微型薄膜气敏元件的热功耗分析

为了提出微型薄膜气敏元件热功耗的计算公式,通过实验,研究了元件引线的散热量、金属网罩和元件底座的平均温度、芯片的传热系数随芯片散热面尺寸和工作温度的变化规律.利用所给出的热功耗公式,对微型薄膜气敏元件的热功耗进行了计算,结果与实验一致.

粉末溅射SnO_2/CeO_2薄膜气敏元件的性能

通过对粉末溅射SnO2/CeO2薄膜气敏元件性能的测试和探讨，总结出反应升温 Δtrea与气体浓度C存在关系Δtrea=(ACn)/(1+BCm) (其 中A ,B＞0,n＞m＞0)，同时发现:湿度对灵敏度的影响很大而对相对灵敏度影响不大；为确保 测量的可靠性应避免用于测量高浓度气体，同时注意稳定测试电压，如用相对灵敏度进行测 量，则可以减小湿度对测量结果(测量值)

悬挂式气敏元件的热功耗和超低热功耗元件探讨

通过理论和实验相结合的方法提出了一个适用于悬挂式气敏元件的热功耗Ph/mW与工 作温度T0,环境温度Tr及芯片尺寸S的关系式 Ph={5.67×10-11［(T0) 4-(T0)4］×0.85+0.21(T0-T0)}S (T0=aT0+bTr, a≈0.135, b≈1.0) 并指出采用Si微电子薄膜技术可设计出功耗在10 mW以下的气敏元件．