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同步辐射光监测系统
1
作者
孙坚
黄英
+4 位作者
陈京涛
刘丽冰
唐鄂生
凌如昭
吴坚武
《北京工业大学学报》
CAS
CSCD
1993年第2期55-59,共5页
北京正负电子对撞机的3B1束线是一条专用光刻束线,光源的性能将影响光刻的质量,必须用特殊的探测方法对光源特性进行监测,为此建立了一套同步辐射光的实时监测系统。
关键词
光刻束线
监测系统
同步辐射光
下载PDF
职称材料
北京同步辐射装置及科学活动家
2
作者
董宝中
唐鄂生
+1 位作者
姜晓明
凌如昭
《物理》
CAS
北大核心
1995年第11期670-674,共5页
简要介绍了北京同步辐射装置(BSRF)及其在生物科学、材料科学、催化剂、地矿和X射线光刻等领域的科学研究进展。
关键词
同步辐射
科学研究
同步辐射装置
原文传递
题名
同步辐射光监测系统
1
作者
孙坚
黄英
陈京涛
刘丽冰
唐鄂生
凌如昭
吴坚武
机构
机械工程学系
中国科学院高能物理所
出处
《北京工业大学学报》
CAS
CSCD
1993年第2期55-59,共5页
文摘
北京正负电子对撞机的3B1束线是一条专用光刻束线,光源的性能将影响光刻的质量,必须用特殊的探测方法对光源特性进行监测,为此建立了一套同步辐射光的实时监测系统。
关键词
光刻束线
监测系统
同步辐射光
Keywords
photoetching beam line, monitored system, microcomputer control
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
北京同步辐射装置及科学活动家
2
作者
董宝中
唐鄂生
姜晓明
凌如昭
机构
中国科学院高能物理研究所
出处
《物理》
CAS
北大核心
1995年第11期670-674,共5页
文摘
简要介绍了北京同步辐射装置(BSRF)及其在生物科学、材料科学、催化剂、地矿和X射线光刻等领域的科学研究进展。
关键词
同步辐射
科学研究
同步辐射装置
分类号
O572.214 [理学—粒子物理与原子核物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
同步辐射光监测系统
孙坚
黄英
陈京涛
刘丽冰
唐鄂生
凌如昭
吴坚武
《北京工业大学学报》
CAS
CSCD
1993
0
下载PDF
职称材料
2
北京同步辐射装置及科学活动家
董宝中
唐鄂生
姜晓明
凌如昭
《物理》
CAS
北大核心
1995
0
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