PDMS在使用软光刻技术制作微透镜阵列的转印效果分析

以微透镜阵列为例,分析了在软光刻技术中使用PDMS复制微结构的有效性。首先介绍了制作光刻胶微透镜阵列,使用软光刻技术通过两次转印制作PDMS凹微透镜阵列和凸SU-8微透镜阵列工艺流程;接着叙述了使用金相显微镜和白光干涉轮廓仪对微透镜阵列样品的表面轮廓进行测量的结果,并对样品不同尺寸、不同材料的微透镜阵列样品的测量值以及这些测量值与设计值之间差异进行了分析。分析结果表明,使用PDMS转印光刻胶上的微结构以及将PDMS薄膜作为模板把微结构转印到SU-8表面均是可行的、有效的。

3600kW立式斜流泵驱动电机的设计

本文介绍了大型立式斜流泵驱动电机设计中的一些特殊问题及处理方法。在3600kW、16极电机设计中,与国外同类电机相比,振动小、噪音低、运行稳定。电机通过实际运行,表明设计是成功的。

值得推广的“M”型空-空冷却器

本文主要介绍"M"型空-空冷却器的基本结构,冷却散热的工作原理和主要优点,"M"型空-空冷却器所具有的优点,已经在产品的应用中得到充分的证实。最后简要介绍"M"’型空-空冷却器的设计方法。

3600kW立式斜流泵驱动电动机的设计

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无刷同步电机转子电流测量及旋转整流器故障检测

本文介绍无刷同步电机转子电流的测量方法和旋转整流器故障的监测原理及检测方法。