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题名Zr/ZrVFe多孔吸气材料的表面改性研究
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作者
孙雯君
冯欣格
宋伊
裴晓强
吴成耀
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机构
兰州大学物理科学与技术学院
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
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出处
《真空》
CAS
2022年第6期17-21,共5页
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文摘
采用磁控溅射技术在Zr/ZrVFe多孔吸气剂表面制备不同厚度的Ni膜,研究了Ni膜对吸气剂吸气性能的影响,利用SEM和EDS技术分析了吸气剂表面形貌及元素组成,通过定容法研究了吸气剂室温吸气性能。结果表明:吸气剂激活过程中,H_(2)O、CO_(2)和CO/N2在350℃以下就已脱附;当激活温度达到350~450℃时,脱附气体只剩H_(2)和CH_(4),CH_(4)为吸气剂脱附产生的H_(2)与四极质谱计灯丝发生反应所得;制备的Ni膜均匀覆盖在吸气剂表面,不会改变吸气剂的表面形貌;进行Ni膜表面改性后,吸气剂的吸气容量明显增大,且镀膜2h所得吸气剂的平衡压最小,吸附性能最好。
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关键词
Zr/ZrVFe
多孔吸气材料
表面改性
Ni膜
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Keywords
Zr/ZrVFe
porous getter
surface modification
Ni film
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分类号
TB741
[一般工业技术—材料科学与工程]
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