-
题名GaN HEMT热特性的反射热成像研究
- 1
-
-
作者
刘智珂
曹炳阳
-
机构
清华大学航天航空学院热科学与动力工程教育部重点实验室
-
出处
《电子与封装》
2024年第11期8-13,共6页
-
基金
国家自然科学基金(52327809,52425601,U20A20301)
国家重点研发计划(2023YFB4404104)。
-
文摘
GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)已在电力电子的诸多领域得到广泛应用,但需要解决高功率密度带来的热瓶颈问题。反射热成像是一种具有高空间分辨率的全场温度成像技术,适用于捕捉HEMT的运行温度,从而制定合适的热管理策略。利用反射热成像系统对6种GaN HEMT的场板和漏极温度分布进行了测试,实验与仿真结果偏差在6%以内。通过热阻分析比较了不同衬底厚度和外延设计对器件热特性的影响,衬底热阻占总热阻的比例超过40%,将衬底厚度从100μm减薄至60μm,热阻降低8.1%,衬底减薄对于热阻的降低影响显著程度高于外延设计变更。上述结果凸显了反射热成像方法用于指导器件热优化的重要性。
-
关键词
GAN
HEMT
反射热成像
温度场
热优化
-
Keywords
GaN HEMT
thermoreflectance thermal imaging
temperature mapping
thermal optimization
-
分类号
TN305.94
[电子电信—物理电子学]
TK311
[动力工程及工程热物理—热能工程]
-
-
题名GaN HEMT热特性的反射热成像研究
- 2
-
-
作者
刘智珂
曹炳阳
-
机构
清华大学航天航空学院热科学与动力工程教育部重点实验室
-
出处
《电子与封装》
2024年第11期8-13,共6页
-
基金
国家自然科学基金(52327809,52425601,U20A20301)
国家重点研发计划(2023YFB4404104)。
-
文摘
GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)已在电力电子的诸多领域得到广泛应用,但需要解决高功率密度带来的热瓶颈问题。反射热成像是一种具有高空间分辨率的全场温度成像技术,适用于捕捉HEMT的运行温度,从而制定合适的热管理策略。利用反射热成像系统对6种GaN HEMT的场板和漏极温度分布进行了测试,实验与仿真结果偏差在6%以内。通过热阻分析比较了不同衬底厚度和外延设计对器件热特性的影响,衬底热阻占总热阻的比例超过40%,将衬底厚度从100μm减薄至60μm,热阻降低8.1%,衬底减薄对于热阻的降低影响显著程度高于外延设计变更。上述结果凸显了反射热成像方法用于指导器件热优化的重要性。
-
关键词
GaN
HEMT
反射热成像
温度场
热优化
-
Keywords
GaN HEMT
thermoreflectance thermal imaging
temperature mapping
thermal optimization
-
分类号
TN305.94
[电子电信—物理电子学]
TK311
[动力工程及工程热物理—热能工程]
-