在线湿法刻蚀设备的控制系统

根据在线湿法刻蚀设备的工艺要求及特点,介绍了控制系统的构成,CANopen网络控制方式,以及同步传送、自动补配液、自动清洗等功能,从而保证批量在线生产的工艺效果。