动态目标发生器圆鼓图形光刻掩模板的研制

本文详细论述了动态目标发生器圆鼓图形光学刻划掩模板的设计思想及其制作过程，经试刻效果良好．为非球面光刻掩模板的制作开创了一条新途径。

照相制版的计算机处理

本文介绍了应用计算机辅助制版工艺代替传统的刻制红膜或人工绘制放大底图的工艺并展望了新工艺的前景。

《超星S-10》天象仪星板及几种坐标板的加工技术

本文总结了过去天象仪上所用各种分划板的加工工艺的主要缺点,提出了新的加工方法。并对加工设备进行了改进,除采用微机控制外,对模板的定位装置、制板镜头的选择、光源滤色片及感光胶的应用等均作了介绍。并对精度进行了分析。