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用于微细圆弧加工的激光刻录机
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作者 贾连兴 张江陵 +2 位作者 倪桨铭 黄益森 黄永峰 《微细加工技术》 1995年第2期20-24,共5页
声盘、视盘及光盘的亚微米圆弧线一般通过激光刻录机光刻制造。本文结合我们开发的用于磁盘伺服图形录写的激光刻录机,从机械结构、光路系统及计算机控制系统等方面,对其进行了研究分析。
关键词 刻录机 微细加工 激光光刻 微细圆弧加工
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刻录头的聚焦检测 被引量:1
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作者 贾连兴 张江陵 +2 位作者 倪桨铭 黄益森 王岳环 《应用激光》 CSCD 北大核心 1995年第5期227-229,共3页
本文结合设计开发的磁盘预光刻伺服录写装置,详细分析了刻录头聚焦检测光路,建立并研究了检测信号模型,指出可通过适当选取参数,获得较大范围的检测距离。
关键词 聚焦检测 光路分析 刻录机 磁盘 光刻
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