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高阶布拉格光栅在SOI脊形波导上的光刻制作
被引量:
1
1
作者
冉启江
韩培德
+3 位作者
全宇军
高利朋
曾凡平
赵春华
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期381-384,共4页
在SOI脊形波导上通过光刻的方法制作了高阶布拉格光栅。采用顶层Si厚为2μm的SOI基片,通过半导体芯片制备中的光刻工艺,在脊高为935nm,波导宽度为2肛m的脊形波导上,分别制作了刻蚀深度为565nm和935nm的起伏型高阶布拉格光栅,测试...
在SOI脊形波导上通过光刻的方法制作了高阶布拉格光栅。采用顶层Si厚为2μm的SOI基片,通过半导体芯片制备中的光刻工艺,在脊高为935nm,波导宽度为2肛m的脊形波导上,分别制作了刻蚀深度为565nm和935nm的起伏型高阶布拉格光栅,测试表明,在1540~1640nm波长范围内,得到了大于10dB的消光比,实现了高阶布拉格光栅在SOI脊形波导上的滤波效果。理论和实验都证明了光栅刻蚀深度的增大将有利于增加高阶布拉格光栅的耦合系数,以及光栅周期数的增加会引起更大的光栅损耗。
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关键词
Si基光电子
高阶布拉格光栅
脊形波导
光刻
SOI
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职称材料
高职院校绿色校园建设中学校与社区联合的方法初探——以重庆商务职业学院为例
2
作者
冉启江
《中国化工贸易》
2012年第11期191-192,共2页
服务社区是高职院校的社会职能之一。本文主要阐述了学院服务社区的意义,分析了学校和社区联合的方法。
关键词
高职院校
绿色校园建设
服务社区
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职称材料
与CMOS兼容的硅基波导型光电探测器的研究
3
作者
曾凡平
韩培德
+4 位作者
高利朋
冉启江
毛雪
赵春华
米艳红
《光通信技术》
CSCD
北大核心
2009年第5期38-40,共3页
硅基波导型光电探测器作为一类重要的光电探测器,由于其能与标准的CMOS工艺兼容以及制备工艺简单等性能,因而在光电子单片集成方面具备广阔的市场应用前景。文章着重阐述了通过离子注入引入深能级、Ge/Si自组装岛、SOI波导共振腔增强和A...
硅基波导型光电探测器作为一类重要的光电探测器,由于其能与标准的CMOS工艺兼容以及制备工艺简单等性能,因而在光电子单片集成方面具备广阔的市场应用前景。文章着重阐述了通过离子注入引入深能级、Ge/Si自组装岛、SOI波导共振腔增强和AlGaInAs-Si混合集成等四种方式来制备硅基光电探测器的研究现状和研究进展,并对四类器件的结构,制作工艺和光电性能指标进行了详细地介绍。
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关键词
硅基光电探测器
深能级缺陷
Si/Ge自组装
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职称材料
追查远古神秘木乃伊
4
作者
冉启江
程辉
《大自然探索》
2007年第9期62-69,共8页
1886年6月的一天,埃及文物局局长加斯腾·马斯佩洛在检视一批木乃伊时,一具奇怪的木乃伊引起了他的注意。
关键词
木乃伊
尸体防腐处理
羊皮裹尸布
棺椁
标记
身份
死亡时间
死亡原因
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职称材料
超级瘟疫
5
作者
冉启江
《大自然探索》
2007年第7期72-77,共6页
美国科学家2007年2月宣布,他们在极个别患者身上新发现了一种艾滋病毒变种,这种艾滋病毒比以往发现的任何类型的艾滋病毒都更可怕,传染性和抗药性更强。消息一经宣布,立即引起医学界的震惊。此前,科学家们大多以为艾滋病是可以被极昂贵...
美国科学家2007年2月宣布,他们在极个别患者身上新发现了一种艾滋病毒变种,这种艾滋病毒比以往发现的任何类型的艾滋病毒都更可怕,传染性和抗药性更强。消息一经宣布,立即引起医学界的震惊。此前,科学家们大多以为艾滋病是可以被极昂贵的药物进行至少部分治疗的"绝症"。而现在看来,治愈艾滋病根本不像原来想象的那么乐观。事实上,艾滋病仍然是一个不折不扣、名副其实的"超级瘟疫"。从1981年发现第一例人类感染艾滋病至2006年,全球范围内已有多达3000万人死于这种恶疾,而科学家估计,从2007年~2016年的10年内还将新增加4000万名艾滋病毒感染者。
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关键词
瘟疫
艾滋病毒
美国科学家
病毒变种
抗药性
传染性
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职称材料
它让死亡舞蹈——巧克力传奇
6
作者
冉启江
《大自然探索》
2005年第11期66-71,共6页
据古籍记载,阿兹特克人相信,羽蛇神带着来自天堂的可可树,乘着晨曦来到地球,并把可可树送给了世人。于是,用“可可神水”浸泡过的人肉成为阿兹特克人奉献给羽蛇神的“最高礼物”。
关键词
巧克力
传奇
舞蹈
可可树
古籍记载
肉
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职称材料
制作木乃伊
7
作者
冉启江
《大自然探索》
2005年第10期70-71,共2页
在古埃及,当一个重要的人物死去后,他(她)的遗体通常会被制作成木乃伊之后才下葬。正规的木乃伊制作过程分为两个阶段:首先是对死者遗体进行涂药防腐处理,然后是包裹并埋葬遗体。
关键词
制作过程
木乃伊
防腐处理
古埃及
遗体
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职称材料
题名
高阶布拉格光栅在SOI脊形波导上的光刻制作
被引量:
1
1
作者
冉启江
韩培德
全宇军
高利朋
曾凡平
赵春华
机构
中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室
出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期381-384,共4页
基金
国家自然科学基金项目(60477020
60776046)
+1 种基金
国家自然科学面上基金项目(60537010)
国家"973"计划项目(2006CB302802)
文摘
在SOI脊形波导上通过光刻的方法制作了高阶布拉格光栅。采用顶层Si厚为2μm的SOI基片,通过半导体芯片制备中的光刻工艺,在脊高为935nm,波导宽度为2肛m的脊形波导上,分别制作了刻蚀深度为565nm和935nm的起伏型高阶布拉格光栅,测试表明,在1540~1640nm波长范围内,得到了大于10dB的消光比,实现了高阶布拉格光栅在SOI脊形波导上的滤波效果。理论和实验都证明了光栅刻蚀深度的增大将有利于增加高阶布拉格光栅的耦合系数,以及光栅周期数的增加会引起更大的光栅损耗。
关键词
Si基光电子
高阶布拉格光栅
脊形波导
光刻
SOI
Keywords
silicon photonies
high-order Bragg grating
ridge waveguide
photolithography
silicon-on-insulator(SOI)
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
高职院校绿色校园建设中学校与社区联合的方法初探——以重庆商务职业学院为例
2
作者
冉启江
机构
重庆商务职业学院
出处
《中国化工贸易》
2012年第11期191-192,共2页
文摘
服务社区是高职院校的社会职能之一。本文主要阐述了学院服务社区的意义,分析了学校和社区联合的方法。
关键词
高职院校
绿色校园建设
服务社区
分类号
TU244.2 [建筑科学—建筑设计及理论]
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职称材料
题名
与CMOS兼容的硅基波导型光电探测器的研究
3
作者
曾凡平
韩培德
高利朋
冉启江
毛雪
赵春华
米艳红
机构
中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室
出处
《光通信技术》
CSCD
北大核心
2009年第5期38-40,共3页
基金
国家自然科学基金(No.60776046)资助
国家自然科学重点基金(No.O912030003)资助
国家基础研究973(No.2006CB302802)资助
文摘
硅基波导型光电探测器作为一类重要的光电探测器,由于其能与标准的CMOS工艺兼容以及制备工艺简单等性能,因而在光电子单片集成方面具备广阔的市场应用前景。文章着重阐述了通过离子注入引入深能级、Ge/Si自组装岛、SOI波导共振腔增强和AlGaInAs-Si混合集成等四种方式来制备硅基光电探测器的研究现状和研究进展,并对四类器件的结构,制作工艺和光电性能指标进行了详细地介绍。
关键词
硅基光电探测器
深能级缺陷
Si/Ge自组装
Keywords
silicon-based photodetetor deep-level defect Si/Ge self-assembled island
分类号
TN929.11 [电子电信—通信与信息系统]
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职称材料
题名
追查远古神秘木乃伊
4
作者
冉启江
程辉
出处
《大自然探索》
2007年第9期62-69,共8页
文摘
1886年6月的一天,埃及文物局局长加斯腾·马斯佩洛在检视一批木乃伊时,一具奇怪的木乃伊引起了他的注意。
关键词
木乃伊
尸体防腐处理
羊皮裹尸布
棺椁
标记
身份
死亡时间
死亡原因
分类号
K878.8 [历史地理—考古学及博物馆学]
下载PDF
职称材料
题名
超级瘟疫
5
作者
冉启江
出处
《大自然探索》
2007年第7期72-77,共6页
文摘
美国科学家2007年2月宣布,他们在极个别患者身上新发现了一种艾滋病毒变种,这种艾滋病毒比以往发现的任何类型的艾滋病毒都更可怕,传染性和抗药性更强。消息一经宣布,立即引起医学界的震惊。此前,科学家们大多以为艾滋病是可以被极昂贵的药物进行至少部分治疗的"绝症"。而现在看来,治愈艾滋病根本不像原来想象的那么乐观。事实上,艾滋病仍然是一个不折不扣、名副其实的"超级瘟疫"。从1981年发现第一例人类感染艾滋病至2006年,全球范围内已有多达3000万人死于这种恶疾,而科学家估计,从2007年~2016年的10年内还将新增加4000万名艾滋病毒感染者。
关键词
瘟疫
艾滋病毒
美国科学家
病毒变种
抗药性
传染性
分类号
S855.3 [农业科学—临床兽医学]
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职称材料
题名
它让死亡舞蹈——巧克力传奇
6
作者
冉启江
出处
《大自然探索》
2005年第11期66-71,共6页
文摘
据古籍记载,阿兹特克人相信,羽蛇神带着来自天堂的可可树,乘着晨曦来到地球,并把可可树送给了世人。于是,用“可可神水”浸泡过的人肉成为阿兹特克人奉献给羽蛇神的“最高礼物”。
关键词
巧克力
传奇
舞蹈
可可树
古籍记载
肉
分类号
TS246.57 [轻工技术与工程—制糖工程]
I207.41 [文学—中国文学]
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职称材料
题名
制作木乃伊
7
作者
冉启江
出处
《大自然探索》
2005年第10期70-71,共2页
文摘
在古埃及,当一个重要的人物死去后,他(她)的遗体通常会被制作成木乃伊之后才下葬。正规的木乃伊制作过程分为两个阶段:首先是对死者遗体进行涂药防腐处理,然后是包裹并埋葬遗体。
关键词
制作过程
木乃伊
防腐处理
古埃及
遗体
分类号
TP391.41 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
K868.8 [历史地理—考古学及博物馆学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高阶布拉格光栅在SOI脊形波导上的光刻制作
冉启江
韩培德
全宇军
高利朋
曾凡平
赵春华
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
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职称材料
2
高职院校绿色校园建设中学校与社区联合的方法初探——以重庆商务职业学院为例
冉启江
《中国化工贸易》
2012
0
下载PDF
职称材料
3
与CMOS兼容的硅基波导型光电探测器的研究
曾凡平
韩培德
高利朋
冉启江
毛雪
赵春华
米艳红
《光通信技术》
CSCD
北大核心
2009
0
下载PDF
职称材料
4
追查远古神秘木乃伊
冉启江
程辉
《大自然探索》
2007
0
下载PDF
职称材料
5
超级瘟疫
冉启江
《大自然探索》
2007
0
下载PDF
职称材料
6
它让死亡舞蹈——巧克力传奇
冉启江
《大自然探索》
2005
0
下载PDF
职称材料
7
制作木乃伊
冉启江
《大自然探索》
2005
0
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职称材料
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