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题名硅单晶片镜面吸附物吸附状态的研究
被引量:26
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作者
刘玉岭
刘钠
曹阳
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机构
河北工业大学
北京石化工程公司
北京汽车总公司
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出处
《稀有金属》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第2期85-89,共5页
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文摘
提出了新抛光硅片镜面吸附物吸附动力学过程和优先吸附数学模型及吸附物吸附状态控制机理。
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关键词
硅片
单晶硅
镜面吸附物
吸附状态
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Keywords
Silicon wafer, Adsorption, Mathematical model, Kinetics
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分类号
TN304.12
[电子电信—物理电子学]
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题名硅片抛光雾的分析研究
被引量:7
- 2
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作者
刘玉岭
刘钠
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机构
河北工业大学
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第1期50-51,54,共3页
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文摘
通过试验分析了抛光雾产生的机理和影响因素。在试验的基础上,优化选择了抛光工艺技术,有效地控制了抛光雾,取得较好的结果。
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关键词
硅片
抛光雾
抛光
抛光液
集成电路
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Keywords
Silicon wafer Polishing fog Polishing Polishing compound
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分类号
TN405.2
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名改变老妈的消费“怪癖”
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作者
刘钠
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机构
不详
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出处
《老同志之友(下半月)》
2020年第11期54-54,共1页
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文摘
周末,老妈大包小包地拎回很多水果。打开袋子一看,不是烂的就是瘪的,肯定又是给人家收摊了,本来想吃水果的心情瞬间消失了,我不禁抱怨起来:"每次都买这种水果,钱没少花能吃的却没几个。"老妈叹口气说:"过日子嘛!就是要省吃俭用,像你们这样大手大脚花钱,哪能行啊!"
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关键词
水果
消费
抱怨
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分类号
G62
[文化科学—教育学]
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