微米光栅加速度计的加工与性能研究(英文)

介绍了一种以微米衍射光栅为敏感元件的微机电加速度计敏感头的加工和性能。硅质量块底部加工有铝反射膜,透明玻璃基底上制作有金微米光栅,中间为空气腔,经硅玻璃阳极键合,构成敏感头的核心敏感部件。光源透过透明基底,照射在光栅上,在反射场内会产生一系列衍射级次,且各级次衍射光强与外界加速度之间呈函数关系。完成了微米光栅加速度计敏感头的加工,搭建了实验测试平台,完成了加速度计的灵敏度以及静电驱动性能测试。为未来新型集成式微米光栅加速度计设计和加工提供参考。

Micrograting Displacement Sensor with Integrated Electrostatic Actuation

A high-resolution micro-grating displacement sensor with diffraction-based and integrated electrostatic actuation is proposed and experimentally demonstrated. The Ai reflecting membrane is fabricated at the bottom of a silicon moving part and the Au micro-gratings are patterned on a transparent substrate. This structure forms a phase sensitive diffraction grating, providing the displacement sensitivity of the micro-grating interferometer. It shows sensitivity adjustment and self-calibration capabilities with electrostatic actuation. Additional system components include a coherent light source, photodiodes, and required electronics. Experimental results show that the displacement sensor has a sensitivity of about 1.8 m V /nm and a resolution of less than 1 nm in the linear region. This displacement sensor is very promising in the fields requiring high sensitivity, broad dynamic range, and immunity to electromagnetic interference.

小卫星增阻主动离轨技术的设计与实践

随着商业航天的蓬勃发展,近几年进入轨道的卫星,特别是低轨小卫星,已呈爆发式增长。按照国防科工局《空间碎片减缓与防护管理办法》等文件要求,低轨卫星应具备主动离轨能力。为此,我们对小卫星的各种离轨手段的技术复杂性、成本、离轨能力等进行了比较及评估,并设计了一种在轨展开式离轨帆,成功应用于2019年1月发射的卫星。卫星在轨试验完成并打开离轨帆后,对轨道衰减情况进行了实测评估。结果表明,为卫星增加离轨帆,将使卫星离轨时间由16年缩短为6年,离轨效果显著,可以在后续卫星设计中推广使用。

基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度特性分析

静电驱动是实现微米光栅加速度计小型化和闭环力反馈控制的关键,其引入的静电刚度对加速度计灵敏度有着重要影响。对基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度特性进行分析。首先,建立了基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度模型。其次,通过MATLBA仿真,得到静电驱动电压与传感器灵敏度的理论关系。最后,对理论分析结果进行了实验验证,结果表明静电刚度可以改善系统刚度,静电电压从1.25V到2.05V等间隔变化时,加速度计的灵敏度由871mV/g变化为1148mV/g,分别相对于禾加电时的灵敏度783mV/g提高了0.46dB到1.66dB,提高了微米光栅加速度计的灵敏度。本文研究内容对集成式闭环微米光栅加速度计的研究提供参考。

有音如雷 有气如霞 杨仁山居士与金陵刻经处

梁启超曾称近代思想界“有一伏流,曰佛学”,此“伏流”的引领者,即是中国近代思想史上的一位重要人物——杨仁山居士。佛教界将居家修道、信佛学佛之人称为居士,杨仁山是近代中国佛教史上一位大居士。他以居士身广弘佛法,促进了中国近代佛教的复兴,被尊为“近代佛教复兴之父”。