,将能进一步改善电池的性能。
关键词
非晶硅(a-Si)
太阳能电池
I/P界面
NIP电池
Keywords
amorphous silicon(a-Si)
solar cell
I/P interface
NIP cells
分类号
TM914.41 [电气工程—电力电子与电力传动]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微晶硅材料高速生长及其在太阳能电池中的应用
孙建
俞远高
王锐
侯国付
薛俊明
赵颖
耿新华
李乙钢
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006
0
下载PDF
职称材料
2
微晶硅NIP太阳电池
俞远高
杨瑞霞
侯国付
薛俊明
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007
0
下载PDF
职称材料
3
微晶硅材料及其在太阳能电池中的应用
俞远高
侯国付
王锐
薛俊明
赵颖
耿新华
杨瑞霞
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2006
10
原文传递
4
NIP型非晶硅薄膜太阳能电池的研究
王锐
薛俊明
俞远高
侯国付
李林娜
孙建
张德坤
杨瑞霞
赵颖
耿新华
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
7
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