一种低功耗CMOS带隙基准电压源的实现

运用带隙基准的原理,提出了一种带启动电路的低功耗带隙基准电压源电路。HSPICE仿真结果表明,在25℃3、.3 V下,电路功耗为16.88μW;另外,在-30-125℃范围内,1.9-5.5V下,输出基准电压VREF=1.225±0.0015 V,温度系数为γTC=14.75×10^-6/℃,电源电压抑制比（PSRR）为86 dB。该电路采用台积电（TSMC）0.35μm 3.3 V/5 V CMOS工艺制造。测试结果显示,电路功耗仅为16.98μW。

用微机控制的抽油机加载系统

针对目前抽油机性能测试中加载方法的某些不足,设计并研制出一种应用微机控制的液压伺服加载系统。该系统能够将各种不同工况的油井示功图转换的信号,以负载和悬点位置严格对应的关系,灵活、准确地施加到抽油机悬点上。经过连续运转的实验和实际测试,这种加载系统能够满足使用要求。

MEMS高温接触式电容压力传感器

本文介绍了一种用SOI硅片和硅?硅键合MEMS技术制作的高温接触式电容压力传感器,并给出了详细的工艺制作流程。在对测试装置、测试电路进行了详细地介绍和深入分析后,用此测试电路对制作的传感器器件进行了高温测试。测试结果表明,传感器在小于250kPa的室温条件下工作,传感器的灵敏度为0.54 mV/kPa;而在400℃条件下工作,传感器的灵敏度为0.41 mV/kPa,传感器的零点飘移为0.1mV/℃。可见这种微传感器可在低于450℃的条件下正常工作,且具有很大的线性工作范围、良好的稳定性和较高的灵敏度。

MEMS电容应变传感器

本文详细介绍了一种用硅玻璃键合工艺制作的微型梁式电容应变传感器,通过ANSYS软件并结合MEMS器件的特点进行优化,设计并制作了由MEMS工艺实现的微型梁式电容应变传感器。为保证应变器件稳定工作,在测量电路中加一直流静电驱动电压在电容器的极板之间,以保证建立的电场在两极之间产生一个静电力,引起膜片发生向下形变的弯曲,从而保证作用在轴向的应力不会使应变梁产生失稳。文中详细给出了工艺流程和测试结果,通过实验测试证明,用这种方法制作的电容应变器件具有良好的线性、较小的滞后和稳定的工作特性,其中应变灵敏度达10fF/MPa,测量误差小于1%FS。

新型电容式微型压力传感器

文中从应用开发MEMS产品的实用角度出发 ,着力介绍一种新型的电容式微型压力传感器的结构组成和它的MEMS制造工艺。文中详细给出了这种电容式微型压力传感器的结构组成图、组成尺寸和它各部分部件的材料构成以及在硅材料加工过程中存在的主要技术难题。最后 。

抽油机电液伺服加载系统及其试验

抽油机电液伺服加载系统由液压系统和电控系统两部分组成。控制信号电压Ｕｉ与力传感器反馈信号电压Ｕｆ比较后，其信号电压差ΔＵ经伺服放大器放大变为信号电流Δｉ，驱动电液伺服阀，输出流量为ＱＬ的压力液，推动液压缸输出加载力ＦＬ，实现加载。在分析和研究加载系统控制模型的频域特性的基础上，定量地给出了加载系统的动态响应指标。加载试验表明：输入各种不同的示功留曲线，加载系统动态响应快，能准确地再现抽油杆振动载荷，误差小于０．８％，输入与输出曲线基本吻合，工作稳定可靠。

油井水力压裂放喷过程的实时控制

文中根据油田油井水力压裂放喷工况,设计、制作了用于油井放喷的智能监测与控制系统,使压裂液能够按照一定的流量规律返排,避免人工控制返排速度中带来的诸如压力波动、吐砂等弊端。该系统以计算机作为人机交换工具,实现各种参数的设置。以PLC作为现场控制设备,实现压力与流量参数的采集,并实时控制阀门开度与状态显示,以达到最佳的压裂液返排效果。文中最后给出了油田油井压裂现场施工控制测试曲线,结果表明采用油井水力压裂放喷控制装置,可以达到设计的压裂液返排效果。

抽油机真实运动和载荷模拟的电液伺服加载装置

本文介绍了一种新型的用于抽油机性能检测的电液伺服被动加载装置,它可以将真实的运动和载荷加载在抽油机的悬点上。文中对由电液伺服系统组成的抽油机被动加载装置进行了详细的建模研究,通过对系统的仿真研究,模拟了系统中的多余力。为此,提出了用计算机控制完成的消除强干扰的控制算法并给出对被加载体运动状态进行无偏估计的卡尔曼滤波算法以提高控制精度。最后,对抽油机电液被动加载系统进行了试验研究,经过试验验证,文中给出的加载系统能有效的消除加载系统中的多余力,很好的模拟各种工况的示功图,整套系统控制精度高,工作性能稳定。

自适应控制在抽油机电液模拟系统中的应用

本文介绍一种新的抽油机电液模拟系统，它具有大流量（８７５×１０－３ｍ３／ｓ），长冲程（３５ｍ）的特点。文中详述了它的基本组成和工作原理。对建成并使用的抽油机模拟系统进行了模拟试验，试验结果表明，该模拟系统能很好地复现抽油机的运动规律，并具有模拟精度高、工作稳定、可靠等特点。

MEMS压力传感器在义齿力学性能研究中的应用

给出一种用于义齿压力测量的微型电容式传感器的研制工艺和封装测试。文中根据电容式压力传感器的原理,采用MEMS工艺,研制出微型传感器。在与义齿基托相同材料的作底基的树脂上挖一个边长为2mm平整的方形小坑,将传感器分布式埋植入底基,并用自制的施加压力的装置对传感器进行测试,从而检测出压力对口腔下方组织的作用力。测量结果表明,该传感器能够准备地测量出当牙齿咬合时,义齿基托所承受的力和力的分布。该传感器性能良好,具有比较稳定的输入与输出关系,适用于口腔恶劣环境下测量义齿对口腔下方组织作用力。

自适应控制在抽油机加载系统中的应用

通过对抽油机加载系统建模和仿真的研究，给出了抽油机加载系统的数学模型和仿真参数，并模拟了抽油机运动带给加载系统的输出误差。针对加载系统存在输出误差这一问题，提出了一套用计算机完成自适应控制的自适应控制算法。经过实际使用验证，这种以计算机为核心的自适应控制加载系统，能有效地消除抽油机加载系统中的运动误差，并具有控制精度高、工作性能稳定等特点。

静电驱动的MEMS可变电容器

介绍了一种用硅-玻璃键合工艺制作的微型梁式可变电容器,通过ANSYS软件并结合MEMS器件的特点进行优化,设计并制作了由MEMS工艺实现的微型静电驱动的可变电容器件,给出了工艺流程和测试结果。通过实验测试证明:用这种方法制作的电容器件具有良好的线性、较小的滞后和稳定的工作特性。

自适应控制用于消除被动加载系统中多余力

本文对由电液伺服系统组成的被动加载装置进行厂详细的建模研究并通过对抽油机电液被动加载系统的仿真研究,模拟了被动加载系统中的多余力。针对被动加载系统中存在强运动干扰一多余力这一显著问题,本文提出了全部用计算机控制完成的消除强干扰的自适应控制算法并给出对被加载体运动状态进行无偏估计的卡尔曼滤波算法以提高控制精度。最后,对抽油机电液被动加载系统进行了试验研究,经过试验验证,本文给出的以计算机为核心的有卡尔曼滤波器的消除强干扰的自适应控制加载系统能有效的消除被动加载系统中的多余力,整套系统控制精度高,工作性能稳定。

用位移量精确预测抽油机悬点速度

详细叙述了卡尔曼滤波数学方程的构成、工作原理以及实现卡尔曼滤波计算的计算机程序框图，通过对抽油机工作过程的分析，给出了描述抽油机运动的离散型状态方程。把抽油机运动状态方程和卡尔曼滤波算法相结合，构造了一套适用的精确预测抽油机悬点速度的数学算法。通过对实测的抽油机悬点位移信号进行卡尔曼滤波处理，获得的速度信号无滞后，噪声小，精度高，是用位移量获得速度量的理想方法。

用计算机通讯开发的水力压裂施工监测系统

介绍一种以STD8098单片机为核心组成的水力压裂施工信号监测系统和以PC机为核心组成WINDOWS环境下的多任务、并行信息处理系统之间的通讯功能及它的组成和工作原理，并给出详细的用OWL类库开发的实时监测通讯软件程序和其它主要模块代码。实际使用证明，此系统可以很好的完成施工过程监测、裂缝闭合过程监测和压后分析。

ICP刻蚀技术研究

介绍感应耦合等离子(ICP)的刻蚀原理,研究以SF6为刻蚀气体,不同的电极功率、气体流量、反应室压强、反应室温度、样片开槽宽度等工艺参数对Si和SiO2的刻蚀速率和选择比的影响.实验结果表明,提高RF1功率和SF6流量,可以提高刻蚀速率和选择比,提高RF2功率虽能提高刻蚀速率但降低选择比,反应室压强上升到1.2Pa时,刻蚀速率达最大值,刻蚀温度为零度时,Si的刻蚀速率最大,开槽宽度对刻蚀速率影响不大.

基于热红外的真空绝热板真空度检测研究

真空绝热板(VIP)主要是依靠其内部真空度来提高其绝热性能的,由于导热系数是表征真空绝热板绝热性能最重要的物性参数,准确测量出真空绝热板的导热系数,有助于将真空绝热板应用于需要绝热保温的场合并估算出其热负荷情况,为系统选择制冷设备或加热设备提供依据。在对真空绝热板真空度检测技术的研究中,本文致力于研究一种基于热红外技术的真空绝热板真空度检测方法,主要采用埋入热辐射器件、能量由外部无损耦合提供、使用红外热图像处理技术并结合电路控制系统等实现对真空绝热板的真空度检测。实验表明,红外检测技术用于测量真空度是可行的、检测速度快、检测结果可靠;对热红外检测技术的研究有利于推动国内真空度快速检测技术的发展。

7740玻璃湿法腐蚀凹槽及槽内光刻图形的研究

用玻璃腐蚀工艺制作MEMS器件,腐蚀非常困难.通过对PYREX7740玻璃在Buffer溶液中腐蚀速率的研究发现,PYREX7740玻璃腐蚀1μm的槽需要25min,而作为掩膜的光刻胶在腐蚀液中只能保持10min不浮胶.为此,文中详细介绍了运用一次光刻,多次坚膜,多次腐蚀的工艺,来达到对PYREX7740玻璃进行深腐蚀的方法.实验结果表明,光刻胶厚度、坚膜时间、坚膜次数和坚膜温度都与光刻胶的浮胶有关,最后给出了不同条件下凹槽深度与所需的曝光和显影时间的关系,槽越深需要的曝光和显影时间越长.这对于用PYREX7740玻璃制作MEMS器件具有重要意义.

MEMS接触电容式高温压力传感器的温度效应

介绍了一种基于SOI／硅片键合技术制作的接触电容式高温压力传感器结构，并对传感器的测试装置、测试方法进行详细的介绍后，对传感器进行压力测试和温度特性测试。压力测试结果表明，传感器线性工作区压力为110～280kPa，灵敏度约为0．14pF／kPa；温度特性测试结果表明，传感器具有正温度效应，在30～300％，传感器输出误差约为0．5％。文中还分析了热胀冷缩及介电常数温度系数对传感器温度效应的影响，以及设计了参考电容及运算放大器式传感器测量电路来消除温度效应。

电容式测压微传感器的特性分析

本文主要对电容式测压微传感器的力学特性和电学特性进行分析。文中通过对测量电路工作过程和特性的深入探讨、仿真和验证 ,证明这种传感器的测量电路具有良好的线性度和稳定性。通过对传感器的敏感元件硅膜片的力学分析 ,建立了传感器的力学模型。分析的结果表明