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CVD金刚石膜声学特性的激光超声研究 被引量:1
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作者 潘永东 钱梦录 +1 位作者 刘尔凯 候立 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期329-329,共1页
本文利用激光超声技术测量了CVD金刚石膜的纵波声速。1原理激光超声法就是利用激光照射到固体薄膜试样表面,激发超声波,对此超声波进行检测分析,从而获得材料的声学特性。本文通过测定声脉冲传过试样所需的声时Δt和试样厚度L... 本文利用激光超声技术测量了CVD金刚石膜的纵波声速。1原理激光超声法就是利用激光照射到固体薄膜试样表面,激发超声波,对此超声波进行检测分析,从而获得材料的声学特性。本文通过测定声脉冲传过试样所需的声时Δt和试样厚度L,用公式CL=L/Δt就可以得到薄膜中的纵波声速CL。声脉冲的传播时间Δt,可以采用直达波法和反射回波法测量。直达波法是以激光脉冲为声脉冲产生的时间起点,测量声脉冲透过金刚石膜和铝延迟块的直达声脉冲的声时t和声脉冲仅通过铝延迟块的声时tAL,得到相应声速为:CL=L/Δt=L/(t-tAL)(1)反射回波法是通过测量相邻反射回波之间的声时Δt2L,以及声脉冲来回一次的声程2L,就可用公式(2)得到薄膜的纵波声速:C2L=2L/Δt2L(2)反射回波法可消除耦合层对测量的影响,这对于Δt2L很小的试样,尤其对象金刚石膜有高声速的试样是很合适的。本文采用反射回波法测定金刚石膜的纵波声速,同时用直达波法进行校验和比较。2实验结果与讨论实验样品为人工晶体研究所用EA-HFCVD方法制备的2片Frestanding金刚石膜,厚度分别为0.524mm和0.537mm。样品光照面涂硅油,利用油膜的吸收光能和? 展开更多
关键词 压电薄膜 激光超声 金刚石薄膜 CVD法
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金刚石膜断裂强度分布研究
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作者 刘尔凯 侯立 +2 位作者 玄真武 周兵 蒋正 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第S1期158-,共1页
金刚石膜已在切削刀具、耐磨部件和光学窗口等领域开拓应用。作为光学窗口厚度确定、切削刀具的抗冲击性都与金刚石膜的断裂强度相关。CVD金刚石膜的力学性能的稳定性直接关系到它的应用和市场开发。为此 ,我们对金刚石膜断裂强度—位... 金刚石膜已在切削刀具、耐磨部件和光学窗口等领域开拓应用。作为光学窗口厚度确定、切削刀具的抗冲击性都与金刚石膜的断裂强度相关。CVD金刚石膜的力学性能的稳定性直接关系到它的应用和市场开发。为此 ,我们对金刚石膜断裂强度—位置的关系进行了研究。本文介绍了以三点弯曲法测试金刚石膜不同部位 (中心、边部 )以及实际生产中发现的易裂金刚石膜的断裂强度。结果发现断裂强度确有不同 :膜片中央约 2 5mm直径内断裂强度为6 1 3MPa ,靠近的环部 ( 2 5~ 45mm内 )断裂强度为 734MPa ,同时虽然膜片生长过程基体旋转 ,但因为不同基体部位和水冷套接触不同 ,温度也就不同 ,膜片的断裂强度显示出非轴对称的干扰 ,在直径的两端断裂强度为 794MPa和 6 39MPa。可以有很大差异 ,这些差异显示了生长设备尚有许多地方需要改进 ,以使在基体不同位置的生长条件一致。同时在对投入生产的膜片检验取样方面 ,仅在一个位置取样代表 (照片 )整个膜片质量情况是很粗糙的。我们还对相应的金刚石膜做了拉曼光谱分析 ,结果显示 ,拉曼峰形状 (半高宽和背景 )并非越接近单晶特征断裂强度越高。 展开更多
关键词 金刚石膜 断裂强度 拉曼光谱
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CVD金刚石膜中1145cm^(-1)拉曼峰的研究 被引量:11
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作者 阎研 张树霖 +6 位作者 郝少康 刘尔凯 韩毅松 玄真武 顾长志 刘维 丁明清 《光散射学报》 2004年第2期131-135,共5页
用拉曼光谱手段对CVD方法生长的金刚石膜,特别是其中最有争议的1145cm-1附近的拉曼峰进行了研究。用不同波长激光激发得到此峰的拉曼谱与量子尺寸选择效应所预期规律的相反,反驳了将1145cm-1附近的拉曼峰指认为纳米晶金刚石本征峰的说... 用拉曼光谱手段对CVD方法生长的金刚石膜,特别是其中最有争议的1145cm-1附近的拉曼峰进行了研究。用不同波长激光激发得到此峰的拉曼谱与量子尺寸选择效应所预期规律的相反,反驳了将1145cm-1附近的拉曼峰指认为纳米晶金刚石本征峰的说法。而通过对不同样品的比较,从侧面支持了将它归结为杂质,即反式聚乙炔的指认。更进一步通过分析不同尺寸的样品中杂质峰的相对强度,提出了这个峰的强度或许可以作为金刚石晶粒尺寸判据的建议。 展开更多
关键词 拉曼光谱 纳米材料 金刚石膜 反式聚乙炔
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CVD金刚石膜声学特性的激光超声研究
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作者 潘永东 侯立 刘尔凯 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期132-136,共5页
本文介绍了压电薄膜检测的激光超声系统对CVD金刚石膜声速测量的原理及方法。利用反射回波法对二块金刚石膜试样的纵波声速的测量结果为(2.010±0.014)×104m/s,证实了CVD金刚石膜的高声速特性。
关键词 压电薄膜 激光超声 CVD 金刚石薄膜 声学特性
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燃烧火焰法沉积金刚石膜的生长特性 被引量:3
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作者 陈继锋 侯立 +5 位作者 孙京林 刘尔凯 玄真武 戚立昌 浦新 彭汉德 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 1994年第4期263-268,共6页
我们采用普通的HO2-1型氧-乙炔微型焊炬,沉积出了全范围晶型良好的高质量金刚石膜,并用扫描电镜和激光拉曼散射光谱研究了其生长的区域分布特性。研究表明,金刚石的生长速率、杂质含量及形貌等均呈径向分布,整个生长区域可分... 我们采用普通的HO2-1型氧-乙炔微型焊炬,沉积出了全范围晶型良好的高质量金刚石膜,并用扫描电镜和激光拉曼散射光谱研究了其生长的区域分布特性。研究表明,金刚石的生长速率、杂质含量及形貌等均呈径向分布,整个生长区域可分为中心区、次外环形区和边缘环形区三部分。通过实验和理论上的分析,认为这种金刚石生长的三区分布特性是与火焰中的原子O、-OH基团及内焰与基底交界处各种含碳原子基团如-CH_3、C_2H_2、C_2等在径向上的分布规律相对应的。而这些基团的径向分布则直接受到温度最高且具有很强氧化性的外焰的影响。 展开更多
关键词 薄膜 晶体 气相沉积 金刚石薄膜
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基于大数据驱动下的供应链物流服务升级路径探析 被引量:4
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作者 刘尔凯 《商展经济》 2022年第5期83-85,共3页
在企业供应链物流服务升级的要素中,大数据技术已经成为关键要素,在大数据驱动下,给供应链物流服务的升级带来了诸多可能。目前,大部分企业已经意识到了这点,但是在实际发展中,企业采用何种路径应用大数据于服务升级成为一个难题。本文... 在企业供应链物流服务升级的要素中,大数据技术已经成为关键要素,在大数据驱动下,给供应链物流服务的升级带来了诸多可能。目前,大部分企业已经意识到了这点,但是在实际发展中,企业采用何种路径应用大数据于服务升级成为一个难题。本文基于企业微观层面,通过问卷调查的方式,对大数据驱动下供应链物流服务升级路径进行了分析探讨,指出了目前物流服务升级中的问题和需求,重点从四个方面探析了供应链物流服务升级路径,旨在为提升供应链物流服务的效率和水平、推动物流业的高效发展提供理论依据。 展开更多
关键词 大数据驱动 供应链物流 服务升级 问题需求分析 路径分析
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纳米金刚石膜——一种新的具有广阔应用前景的CVD金刚石 被引量:14
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作者 韩毅松 玄真武 +1 位作者 刘尔凯 侯立 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期158-163,共6页
以氢气为主要反应气体生长的CVD金刚石膜的晶粒尺寸过大限制了它在某些领域的进一步应用。当晶粒组成降到纳米级时 ,金刚石膜会表现出许多优异的性能 ,具有广阔的应用前景。与通常的CVD法生长金刚石的工艺不同 ,氩气在纳米金刚石的生长... 以氢气为主要反应气体生长的CVD金刚石膜的晶粒尺寸过大限制了它在某些领域的进一步应用。当晶粒组成降到纳米级时 ,金刚石膜会表现出许多优异的性能 ,具有广阔的应用前景。与通常的CVD法生长金刚石的工艺不同 ,氩气在纳米金刚石的生长过程中发挥着重要作用。 展开更多
关键词 纳米金刚石膜 应用前景 CVD 化学气相沉积
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硅基底上生长金刚石层细晶粒的研究(英文) 被引量:2
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作者 何敬晖 玄真武 刘尔凯 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期1202-1206,共5页
金刚石/硅声表面波基片的金刚石层晶粒的细化有利于传播损耗的降低,本文采用热丝化学气相沉积法进行了硅基体上沉积细晶粒金刚石工艺的初步探索。探讨了基体温度、气压、氩气和甲烷浓度等因素对金刚石细晶粒生长的影响。对相应样品进行... 金刚石/硅声表面波基片的金刚石层晶粒的细化有利于传播损耗的降低,本文采用热丝化学气相沉积法进行了硅基体上沉积细晶粒金刚石工艺的初步探索。探讨了基体温度、气压、氩气和甲烷浓度等因素对金刚石细晶粒生长的影响。对相应样品进行了扫描电镜和拉曼散射谱分析。结果表明:在低气压范围,相同氩气浓度,随着气压的降低,甲烷浓度也要相应降低,能保证金刚石结晶质量。同时,降低气压达到一定值后,金刚石晶粒尺寸变小,经测试可达到纳米级。 展开更多
关键词 金刚石膜 低气压 细晶粒 拉曼光谱
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CVD法制声表面波基片金刚石层细晶粒的生长研究 被引量:1
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作者 何敬晖 玄真武 刘尔凯 《超硬材料工程》 CAS 2005年第5期9-12,共4页
金刚石/硅声表面波基片的金刚石层晶粒的细化有利于传播能量损耗的降低,采用热丝化学气相沉积法进行了硅基体上沉积细晶粒金刚石工艺的初步探索。探讨了基体温度、气压、氩气和甲烷浓度等因素对金刚石细晶粒生长的影响。对相应样品进行... 金刚石/硅声表面波基片的金刚石层晶粒的细化有利于传播能量损耗的降低,采用热丝化学气相沉积法进行了硅基体上沉积细晶粒金刚石工艺的初步探索。探讨了基体温度、气压、氩气和甲烷浓度等因素对金刚石细晶粒生长的影响。对相应样品进行了扫描电镜和拉曼散射光谱分析。结果表明:在低气压范围、相同氩气浓度下,随着气压的降低,甲烷浓度也要相应降低,才能保证类似的金刚石结晶质量。同时,降低气压达到一定值后,金刚石晶粒尺寸变小,经测试可达到纳米级。 展开更多
关键词 金刚石膜 化学气相沉积法 低气压 细晶粒 拉曼分析
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写给正在念高中的女儿
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作者 刘尔凯 《卓越理财》 2013年第9期99-100,共2页
这是一封父亲给高二女儿的信件,在高二下学期期末考试后写给她的。因为在漫漫人生途中,还将有成百上千的人生大考等着我们去面对,而那时将不再仅靠书本、题海找到答案,靠的是你正确的人生观、价值观和世界观,靠的是追求进步和保持... 这是一封父亲给高二女儿的信件,在高二下学期期末考试后写给她的。因为在漫漫人生途中,还将有成百上千的人生大考等着我们去面对,而那时将不再仅靠书本、题海找到答案,靠的是你正确的人生观、价值观和世界观,靠的是追求进步和保持平和的心态。 展开更多
关键词 女儿 高中 人生观 期末考试 下学期 世界观 价值观 高二
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