干涉条纹位相抖动的实时补偿

本文报道了一种干涉条纹锁定系统的原理、装置及实验结果。采用迈克尔逊干涉仪光路,通过位相锁定控制系统,实现了双光路干涉条纹位相抖动的实时补偿。实验表明,位相补偿的效果显著。

定位定量检测光电内窥系统

本文分析定位定量窥测系统设计中普遍存在的问题,提出一种检测方案,并预示窥测仪器的发展趋势。

光学薄膜厚度的监控

提出了一种多层１／４波长膜系的薄膜厚度监控方法．利用这种方法可以在监控过程的同时得到膜层的光学常数且具有监控精度高的优点．

深孔内表面槽纹深度和粗糙度的光切测量

将光切测量法应用于深孔表面槽纹深度和粗糙度的测量，首次推导出适合于柱面的光切测量方程；设计了一种采用自聚焦透镜和光纤束传像与照明的微小测量头。

面阵CCD内窥定位测量中的图像扫描拼接方法及其精度分析

介绍了采用面阵ＣＣＤ的管孔内窥定位测量中的两种图像扫描和拼接方法，给出了其图像拼接方程；并在对其图像拼接精度进行分析的基础上，指出了影响图像拼接精度的主要因素．