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Zr/ZrVFe多孔吸气材料的表面改性研究
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作者 孙雯君 冯欣格 +2 位作者 宋伊 裴晓强 吴成耀 《真空》 CAS 2022年第6期17-21,共5页
采用磁控溅射技术在Zr/ZrVFe多孔吸气剂表面制备不同厚度的Ni膜,研究了Ni膜对吸气剂吸气性能的影响,利用SEM和EDS技术分析了吸气剂表面形貌及元素组成,通过定容法研究了吸气剂室温吸气性能。结果表明:吸气剂激活过程中,H_(2)O、CO_(2)和... 采用磁控溅射技术在Zr/ZrVFe多孔吸气剂表面制备不同厚度的Ni膜,研究了Ni膜对吸气剂吸气性能的影响,利用SEM和EDS技术分析了吸气剂表面形貌及元素组成,通过定容法研究了吸气剂室温吸气性能。结果表明:吸气剂激活过程中,H_(2)O、CO_(2)和CO/N2在350℃以下就已脱附;当激活温度达到350~450℃时,脱附气体只剩H_(2)和CH_(4),CH_(4)为吸气剂脱附产生的H_(2)与四极质谱计灯丝发生反应所得;制备的Ni膜均匀覆盖在吸气剂表面,不会改变吸气剂的表面形貌;进行Ni膜表面改性后,吸气剂的吸气容量明显增大,且镀膜2h所得吸气剂的平衡压最小,吸附性能最好。 展开更多
关键词 Zr/ZrVFe 多孔吸气材料 表面改性 Ni膜
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