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高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅰ.成像原理及仪器特点
被引量:
4
1
作者
余健业
谢信能
+2 位作者
刘廷壁
邵曼君
黄兰友
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1997年第1期57-64,共8页
本文简要地叙述了KYKY1500高温环境扫描电镜的一些基本概念:气体的电离效应,背底噪音,偏电压对信号电流的影响及图像形成的原理:并简单地介绍了本电镜的三个主要特殊系统(三级真空系统,环境信号探测系统及高温样品台)的...
本文简要地叙述了KYKY1500高温环境扫描电镜的一些基本概念:气体的电离效应,背底噪音,偏电压对信号电流的影响及图像形成的原理:并简单地介绍了本电镜的三个主要特殊系统(三级真空系统,环境信号探测系统及高温样品台)的结构与特点,此外,又给出了高温样品台中加热炉丝磁场对电子轨迹影响的计算结果。
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关键词
环境扫描电镜
成像原理
高温样品台
电镜
下载PDF
职称材料
题名
高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅰ.成像原理及仪器特点
被引量:
4
1
作者
余健业
谢信能
刘廷壁
邵曼君
黄兰友
机构
中国科学院科仪研制中心
中国科学院化工冶金所
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1997年第1期57-64,共8页
文摘
本文简要地叙述了KYKY1500高温环境扫描电镜的一些基本概念:气体的电离效应,背底噪音,偏电压对信号电流的影响及图像形成的原理:并简单地介绍了本电镜的三个主要特殊系统(三级真空系统,环境信号探测系统及高温样品台)的结构与特点,此外,又给出了高温样品台中加热炉丝磁场对电子轨迹影响的计算结果。
关键词
环境扫描电镜
成像原理
高温样品台
电镜
Keywords
Environmental Scanning Electron Microscope(ESEM)\ Image formation\ vaccum system gaseous detector \ hot stage
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅰ.成像原理及仪器特点
余健业
谢信能
刘廷壁
邵曼君
黄兰友
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1997
4
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职称材料
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