6N电子级氘气的制备与纯化技术研究

电子级氘气在集成电路制造的高温退火工艺中起到关键作用,高端制程工艺要求其纯度高达6N。提出了完整的6N氘气电解制备与纯化技术路线,包括:(1)设计出高效FeNi@ClBC OER催化剂,性能显著优于商用催化剂,提高了催化效率并降低整体能耗;(2)提出了电解阳极端氧气气提脱除重水中氮气等杂质的工艺流程,重水杂质的减少降低了氘气纯化的难度;(3)提出了深度脱氧、脱水工艺流程,筛选出最佳脱氧催化剂和脱水吸附分子筛并对工艺参数进行了优化,实现产品中杂质氧和水含量(体积分数)分别低于1×10^(-8)和1.65×10^(-7)的目标。实验得到的超高纯氘气产品指标达到了6N,满足先进制程集成电路制造需求,为低成本生产超高纯氘气提供了参考。

中国式现代化强国战略:政策特征、逻辑关系及支撑路径——基于教育、科技、人才三合一体系的政策分析

党的二十大提出“实施科教兴国战略,强化现代化建设人才支撑”的战略任务,首次对教育、科技、人才进行统筹安排、一体部署,明确了科教兴国战略在新时代的科学内涵和使命任务。社会主义现代化强国不仅是经济实力、科技实力、综合国力的大幅跃升,更是要坚持创新在我国现代化建设全局中的核心地位,夯实教育、科技、人才的系统性基础性支撑,建成教育强国、科技强国和人才强国。从教育、科技、人才三合一的视角分析“中国式现代化”的应有之义,阐明中国式现代化必然实现高质量教育发展、高水平科技创新、高品质人才培育,坚持教育优先发展、科技自立自强、人才引领驱动的战略定位。在一系列强国战略安排下,通过对党的十八大以来国家和中央部委出台的52份以“教育、科技、人才、创新”为关键词和核心内容的政策文本分析,从政策主题、发布层级和时间跨度等方面进行总结和归纳,提炼出相关代表性文件的战略性、整体性、创新性、指引性、基础性、公平性、专业性、针对性、开放性、精准性等基本特征。基于教育内外部关系规律的认识,阐释教育、科技、人才战略的逻辑关系特征,即必须处理好教育和科技(外部关系规律)与人才(内部关系规律)之间的关系,提出推进中国式现代化应加强党的领导,突出创新引领,坚持人民至上,深化自主培养,夯实教育、科技、人才战略的系统性支撑路径。