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全刻蚀型布拉格波导光栅滤波性能研究
被引量:
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1
作者
刘启发
朱莉辉
+2 位作者
徐许
冯柯瑞
成谢锋
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第11期243-254,共12页
提出了一种基于绝缘层上硅波导的全刻蚀布拉格光栅滤波器。该器件可通过对顶部硅的一步刻蚀来实现,其特性使布拉格波长的调谐更加灵敏和有效。仿真研究结果表明,其一阶和三阶光栅的周期对波长调谐系数分别为33 nm/nm和11 nm/nm,光栅刻...
提出了一种基于绝缘层上硅波导的全刻蚀布拉格光栅滤波器。该器件可通过对顶部硅的一步刻蚀来实现,其特性使布拉格波长的调谐更加灵敏和有效。仿真研究结果表明,其一阶和三阶光栅的周期对波长调谐系数分别为33 nm/nm和11 nm/nm,光栅刻槽折射率对波长的调谐系数为1 nm/0.006。将光栅脊与刻槽的小折射率差与高阶光栅相结合,可以实现1550 nm波段更窄带宽的全刻蚀光栅滤波器。
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关键词
布拉格光栅
波导滤波器
全刻蚀
有限时域差分仿真
折射率差
波长调谐系数
窄带滤波
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职称材料
题名
全刻蚀型布拉格波导光栅滤波性能研究
被引量:
1
1
作者
刘启发
朱莉辉
徐许
冯柯瑞
成谢锋
机构
南京邮电大学通信与信息工程学院
南京邮电大学射频集成与微组装技术国家地方联合工程实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第11期243-254,共12页
基金
China Scholarship Council(No.201908320061)
Postdoctoral Science Foundation Project of China(No.2018M640507)
Open Research Fund of the National and Local Joint Engineering Laboratory of RF Integration and Micro-Assembly Technology(No.KFJJ20180202)。
文摘
提出了一种基于绝缘层上硅波导的全刻蚀布拉格光栅滤波器。该器件可通过对顶部硅的一步刻蚀来实现,其特性使布拉格波长的调谐更加灵敏和有效。仿真研究结果表明,其一阶和三阶光栅的周期对波长调谐系数分别为33 nm/nm和11 nm/nm,光栅刻槽折射率对波长的调谐系数为1 nm/0.006。将光栅脊与刻槽的小折射率差与高阶光栅相结合,可以实现1550 nm波段更窄带宽的全刻蚀光栅滤波器。
关键词
布拉格光栅
波导滤波器
全刻蚀
有限时域差分仿真
折射率差
波长调谐系数
窄带滤波
Keywords
Bragg grating
Waveguide filter
Full-etched
FDTD simulation
Refractive index contrast
Wavelength tuning coefficient
Narrow band filtering
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
全刻蚀型布拉格波导光栅滤波性能研究
刘启发
朱莉辉
徐许
冯柯瑞
成谢锋
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
1
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