高k金属栅NMOSFET器件阈值电压调控方法

实现对器件阈值电压的有效调控是高k金属栅(HKMG)技术面临的一项重要挑战。TiAl薄膜作为n型金属氧化物半导体场效应晶体管(NMOSFET)的功函数层被广泛地应用于HKMG结构中以实现对器件阈值电压的调控。实验采用射频(RF)-直流(DC)磁控溅射的方式沉积TiAl薄膜,通过优化直流功率、射频功率和反应压强工艺参数,实现了对薄膜Ti/Al原子比率的调节,提高了Ti/Al原子比率分布均匀度。基于实验结果,采用后栅工艺流程制造HKMG NMOSFET,讨论不同的Ti/Al原子比率和TiAl层厚度对NMOSFET阈值电压的影响。Ti/Al原子比率增大10%,NMOSFET的阈值电压增加12.6%;TiAl层厚度增加2 nm,NMOSFET的阈值电压下降19.5%。这种方法已经被成功应用于HKMG器件的生产。

如何正确运用法医尸体检验、鉴定书

科学的法医学尸体检验、鉴定书,是审判案件切不可少的重要证据,它对揭露犯罪,证实犯罪,查明案件事实真相,认定作案人等方面都起着独特作用。如何运用尸体检验、鉴定书,主要靠审判人员对鉴定书的正确理解,并从具体案件的实际出发,全面分析,综合研究,做到既要尊重科学,又不盲从,合理的评定与使用其证据价值。从当前司法实践来看,正确掌握和运用尸体检验、鉴定书,笔者以为应注意以下几个问题。