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μc-Si∶H/a-Si∶H多层膜的周期性结构和量子尺寸效应
被引量:
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作者
徐明
王洪涛
+5 位作者
冯良桓
周心明
蔡亚平
冯技文
徐宁
麦振洪
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第4期435-439,共5页
利用射频辉光放电法 ,通过周期性交替切换两种耦合电极的方式 ,制备了 μc- Si∶ H/a- Si∶ H多层膜 .低角度X射线衍射 (L AXRD)测试表明 ,这种多层膜具有良好的周期性结构 .观察了上述多层膜的光学性质及电导率与温度的关系 ,发现其吸...
利用射频辉光放电法 ,通过周期性交替切换两种耦合电极的方式 ,制备了 μc- Si∶ H/a- Si∶ H多层膜 .低角度X射线衍射 (L AXRD)测试表明 ,这种多层膜具有良好的周期性结构 .观察了上述多层膜的光学性质及电导率与温度的关系 ,发现其吸收边随着 a- Si∶ H层的减薄而蓝移 ,低温下的电导激活能 Ea 随着 a- Si∶ H层的减薄而减小 .
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关键词
射频辉光放电法
周期性结构
μc-Si:H/a-Si:H多层膜
量子尺寸效应
半导体
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职称材料
题名
μc-Si∶H/a-Si∶H多层膜的周期性结构和量子尺寸效应
被引量:
1
1
作者
徐明
王洪涛
冯良桓
周心明
蔡亚平
冯技文
徐宁
麦振洪
机构
中国科学院物理研究所
四川大学材料科学系
南京大学固体微结构实验室
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第4期435-439,共5页
基金
国家自然科学基金!资助项目 (批准号 :5 92 72 0 95 )&&
文摘
利用射频辉光放电法 ,通过周期性交替切换两种耦合电极的方式 ,制备了 μc- Si∶ H/a- Si∶ H多层膜 .低角度X射线衍射 (L AXRD)测试表明 ,这种多层膜具有良好的周期性结构 .观察了上述多层膜的光学性质及电导率与温度的关系 ,发现其吸收边随着 a- Si∶ H层的减薄而蓝移 ,低温下的电导激活能 Ea 随着 a- Si∶ H层的减薄而减小 .
关键词
射频辉光放电法
周期性结构
μc-Si:H/a-Si:H多层膜
量子尺寸效应
半导体
Keywords
RF glow-discharge method
μc-Si∶H/a-Si∶H multilayers
optical property
activation energy of conductivity
分类号
TN301 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
μc-Si∶H/a-Si∶H多层膜的周期性结构和量子尺寸效应
徐明
王洪涛
冯良桓
周心明
蔡亚平
冯技文
徐宁
麦振洪
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
1
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