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用于微细圆弧加工的激光刻录机
1
作者
贾连兴
张江陵
+2 位作者
倪桨铭
黄益森
黄永峰
《微细加工技术》
1995年第2期20-24,共5页
声盘、视盘及光盘的亚微米圆弧线一般通过激光刻录机光刻制造。本文结合我们开发的用于磁盘伺服图形录写的激光刻录机,从机械结构、光路系统及计算机控制系统等方面,对其进行了研究分析。
关键词
刻录机
微细加工
激光光刻
微细圆弧加工
下载PDF
职称材料
刻录头的聚焦检测
被引量:
1
2
作者
贾连兴
张江陵
+2 位作者
倪桨铭
黄益森
王岳环
《应用激光》
CSCD
北大核心
1995年第5期227-229,共3页
本文结合设计开发的磁盘预光刻伺服录写装置,详细分析了刻录头聚焦检测光路,建立并研究了检测信号模型,指出可通过适当选取参数,获得较大范围的检测距离。
关键词
聚焦检测
光路分析
刻录机
磁盘
光刻
原文传递
题名
用于微细圆弧加工的激光刻录机
1
作者
贾连兴
张江陵
倪桨铭
黄益森
黄永峰
机构
华中理工大学计算机系
出处
《微细加工技术》
1995年第2期20-24,共5页
文摘
声盘、视盘及光盘的亚微米圆弧线一般通过激光刻录机光刻制造。本文结合我们开发的用于磁盘伺服图形录写的激光刻录机,从机械结构、光路系统及计算机控制系统等方面,对其进行了研究分析。
关键词
刻录机
微细加工
激光光刻
微细圆弧加工
Keywords
cutting machine,microfabrication
laser lithography
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
刻录头的聚焦检测
被引量:
1
2
作者
贾连兴
张江陵
倪桨铭
黄益森
王岳环
机构
华中理工大学计算机系
出处
《应用激光》
CSCD
北大核心
1995年第5期227-229,共3页
文摘
本文结合设计开发的磁盘预光刻伺服录写装置,详细分析了刻录头聚焦检测光路,建立并研究了检测信号模型,指出可通过适当选取参数,获得较大范围的检测距离。
关键词
聚焦检测
光路分析
刻录机
磁盘
光刻
Keywords
focus detect, optical layout analysis, Cutting machine
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
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1
用于微细圆弧加工的激光刻录机
贾连兴
张江陵
倪桨铭
黄益森
黄永峰
《微细加工技术》
1995
0
下载PDF
职称材料
2
刻录头的聚焦检测
贾连兴
张江陵
倪桨铭
黄益森
王岳环
《应用激光》
CSCD
北大核心
1995
1
原文传递
已选择
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