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基于数字微镜器件的无掩膜光刻技术进展 被引量:2
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作者 张思琪 周思翰 +3 位作者 杨卓俊 许智 兰长勇 李春 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第1期12-30,共19页
基于空间光调制器的无掩膜光刻是光刻技术重要发展方向之一。近年来,随着数字微镜器件芯片集成度与性能的提高,数字微镜器件无掩膜光刻成为一种主要的数字光刻技术。由于可灰度调制的光反射式“数字掩膜”替代了传统光刻中使用的预制物... 基于空间光调制器的无掩膜光刻是光刻技术重要发展方向之一。近年来,随着数字微镜器件芯片集成度与性能的提高,数字微镜器件无掩膜光刻成为一种主要的数字光刻技术。由于可灰度调制的光反射式“数字掩膜”替代了传统光刻中使用的预制物理光掩膜版,该技术极大地简化了光刻制版流程,提高了光刻的灵活性,广泛应用于平面微纳器件、超材料、微流控器件、组织生物研究等领域。从数字无掩膜光刻原理出发,简要介绍了典型匀光照明系统结构与微缩投影系统结构,进而介绍了面向平面光刻的空间分辨率增强技术、灰度光刻技术以及三维微立体光刻技术的进展。最后,列举了几类典型的数字无掩膜光刻应用,并对其发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 无掩膜光刻 空间光调制器 数字微镜器件 分辨率增强 灰度光刻 微立体光刻
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二维原子晶体半导体转移技术研究进展 被引量:1
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作者 李春 胡晓影 +2 位作者 何天应 孙培华 兰长勇 《深圳大学学报(理工版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期257-266,共10页
实现不同基底间高效率、高质量的二维原子晶体转移(即转移技术),是开展二维晶体异质结及柔性器件研究与应用的关键.近年以二硫化钼为代表的过渡金属硫化物(transition metal dichalcogenides,TMDs)二维半导体已成为继石墨烯之后的二维... 实现不同基底间高效率、高质量的二维原子晶体转移(即转移技术),是开展二维晶体异质结及柔性器件研究与应用的关键.近年以二硫化钼为代表的过渡金属硫化物(transition metal dichalcogenides,TMDs)二维半导体已成为继石墨烯之后的二维材料研究热点.目前,TMDs常用转移技术主要包括湿法转移、干法转移、热释放胶带辅助、表面能辅助、鼓泡转移以及真空热压法等.这些方法各有利弊:湿法转移成本低、步骤简洁,但依赖聚合物支撑,容易对TMDs造成污染;干法转移借助精密位移技术可实现精准控制,特别适用微晶定位转移,但转移成功率有待提升;热释放胶带巧妙利用金属膜与TMDs二维材料间较强的吸附力,能够在不转移的情况下,直接在原始基底上构造阵列结构,但步骤相对复杂;表面能辅助法利用水在不同界面表面能差异,可实现快速自动剥离,但易引入褶皱;鼓泡转移则是通过电化学或超声方式产生的气泡崩塌使二维材料与基底界面分离,同样材料表面容易产生褶皱和破裂等缺陷;真空热压法在组装高质量、大面积多层异质结方面独具优势.该述评可为恰当选择转移方法提供指引. 展开更多
关键词 纳米材料 二维材料 过渡金属硫化物 干法转移 湿法转移 范德瓦尔斯异质结
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二维材料在红外探测器中的应用最新进展(特邀)
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作者 贾欣宇 兰长勇 李春 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第7期59-74,共16页
二维材料,具有原子厚度,以其独特的物理、化学性质,吸引了广大研究人员的关注,成为了众多研究领域(如物理、材料、电子、光电子和化学等)的明星材料。因二维材料具有较高的载流子迁移率、强的光-物质相互作用、电/光学性质各向异性等,... 二维材料,具有原子厚度,以其独特的物理、化学性质,吸引了广大研究人员的关注,成为了众多研究领域(如物理、材料、电子、光电子和化学等)的明星材料。因二维材料具有较高的载流子迁移率、强的光-物质相互作用、电/光学性质各向异性等,使其在光电子领域具有光明的应用前景。其中,窄带隙二维材料,如黑磷、黑磷砷等,在红外光电探测器中表现出巨大的应用潜力,成为了红外探测领域的新宠。文中将对二维材料在红外探测器中的应用,特别是光子型光电探测器的最新进展进行介绍。首先对二维材料的背景进行介绍;然后介绍表征光电探测器的关键参数;接着介绍二维材料在红外探测器中的最新进展,分别展示了单二维材料红外探测器、异质结红外探测器和光波导红外探测器方面的进展;最后对二维材料在红外探测器中的应用进行展望。 展开更多
关键词 二维材料 异质结 光电探测器 红外
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Passive harmonic mode-locking of Er-doped fiber laser using CVD-grown few-layer MoS_2 as a saturable absorber
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作者 夏汉定 李和平 +4 位作者 兰长勇 李春 邓光磊 李剑峰 刘永 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第8期346-350,共5页
Passive harmonic mode locking of an erbium-doped fiber laser based on few-layer molybdenum disulfide(MoS2)saturable absorber(SA) is demonstrated. The few-layer MoS2 is prepared by the chemical vapor deposition(CVD) me... Passive harmonic mode locking of an erbium-doped fiber laser based on few-layer molybdenum disulfide(MoS2)saturable absorber(SA) is demonstrated. The few-layer MoS2 is prepared by the chemical vapor deposition(CVD) method and then transferred onto the end face of a fiber connector to form a fiber-compatible Mo S2SA. The 20 th harmonic modelocked pulses at 216-MHz repetition rate are stably generated with a pulse duration of 1.42 ps and side-mode suppression ratio(SMSR) of 36.1dB. The results confirm that few-layer MoS2 can serve as an effective SA for mode-locked fiber lasers. 展开更多
关键词 fiber lasers MODE-LOCKING MOLYBDENUM DISULFIDE
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Layer-number determination of two-dimensional materials by optical characterization
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作者 郑优 兰长勇 +3 位作者 周智飞 胡晓影 何天应 李春 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第2期52-58,共7页
Initiated by graphene, two-dimensional(2D) layered materials have attracted much attention owing to their novel layer-number-dependent physical and chemical properties. To fully utilize those properties, a fast and ac... Initiated by graphene, two-dimensional(2D) layered materials have attracted much attention owing to their novel layer-number-dependent physical and chemical properties. To fully utilize those properties, a fast and accurate determination of their layer number is the priority. Compared with conventional structural characterization tools, including atomic force microscopy, scanning electron microscopy, and transmission electron microscopy, the optical characterization methods such as optical contrast, Raman spectroscopy, photoluminescence, multiphoton imaging, and hyperspectral imaging have the distinctive advantages of a high-throughput and nondestructive examination. Here, taking the most studied 2D materials like graphene, MoS_2, and black phosphorus as examples, we summarize the principles and applications of those optical characterization methods. The comparison of those methods may help us to select proper ones in a cost-effective way. 展开更多
关键词 材料 层数 二维 扫描电子显微镜 拉曼光谱学 光致发光 非破坏性 MOS2
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