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高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅰ.成像原理及仪器特点 被引量:4
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作者 余健业 谢信能 +2 位作者 刘廷壁 邵曼君 黄兰友 《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第1期57-64,共8页
本文简要地叙述了KYKY1500高温环境扫描电镜的一些基本概念:气体的电离效应,背底噪音,偏电压对信号电流的影响及图像形成的原理:并简单地介绍了本电镜的三个主要特殊系统(三级真空系统,环境信号探测系统及高温样品台)的... 本文简要地叙述了KYKY1500高温环境扫描电镜的一些基本概念:气体的电离效应,背底噪音,偏电压对信号电流的影响及图像形成的原理:并简单地介绍了本电镜的三个主要特殊系统(三级真空系统,环境信号探测系统及高温样品台)的结构与特点,此外,又给出了高温样品台中加热炉丝磁场对电子轨迹影响的计算结果。 展开更多
关键词 环境扫描电镜 成像原理 高温样品台 电镜
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