金刚石刀具刃口纳米级别的锋利度是影响超精密加工表面质量特别是表面微观几何形貌的重要因素。针对目前测量中存在的问题,介绍了一种新的使用原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)进行金刚石刀具刃口锋利度检测的方法,该方法首...金刚石刀具刃口纳米级别的锋利度是影响超精密加工表面质量特别是表面微观几何形貌的重要因素。针对目前测量中存在的问题,介绍了一种新的使用原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)进行金刚石刀具刃口锋利度检测的方法,该方法首先利用仿射变换进行截面数据提取,然后利用一种基于曲率的算法求出圆弧拟合点,最后进行了带约束的圆弧拟合,并给出了单截面钝圆半径的计算结果和误差分析。计算结果表明,该方法具有较高的计算精度,与一般圆评定方法相比更加真实地反映刃口轮廓情况。展开更多
有效评价圆弧刃金刚石刀具锋利度的关键是如何准确获取刃口形貌信息,基于此建立了以原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,AFM)和精密气浮主轴为核心部件的测量系统。为了评价系统的测量可靠性,对气浮主轴的回转误差进行了测试;对安装...有效评价圆弧刃金刚石刀具锋利度的关键是如何准确获取刃口形貌信息,基于此建立了以原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,AFM)和精密气浮主轴为核心部件的测量系统。为了评价系统的测量可靠性,对气浮主轴的回转误差进行了测试;对安装回转轴系后的AFM噪声和定位精度进行了测试,结果表明系统的静态噪声值约为5nm,主轴具有较高的定位精度。最后应用测量系统进行了圆弧刃金刚石刀具全刃口锋利度测量实验,首次从整体轮廓上对圆弧刃金刚石刀具的锋利度作出了评价,具有一定的实际意义,为金刚石刀具质量评价提供了参考。展开更多
文摘金刚石刀具刃口纳米级别的锋利度是影响超精密加工表面质量特别是表面微观几何形貌的重要因素。针对目前测量中存在的问题,介绍了一种新的使用原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)进行金刚石刀具刃口锋利度检测的方法,该方法首先利用仿射变换进行截面数据提取,然后利用一种基于曲率的算法求出圆弧拟合点,最后进行了带约束的圆弧拟合,并给出了单截面钝圆半径的计算结果和误差分析。计算结果表明,该方法具有较高的计算精度,与一般圆评定方法相比更加真实地反映刃口轮廓情况。
文摘有效评价圆弧刃金刚石刀具锋利度的关键是如何准确获取刃口形貌信息,基于此建立了以原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,AFM)和精密气浮主轴为核心部件的测量系统。为了评价系统的测量可靠性,对气浮主轴的回转误差进行了测试;对安装回转轴系后的AFM噪声和定位精度进行了测试,结果表明系统的静态噪声值约为5nm,主轴具有较高的定位精度。最后应用测量系统进行了圆弧刃金刚石刀具全刃口锋利度测量实验,首次从整体轮廓上对圆弧刃金刚石刀具的锋利度作出了评价,具有一定的实际意义,为金刚石刀具质量评价提供了参考。