氮化-超音频淬火复合处理对45钢小模数齿轮淬火裂纹的影响

对45钢小模数齿轮超音频加热淬火裂纹产生的主要原因进行了较详细的分析。最后提出采用液体氮化-超音频加热淬火(复合处理)工艺,取代以前的普通超音频加热淬火处理工艺,彻底解决了该齿轮超音频加热淬火严重开裂问题,取得了很好的效果。

移相掩模技术及其发展前景

移相掩模技术的出现和在高密度微电子器件研制中的成功应用,是近几年来光学微细加工技术发展的最主要成果。本文在具体介绍移相掩模基本原理、结构工艺改进以及最新应用成果的基础上,展望了光学微细加工技术的发展前景。并指出,在大力研制高性能实用步进曝光设备的同时,重点研究移相掩模或移相光刻技术,已成为迅速改变我国光学微细加工技术落后面貌的必由之路。

充满活力的光学微细加工技术

本文简要评述了近年来国外光学微细加工技术的最新进展。常规光学曝光己可满足16MDRAM生产的要求;准分子激光曝光有能力实现64M甚至256MDRAM生产;宽带步进扫描曝光机和激光图形制作系统也在集成电路制造中显示了强大实力。九十年代仍将是光学微细加工技术继续占居主导地位的时代。

高校领导干部务必把讲政治落刽实处

江泽民同志多次强调“领导干部一定要讲政治”。这一重要指示，对于高等院校的领导干部来说，不仅具有极为重要的意义，而且也是很有针对性的。首先，这是社会主义教育的性质和高校的培养目标对高校领导干部的根本要求。教育有着鲜明的社会性和阶级性。为谁服务，培养什么人，始终是教育的一个根本问题。为社会主义现代化建设事业服务，培养能够坚持党的基本路线一百年不动摇的合格建设者和接班人，

移相掩模为光学微细加工技术增添新武器

通过对国外光学微细加工技术发展现状的介绍,和对提高光学成像分辨率的各种途径的分析比较,提出了在加强光学曝光设备和抗蚀剂材料工艺开发的同时,立即着手研究移相掩模技术的主张。

光学光刻在军事微电子器件制造中的作用和地位

光学微细加工技术或称光学技术,是促成集成电路微电子器件的诞生与不断进步的主要微细加工手段。无论是过去还是现在,国外始终都对光学光刻技术设备的发展寄予极大希望与重视,而且在当前通用和军用微电子器件研制、生产中。

治疗顽固性皮肤溃疡30例观察

我们在门诊采用口服中药汤剂及创面外敷中药散剂的方法,治愈顽固性皮肤溃疡30例。报道如下。临床资料：男26例,女4例,年龄最小6岁,最大88岁;病程最短1个月,最长30年。

利用光学移相技术进行精确对准

己开发出一种利用光学移相、傅里叶交换和空间滤波技术,使基片上的对称图形与中间掩模上的移相图形套准的新型精密对准技术。这两个标记之间的对准是用检测基片对准标记反射光的零阶空间频率先强的最小值点来确定的。此最小值是因两对准标记共心时相位将完全抵消而形成的。所进行的理论分析知计算机模拟证明,这种技术不受对准标记图形线宽和台阶高度变化的影响,也不因制有对准标记的基片材料的光学特征变化而变化。初步实验结果与计算值相当一致。从而证明,这种技术不存在利用栅光图形和检测干涉条纹图像这些技术中所存在的模糊问题。现有结果表明,这种技术的套刻精度可优于0.1μm。

45钢小模数齿轮氮化+超音频复合处理的组织与性能研究

45钢小模数齿轮液体氮化+超音频加热淬火复合处理层中,含有1.13%的残余奥氏体,有利于阻止齿轮表面淬火时产生裂纹。而且含氮马氏体具有较高的强韧性、较高的残余压应力、较高的硬度、耐磨性、耐蚀性、耐疲劳性、较好的回火稳定性及自润滑性能,并有较理想的硬度梯度分布,强韧性配合较好。

直流电中药离子导入疗法治疗骨关节病100例临床疗效观察

本文总结了直流电中药离子导入治疗的疗效。其中骨关节炎70例,关节痛15例,坐骨神经痛4例,腰肌劳损2例,肩关节周围炎2例,腰间盘脱出2例,原因不明者5例。显效:疼痛及压痛消失,活动自如,共66例。进步:疼痛消失或显著减轻,压痛及有关临床表现好转,共21例。无效:疼痛无改善,或治疗期间有效,停止治疗后复归如初,共13例。总有效率87％。

认清形势 抓住机遇 开创甘肃广播电视大学改革和发展的新局面

全省广播电视大学教育工作会议今天隆重开幕了。这次会议，是我校历史上一次继往开来，面向新世纪的重要会议。它的任务是，以《关于广播电视大学贯彻(中国教育改革和发展纲要)的意见》为指导，认真贯彻中央电大召开的黄山会议、上海会议精神，正确分析和认识全省电大当前的形势，总结交流电大系统办。

具有绝对波长校准和5瓦平均功率的先进光刻用准分子激光系统

商品化的Lambda248L准分子激光系统已装配一台新研制的波长计。这种自调整式准分子激光器系统能以±0.001um的绝对准确度,稳定工作在248.180～248.580nm间的任一预定波长上。由于应用于远紫外步进机,其波长可绝对依照步进机的不同光路来校准。该改进型248L系统可以5瓦的平均功率工作。文中给出了实验结果。

通过镜头进行圆片—中间掩模对准的远紫外步进机

本文介绍一种具有0.42数值孔径、21.2mm像场尺寸、5×缩小率全石英镜头的新型准分子激光步进机,并报告其设计特色和实验结果。该系统的突出特点之一是采用了工作于633nm波长的直接以中间掩模为基准对准圆片的TTL对准系统。曝光波长同对准波长间焦差大的问题,是用镜头中的专用校正光路来解决的。所用激光器与步进机间的柔性光学接口和控制激光波长的联机校准系统,减轻了以准分子激光器作生产级光学光刻设备新型光源的困难。最后给出了分辨率及套刻精度的实验结果。

交通心肾针刺法治疗失眠

失眠,祖国医学称之为"不得卧"或"不寐"。是指以经常不能获得正常睡眠为特征的一种常见疾病。轻者入眠困难,或入睡后易被惊醒,醒后不能再入睡;严重者可整夜不能入睡,常伴有头痛、头晕、健忘等。