银涂层节能还原炉技术的开发与大规模应用研究

对现役多晶硅还原炉内壁进行增反射改性,进而使其拥有优越的近红外电磁波反射性能,是国际上重点攻关的多晶硅还原炉节能优化方向。文章提出一种还原炉内壁银涂层增反射改性方法,并在全球范围内率先将其成功应用在现役48对棒大型还原炉的节能升级上,该项成果已获得国际领先评价。由全48对棒银涂层还原炉组成的万吨级规模高纯多晶硅节能生产线现已经在青海省投产运行。银涂层节能还原炉技术突破了现役不锈钢还原炉内壁增反射改性节能技术大规模应用瓶颈,解决了困扰行业已久的高纯多晶硅低消耗生产难题,填补了多项国际空白,为我国多晶硅行业实现低碳生产探明了一条切实可行的路径。

多晶硅碳含量对产品质量的影响及处理工艺

针对改良西门子法多晶硅生产过程中碳含量过高导致产品质量下降的问题,以多晶硅还原小试炉为反应装置,通过控制进入小试炉内三氯氢硅中含碳有机物的含量和氢气中的甲烷含量,考察原料组分及组成对产品质量的影响。采用傅里叶红外光谱仪、气质联用色谱和气相色谱对产品和氯硅烷中的含碳量进行检测。结果表明,进入小试炉内氢气中的CH4含量对产品碳含量影响较大,氯硅烷中有机碳含量影响较低,且基本保持在同一水平。通过对实验数据的分析,在实际生产中,对原有工艺进行改进,增加一套除甲烷装置,使进入还原炉内氢气中甲烷的含量保持在5.0×10-5左右。