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基于离子束抛光的KDP晶体表面嵌入铁粉清洗研究
被引量:
8
1
作者
袁征
戴一帆
+3 位作者
解旭辉
周林
关朝亮
冯殊瑞
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期582-586,597,共6页
磁流变抛光技术是实现KDP晶体超精密加工的新方法,但磁流变液中的铁粉容易嵌入质软的KDP晶体表面。本文提出了利用基于低能离子溅射原理的离子束抛光技术去除KDP表面嵌入的铁粉。利用红外拉曼光谱和白光干涉仪分别分析了低能离子束抛光...
磁流变抛光技术是实现KDP晶体超精密加工的新方法,但磁流变液中的铁粉容易嵌入质软的KDP晶体表面。本文提出了利用基于低能离子溅射原理的离子束抛光技术去除KDP表面嵌入的铁粉。利用红外拉曼光谱和白光干涉仪分别分析了低能离子束抛光前后KDP晶体表面物质结构变化和表面粗糙度的变化;结果显示,低能离子束溅射不改变KDP晶体表面的组成结构,并改善了KDP晶体表面质量,因此离子束抛光可用于KDP晶体的加工;利用飞行时间二次离子质谱分析技术分别对单点金刚石车削、磁流变抛光和低能离子束抛光后的KDP晶体表面进行元素分析,结果显示低能离子束抛光可有效去除磁流变抛光在KDP晶体表面嵌入的铁粉。
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关键词
KDP晶体
磁流变抛光
离子束抛光
铁粉去除
下载PDF
职称材料
离子束加工KDP晶体材料表面粗糙度演变
被引量:
6
2
作者
冯殊瑞
解旭辉
+1 位作者
周林
袁征
《航空精密制造技术》
2012年第6期10-12,17,共4页
针对KDP晶体材料在离子束加工时晶体表面粗糙度变化情况进行了研究,研究了束电压和束电流的大小对KDP晶体表面粗糙度的影响,采用PSD功率谱分析方法探究了KDP晶体在离子束加工前后表面粗糙度频域分布及其演变情况,研究结果表明KDP晶体表...
针对KDP晶体材料在离子束加工时晶体表面粗糙度变化情况进行了研究,研究了束电压和束电流的大小对KDP晶体表面粗糙度的影响,采用PSD功率谱分析方法探究了KDP晶体在离子束加工前后表面粗糙度频域分布及其演变情况,研究结果表明KDP晶体表面粗糙度的变化不仅与加工工艺参数有关还与材料本身性质有关,在采用较大入射角时可以使晶体表面的高频段误差得到改善。
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关键词
KDP晶体
离子束
粗糙度
原文传递
题名
基于离子束抛光的KDP晶体表面嵌入铁粉清洗研究
被引量:
8
1
作者
袁征
戴一帆
解旭辉
周林
关朝亮
冯殊瑞
机构
国防科技大学机电工程与自动化学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期582-586,597,共6页
基金
国家自然科学基金(91023042)
文摘
磁流变抛光技术是实现KDP晶体超精密加工的新方法,但磁流变液中的铁粉容易嵌入质软的KDP晶体表面。本文提出了利用基于低能离子溅射原理的离子束抛光技术去除KDP表面嵌入的铁粉。利用红外拉曼光谱和白光干涉仪分别分析了低能离子束抛光前后KDP晶体表面物质结构变化和表面粗糙度的变化;结果显示,低能离子束溅射不改变KDP晶体表面的组成结构,并改善了KDP晶体表面质量,因此离子束抛光可用于KDP晶体的加工;利用飞行时间二次离子质谱分析技术分别对单点金刚石车削、磁流变抛光和低能离子束抛光后的KDP晶体表面进行元素分析,结果显示低能离子束抛光可有效去除磁流变抛光在KDP晶体表面嵌入的铁粉。
关键词
KDP晶体
磁流变抛光
离子束抛光
铁粉去除
Keywords
KDP crystal
magnetorheological figuring (MRF)
ion beam figuring (IBF)
iron powdersremoving
分类号
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
下载PDF
职称材料
题名
离子束加工KDP晶体材料表面粗糙度演变
被引量:
6
2
作者
冯殊瑞
解旭辉
周林
袁征
机构
国防科学技术大学机电工程与自动化学院
出处
《航空精密制造技术》
2012年第6期10-12,17,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(51105370)
文摘
针对KDP晶体材料在离子束加工时晶体表面粗糙度变化情况进行了研究,研究了束电压和束电流的大小对KDP晶体表面粗糙度的影响,采用PSD功率谱分析方法探究了KDP晶体在离子束加工前后表面粗糙度频域分布及其演变情况,研究结果表明KDP晶体表面粗糙度的变化不仅与加工工艺参数有关还与材料本身性质有关,在采用较大入射角时可以使晶体表面的高频段误差得到改善。
关键词
KDP晶体
离子束
粗糙度
Keywords
potassium dihydengen phosphate crystal
ion beam figuring
surface roughness
分类号
V26 [航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于离子束抛光的KDP晶体表面嵌入铁粉清洗研究
袁征
戴一帆
解旭辉
周林
关朝亮
冯殊瑞
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
8
下载PDF
职称材料
2
离子束加工KDP晶体材料表面粗糙度演变
冯殊瑞
解旭辉
周林
袁征
《航空精密制造技术》
2012
6
原文传递
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参考文献
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