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几何量纳米计量发展综述
被引量:
1
1
作者
张燕兵
冷德梅
张蕴玉
《宇航计测技术》
CSCD
北大核心
1993年第6期19-25,29,共8页
对国外如何改进线性和角位移计量的传统办法,使之能进行纳米级测量,并应用扫描通道式显微镜(STM)对微观轮廓测量进行了综合分析。
关键词
长度计量
纳米计量
微观轮廓
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职称材料
纳米级计量技术的发展现状及应用
被引量:
1
2
作者
张燕兵
杨光荣
冷德梅
《导弹与航天运载技术》
1994年第6期54-67,共14页
纳米级计量技术是解决目前和未来许多高精度、高分辨力问题的先决条件之一。本文简要地介绍了国内外纳米技术的发展现状及未来的发展趋势,讨论了实现纳米级计量技术的几种方法。通过实例,说明了纳米技术对航天高科技发展的必要性。
关键词
几何量测量
计量
纳米级计量
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职称材料
熔化石英球体体积的确定
3
作者
K.Fujii
R.Masui
+1 位作者
S.Seino
冷德梅
《宇航计测技术》
CSCD
北大核心
1991年第6期23-27,共5页
描述了对水的密度进行绝对测量的熔化石英球体体积的确定。此球体的直径用光学干涉仪测量,即将此球体放置在两个平行标准板之间,而其间距的精确值已知。通过测量每块标准板表面到球体之间的间隙而测得其直径。为了使用精确的分数法,采...
描述了对水的密度进行绝对测量的熔化石英球体体积的确定。此球体的直径用光学干涉仪测量,即将此球体放置在两个平行标准板之间,而其间距的精确值已知。通过测量每块标准板表面到球体之间的间隙而测得其直径。为了使用精确的分数法,采用了两种波长:频率稳定的 He-Ne 激光器为633nm 及 He-Cd 激光器为441nm。详细阐述了为干涉仪克服熔化石英表面的低反射性而采取的特殊安排。同时,也介绍了一种消除由于石英球体的透明性而引起的伪效应的方法。此直径(大约85mm)测得值的标准偏差为5~12nm,体积上就相当于0.16~0.43ppm(1ppm=1×10^(-6)),此体积的总不确定度估计为0.26~0.48ppm。
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关键词
熔化
石英球体
体积
干涉仪
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职称材料
题名
几何量纳米计量发展综述
被引量:
1
1
作者
张燕兵
冷德梅
张蕴玉
机构
中国运载火箭技术研究院
出处
《宇航计测技术》
CSCD
北大核心
1993年第6期19-25,29,共8页
文摘
对国外如何改进线性和角位移计量的传统办法,使之能进行纳米级测量,并应用扫描通道式显微镜(STM)对微观轮廓测量进行了综合分析。
关键词
长度计量
纳米计量
微观轮廓
分类号
TG81 [金属学及工艺—公差测量技术]
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职称材料
题名
纳米级计量技术的发展现状及应用
被引量:
1
2
作者
张燕兵
杨光荣
冷德梅
机构
航天工业总公司航天第一计量测试研究所
出处
《导弹与航天运载技术》
1994年第6期54-67,共14页
文摘
纳米级计量技术是解决目前和未来许多高精度、高分辨力问题的先决条件之一。本文简要地介绍了国内外纳米技术的发展现状及未来的发展趋势,讨论了实现纳米级计量技术的几种方法。通过实例,说明了纳米技术对航天高科技发展的必要性。
关键词
几何量测量
计量
纳米级计量
Keywords
Dimensional measurement,Metering,Development trend.
分类号
O48 [理学—固体物理]
TB91 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
熔化石英球体体积的确定
3
作者
K.Fujii
R.Masui
S.Seino
冷德梅
出处
《宇航计测技术》
CSCD
北大核心
1991年第6期23-27,共5页
文摘
描述了对水的密度进行绝对测量的熔化石英球体体积的确定。此球体的直径用光学干涉仪测量,即将此球体放置在两个平行标准板之间,而其间距的精确值已知。通过测量每块标准板表面到球体之间的间隙而测得其直径。为了使用精确的分数法,采用了两种波长:频率稳定的 He-Ne 激光器为633nm 及 He-Cd 激光器为441nm。详细阐述了为干涉仪克服熔化石英表面的低反射性而采取的特殊安排。同时,也介绍了一种消除由于石英球体的透明性而引起的伪效应的方法。此直径(大约85mm)测得值的标准偏差为5~12nm,体积上就相当于0.16~0.43ppm(1ppm=1×10^(-6)),此体积的总不确定度估计为0.26~0.48ppm。
关键词
熔化
石英球体
体积
干涉仪
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
几何量纳米计量发展综述
张燕兵
冷德梅
张蕴玉
《宇航计测技术》
CSCD
北大核心
1993
1
下载PDF
职称材料
2
纳米级计量技术的发展现状及应用
张燕兵
杨光荣
冷德梅
《导弹与航天运载技术》
1994
1
下载PDF
职称材料
3
熔化石英球体体积的确定
K.Fujii
R.Masui
S.Seino
冷德梅
《宇航计测技术》
CSCD
北大核心
1991
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职称材料
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