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翘板式射频MEMS开关的研究 |
刘茂哲
李全宝
焦斌斌
高超群
罗小光
景玉鹏
叶甜春
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《微纳电子技术》
CAS
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2008 |
1
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2
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基于单晶硅梁的静电RF MEMS开关 |
刘茂哲
景玉鹏
李全宝
焦斌斌
黄钦文
李超波
欧毅
陈大鹏
叶甜春
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《电子工业专用设备》
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2007 |
3
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3
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绿色二氧化碳超临界清洗设备 |
高超群
李全宝
刘茂哲
景玉鹏
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《微细加工技术》
EI
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2008 |
7
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4
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绿色二氧化碳超流体半导体清洗设备 |
高超群
李全宝
刘茂哲
景玉鹏
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《电子工业专用设备》
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2008 |
6
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5
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电磁驱动RFMEMS开关的研究状况 |
李全宝
景玉鹏
刘茂哲
陈大鹏
欧毅
马瑾
叶甜春
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《电子工业专用设备》
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2007 |
2
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6
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光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器 |
高超群
焦斌斌
刘茂哲
李全宝
杨锴
石莎莉
李志刚
欧毅
景玉鹏
陈大鹏
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《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2008 |
0 |
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