基于游离磨粒的化学机械抛光材料去除非均匀性形成机制(英文)

本文主要研究硬脆晶体材料化学机械抛光中基片内材料去除非均匀性的形成机理.首先分析了化学机械抛光时抛光机的运动参数对硅片表面上相对速度分布非均匀性、摩擦力分布非均匀性、接触压力分布非均匀性及磨粒运动轨迹密度分布非均匀性的影响规律.然后通过基片内材料去除非均匀性实验,得出了抛光机运动参数对基片表面材料去除非均匀性的影响.通过比较理论分析与实验结果,基片表面上相对速度分布非均匀性、摩擦力分布非均匀性及接触压力分布非均匀性随转速的变化趋势与基片表面材料去除非均匀性的实验结果相差较大,只有磨粒在基片表面上的运动轨迹分布非均匀性与基片表面材料去除非均匀性的实验结果趋势相同.研究结果表明,基片表面材料去除非均匀性是由磨粒在基片表面上的运动轨迹分布非均匀性造成的,充分说明了基片表面材料去除的机械作用主要是磨粒的机械作用.

剧院工程机电施工技术分析

剧院类工程结构复杂、空间高大,且机电系统涉及广泛,在实施阶段需要认真熟悉工程的结构、机电专业系统。熟悉结构的复杂性和特性,掌握观众厅闷顶内、舞台、辅助用房及屋面等区域机电专业系统的分布情况,针对施工阶段存在的困难点进行图纸深化、施工方案编制。通过对剧院类工程涉及机电所在区域的结构特性以及机电专业工序及工艺等方面进行剖析,重点在设备(材料)选型、系统深化设计、声学降噪及施工过程困难点等方面进行分析。进行设备选型满足剧院工程使用效果、进行系统深化设计合理布置系统管线、进行声学降噪确定系统消声措施满足演出效果、进行施工过程困难点分析总结剧院工程施工经验教训。

新式PVC-U风管工艺设计

海外工程风管常用金属风管作为镀锌钢板风管,该类风管制作工艺复杂,体积较大,安装困难,常用非金属风管均为成品风管,现场难以加工,成品尺寸过大导致海运费增加。新式PVC-U风管工艺由聚氯乙烯塑料与金属网(带)复合而成,利用专用胶水及包角件进行固定。其优点主要包括板材及配件质量轻、风管可现场加工制作、质量较轻且安装便利。同时以板材形式进行海运可节省空间、降低海运成本。新式PVC-U风管可应用于所有非排烟系统。

BIM在施工企业的施工阶段落地应用研究

通过对BIM在施工企业落地难的问题进行了研究,运用头脑风暴法和团队列名法对施工企业施工阶段BIM落地难原因进行了分析,得到人才不足,应用软件落后,BIM价值点未充分落实,项目管理未能充分融入BIM技术等四大制约落地的因素。从人,软件,管理,价值点等四大方面,提出了一系列针对性解决方案,从而解决了施工企业BIM落地难题。