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自支撑聚酰亚胺/锆膜的制备及性能改善
被引量:
4
1
作者
伍和云
吴永刚
+4 位作者
吕刚
凌磊婕
夏子奂
刘仁臣
唐平林
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期981-984,共4页
采用直流磁控溅射法制备自支撑锆(Zr)膜,采用二步法制备聚酰亚胺(PI)膜,在Zr膜表面沉积PI膜得到自支撑PI/Zr复合膜。均苯四甲酸酐(PMDA)和二甲基二苯醚(ODA)在二甲基乙酰胺(DMAC)中反应得到聚酰胺酸(PAA),然后PAA高温亚胺化得到PI;PI成...
采用直流磁控溅射法制备自支撑锆(Zr)膜,采用二步法制备聚酰亚胺(PI)膜,在Zr膜表面沉积PI膜得到自支撑PI/Zr复合膜。均苯四甲酸酐(PMDA)和二甲基二苯醚(ODA)在二甲基乙酰胺(DMAC)中反应得到聚酰胺酸(PAA),然后PAA高温亚胺化得到PI;PI成膜时采用提拉法成膜。经国家同步辐射实验室计量线站测定,实际测量结果与理论分析一致,PI膜的引入虽然会导致自支撑薄膜透过率有所下降,但在类镍-银软X射线13.9 nm波段PI(200 nm)/Zr(300 nm)和PI(200 nm)/Zr(400 nm)自支撑薄膜的透过率仍然分别达到14.9%和7.5%。
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关键词
自支撑薄膜
聚酰亚胺
聚酰胺酸
二步法
亚胺化
质量吸收系数
下载PDF
职称材料
自支撑Zr膜制备及软X射线透过性能研究
被引量:
2
2
作者
伍和云
吴永刚
+4 位作者
王振华
吕刚
凌磊婕
夏子奂
陈乃波
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期1-4,共4页
软X射线波段滤光膜材料大都为自支撑金属薄膜,实验室环境下自支撑薄膜长期与空气接触表面易氧化,空气中的杂质原子进入自支撑薄膜内部,致使自支撑膜光学性能大幅下降.5 nm至20 nm软X射线波段Zr具有较低的质量吸收系数和较小的密度,在该...
软X射线波段滤光膜材料大都为自支撑金属薄膜,实验室环境下自支撑薄膜长期与空气接触表面易氧化,空气中的杂质原子进入自支撑薄膜内部,致使自支撑膜光学性能大幅下降.5 nm至20 nm软X射线波段Zr具有较低的质量吸收系数和较小的密度,在该波段Zr滤光膜透过率较高.采用脱模剂法制备自支撑Zr膜,在洁净的浮法玻璃上蒸镀一层NaCl做为脱膜剂,直流磁控溅射沉积Zr膜,脱膜后的到自支撑Zr膜.为防止薄膜表面氧化及空气中杂质原子进入薄膜内部,在Zr膜两面各直流磁控溅射沉积一层10 nm厚的C或Si膜作为保护膜,得到C/Zr/C、Si/Zr/Si复合膜,测试结果显示C或Si膜的引入对于自支撑Zr膜光学性能基本无影响.
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关键词
自支撑薄膜
软X射线
脱模剂
磁控溅射
同步辐射
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职称材料
基于针法的平板偏振膜设计
被引量:
4
3
作者
陈乃波
吴永刚
+2 位作者
凌磊婕
焦宏飞
王振华
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期590-596,共7页
利用针(needle)法优化技术,分别以两种不同厚度的高折射率单层膜为初始膜系,设计得到了平板偏振膜。当入射角为56°时,在中心波长1053 nm附近不小于20 nm的带宽范围内,偏振膜的p光反射率Rp<2%,s光反射率Rs>99.5%,且消光比(Tp/...
利用针(needle)法优化技术,分别以两种不同厚度的高折射率单层膜为初始膜系,设计得到了平板偏振膜。当入射角为56°时,在中心波长1053 nm附近不小于20 nm的带宽范围内,偏振膜的p光反射率Rp<2%,s光反射率Rs>99.5%,且消光比(Tp/Ts)>200。角度特性分析结果表明,在入射角由53°增大至59°的过程中,两偏振膜的光学性能均满足设计要求,但偏振带却向短波长方向发生了移动,且带宽增大。根据蒙特卡罗容差分析,在各膜层膜厚误差独立的监控方式下,要保证成品率高于90%,则两偏振膜的最大容许膜厚标准偏差分别为1.20%和1.35%。
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关键词
薄膜光学
平板偏振膜设计
针法
容差分析
原文传递
正交双光栅结构的导模共振光谱特性
被引量:
3
4
作者
王振华
吴永刚
+3 位作者
凌磊婕
夏子奂
陈乃波
刘仁臣
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期30-35,共6页
将两个弱调制导模共振光栅相互垂直放置构成新型正交光栅结构。应用严格耦合波理论计算了横电/横磁(TE/TM)偏振光入射时的光谱特性,并分析了该结构的导模共振现象。研究表明,当改变两光栅间隔距离时,正交光栅结构呈现出较大的光谱可...
将两个弱调制导模共振光栅相互垂直放置构成新型正交光栅结构。应用严格耦合波理论计算了横电/横磁(TE/TM)偏振光入射时的光谱特性,并分析了该结构的导模共振现象。研究表明,当改变两光栅间隔距离时,正交光栅结构呈现出较大的光谱可调范围(共振峰间距由0~62.7 nm连续可调);当分别以TE/TM偏振光正入射时,两种偏振光对应的共振波长位置保持不变、光谱曲线相同,相当于平行双光栅结构对应光谱的叠加。TE/TM偏振光倾斜入射时反射峰发生分裂,同时在入射面为P1面时582.3 nm和590.8 nm共振波长位置处,及入射面为P2面时590.8 nm和612.4 nm共振波长位置处呈现出峰位随入射角的增加保持不变的特性。
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关键词
光栅
导模共振
正交光栅
偏振光
严格耦合波理论
原文传递
题名
自支撑聚酰亚胺/锆膜的制备及性能改善
被引量:
4
1
作者
伍和云
吴永刚
吕刚
凌磊婕
夏子奂
刘仁臣
唐平林
机构
同济大学物理系
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期981-984,共4页
基金
国家自然科学基金项目(60977028)
上海市基础重点研究课题(09JC1413800)
文摘
采用直流磁控溅射法制备自支撑锆(Zr)膜,采用二步法制备聚酰亚胺(PI)膜,在Zr膜表面沉积PI膜得到自支撑PI/Zr复合膜。均苯四甲酸酐(PMDA)和二甲基二苯醚(ODA)在二甲基乙酰胺(DMAC)中反应得到聚酰胺酸(PAA),然后PAA高温亚胺化得到PI;PI成膜时采用提拉法成膜。经国家同步辐射实验室计量线站测定,实际测量结果与理论分析一致,PI膜的引入虽然会导致自支撑薄膜透过率有所下降,但在类镍-银软X射线13.9 nm波段PI(200 nm)/Zr(300 nm)和PI(200 nm)/Zr(400 nm)自支撑薄膜的透过率仍然分别达到14.9%和7.5%。
关键词
自支撑薄膜
聚酰亚胺
聚酰胺酸
二步法
亚胺化
质量吸收系数
Keywords
free-standing film
polyimide
polyamic acid
two-step process
imidization
mass absorption coefficient
分类号
O614.412 [理学—无机化学]
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职称材料
题名
自支撑Zr膜制备及软X射线透过性能研究
被引量:
2
2
作者
伍和云
吴永刚
王振华
吕刚
凌磊婕
夏子奂
陈乃波
机构
同济大学物理系
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期1-4,共4页
基金
国家自然科学基金(No.60977028)
上海市基础重点研究课题(No.09JC1413800)资助
文摘
软X射线波段滤光膜材料大都为自支撑金属薄膜,实验室环境下自支撑薄膜长期与空气接触表面易氧化,空气中的杂质原子进入自支撑薄膜内部,致使自支撑膜光学性能大幅下降.5 nm至20 nm软X射线波段Zr具有较低的质量吸收系数和较小的密度,在该波段Zr滤光膜透过率较高.采用脱模剂法制备自支撑Zr膜,在洁净的浮法玻璃上蒸镀一层NaCl做为脱膜剂,直流磁控溅射沉积Zr膜,脱膜后的到自支撑Zr膜.为防止薄膜表面氧化及空气中杂质原子进入薄膜内部,在Zr膜两面各直流磁控溅射沉积一层10 nm厚的C或Si膜作为保护膜,得到C/Zr/C、Si/Zr/Si复合膜,测试结果显示C或Si膜的引入对于自支撑Zr膜光学性能基本无影响.
关键词
自支撑薄膜
软X射线
脱模剂
磁控溅射
同步辐射
Keywords
Self-supported thin film
Extreme Ultra Violet(EUV)
Release agent
Magnetron sputtering
Synchrotron radiation
分类号
O484 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
基于针法的平板偏振膜设计
被引量:
4
3
作者
陈乃波
吴永刚
凌磊婕
焦宏飞
王振华
机构
同济大学物理系
浙江工业大学之江学院理学系
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期590-596,共7页
文摘
利用针(needle)法优化技术,分别以两种不同厚度的高折射率单层膜为初始膜系,设计得到了平板偏振膜。当入射角为56°时,在中心波长1053 nm附近不小于20 nm的带宽范围内,偏振膜的p光反射率Rp<2%,s光反射率Rs>99.5%,且消光比(Tp/Ts)>200。角度特性分析结果表明,在入射角由53°增大至59°的过程中,两偏振膜的光学性能均满足设计要求,但偏振带却向短波长方向发生了移动,且带宽增大。根据蒙特卡罗容差分析,在各膜层膜厚误差独立的监控方式下,要保证成品率高于90%,则两偏振膜的最大容许膜厚标准偏差分别为1.20%和1.35%。
关键词
薄膜光学
平板偏振膜设计
针法
容差分析
Keywords
thin-film optics
thin-film polarizer design
needle method
tolerance analysis
分类号
O484 [理学—固体物理]
原文传递
题名
正交双光栅结构的导模共振光谱特性
被引量:
3
4
作者
王振华
吴永刚
凌磊婕
夏子奂
陈乃波
刘仁臣
机构
同济大学精密光学工程技术研究所
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期30-35,共6页
基金
国家自然科学基金(10576021
60977028)
上海市重点科研项目基金(09JC1413800)资助课题
文摘
将两个弱调制导模共振光栅相互垂直放置构成新型正交光栅结构。应用严格耦合波理论计算了横电/横磁(TE/TM)偏振光入射时的光谱特性,并分析了该结构的导模共振现象。研究表明,当改变两光栅间隔距离时,正交光栅结构呈现出较大的光谱可调范围(共振峰间距由0~62.7 nm连续可调);当分别以TE/TM偏振光正入射时,两种偏振光对应的共振波长位置保持不变、光谱曲线相同,相当于平行双光栅结构对应光谱的叠加。TE/TM偏振光倾斜入射时反射峰发生分裂,同时在入射面为P1面时582.3 nm和590.8 nm共振波长位置处,及入射面为P2面时590.8 nm和612.4 nm共振波长位置处呈现出峰位随入射角的增加保持不变的特性。
关键词
光栅
导模共振
正交光栅
偏振光
严格耦合波理论
Keywords
gratings
guided-mode resonance
orthogonal grating
polarized light
rigorous coupled-wave theory analysis
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
自支撑聚酰亚胺/锆膜的制备及性能改善
伍和云
吴永刚
吕刚
凌磊婕
夏子奂
刘仁臣
唐平林
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
4
下载PDF
职称材料
2
自支撑Zr膜制备及软X射线透过性能研究
伍和云
吴永刚
王振华
吕刚
凌磊婕
夏子奂
陈乃波
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
2
下载PDF
职称材料
3
基于针法的平板偏振膜设计
陈乃波
吴永刚
凌磊婕
焦宏飞
王振华
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
4
原文传递
4
正交双光栅结构的导模共振光谱特性
王振华
吴永刚
凌磊婕
夏子奂
陈乃波
刘仁臣
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
3
原文传递
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