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一种双真空室结构磁控溅射台的研制 被引量:2
1
作者 全廷立 刘咸成 贾京英 《真空》 CAS 2012年第1期57-59,共3页
本文研制了一种较高档的磁控溅射镀膜设备,用于微电子器件规模化生产过程中的基片表面镀膜。该设备采用双真空室结构,使溅射室始终维持较高的真空度和洁净度,提高镀膜质量和镀膜效率。环绕溅射室设计了3个直流靶和1个射频靶,能够溅射金... 本文研制了一种较高档的磁控溅射镀膜设备,用于微电子器件规模化生产过程中的基片表面镀膜。该设备采用双真空室结构,使溅射室始终维持较高的真空度和洁净度,提高镀膜质量和镀膜效率。环绕溅射室设计了3个直流靶和1个射频靶,能够溅射金属膜、介质膜、混合物和化合物薄膜。文中详述了该设备的设计原理、总体结构及工艺控制方法。该磁控溅射台已开发成功并投入使用,替代了同类进口设备。 展开更多
关键词 磁控溅射 双室结构 直流溅射 射频溅射
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汽车发电机出厂性能自动测试装置 被引量:1
2
作者 全廷立 阳春华 《电机与控制应用》 北大核心 2007年第6期44-46,52,共4页
基于汽车发电机的工作原理,设计开发了由工控机、多功能数据卡、变频器、变频电机、电子负载等组成的发电机性能全自动测试装置,实现发电机空载性能、负载性能及调节器性能测试。采用传统PID和模糊PID控制器控制发电机电压、电流和转速... 基于汽车发电机的工作原理,设计开发了由工控机、多功能数据卡、变频器、变频电机、电子负载等组成的发电机性能全自动测试装置,实现发电机空载性能、负载性能及调节器性能测试。采用传统PID和模糊PID控制器控制发电机电压、电流和转速,保证了测试过程的快速性、测试的精度和系统的鲁棒性。 展开更多
关键词 汽车发电机 工控机 自动测试装置 模糊PID控制
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汽车发电机性能自动测试装置的研究与开发 被引量:1
3
作者 全廷立 阳春华 《中国测试技术》 2007年第3期136-138,共3页
为严格测试汽车发电机性能,并匹配生产线的快速自动化生产,在对汽车发电机工作原理与性能测试深入分析的基础上,设计了由工控机、变频器、传动电机、电子负载等组成的机电一体化汽车交流发电机性能自动测试装置,实现发电机空载性能、负... 为严格测试汽车发电机性能,并匹配生产线的快速自动化生产,在对汽车发电机工作原理与性能测试深入分析的基础上,设计了由工控机、变频器、传动电机、电子负载等组成的机电一体化汽车交流发电机性能自动测试装置,实现发电机空载性能、负载性能及调节器性能测试。设计经典PID和模糊PID控制器快速调节发电机电压、电流和转速,提高了测试的快速性和稳定性,确保产品出厂质量。该装置已成功应用于德国、日本、伊朗等汽车电器生产企业。 展开更多
关键词 汽车发电机 自动测试装置 快速性 模糊PID控制
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一种塔机防碰撞系统免调试技术
4
作者 全廷立 任勇 郑昌明 《工程机械与维修》 2024年第4期29-31,共3页
传统塔机的防碰撞系统参数设置复杂,易用性差,且控制精度差。提出一种免调试防碰撞系统,通过引入差分精确定位和激光雷达点云数据处理技术,自动识别塔机位置和塔机安装尺寸,达到即插即用,立塔后免调试的目的。同时由于激光雷达的引入,... 传统塔机的防碰撞系统参数设置复杂,易用性差,且控制精度差。提出一种免调试防碰撞系统,通过引入差分精确定位和激光雷达点云数据处理技术,自动识别塔机位置和塔机安装尺寸,达到即插即用,立塔后免调试的目的。同时由于激光雷达的引入,该防碰撞系统的控制精度、控制性能、控制功能均得到大幅度提高。 展开更多
关键词 塔机 免调试防碰撞 激光雷达 RTK精确定位
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