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半导体工艺设备维修过程中安全风险管理
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作者 朱超 刘霞美 +1 位作者 王秀海 赵英伟 《设备管理与维修》 2024年第2期1-3,共3页
针对半导体工艺设备特点,对设备维修过程中安全风险因素进行辨识、分类、分析,强化维修过程中安全意识,建立一系列安全体系规章制度。根据工艺设备特点有针对的制定维修安全方案,能够保障设备维修人员安全,规范设备维修流程,同时也提升... 针对半导体工艺设备特点,对设备维修过程中安全风险因素进行辨识、分类、分析,强化维修过程中安全意识,建立一系列安全体系规章制度。根据工艺设备特点有针对的制定维修安全方案,能够保障设备维修人员安全,规范设备维修流程,同时也提升了维修质量,保障半导体工艺设备的正常运行。 展开更多
关键词 半导体工艺设备 设备维修 风险辨识
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Excel统计在半导体设备维修分配管理中的应用 被引量:1
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作者 刘霞美 赵英伟 +2 位作者 王秀海 朱超 吴爱华 《设备管理与维修》 2023年第11期76-78,共3页
为使半导体设备维修任务分配更合理,提出一种利用Excel表格设计及运用函数公式进行维修人员分配的方法。通过对维修单分配过程中分配影响因素的分析,建立维修单分配模型、设计分配统计表,插入了窗体控件。通过对控件的设置、多个日期函... 为使半导体设备维修任务分配更合理,提出一种利用Excel表格设计及运用函数公式进行维修人员分配的方法。通过对维修单分配过程中分配影响因素的分析,建立维修单分配模型、设计分配统计表,插入了窗体控件。通过对控件的设置、多个日期函数及条件格式的应用,实现了自动变换日期与非工作日特殊标记,提高半导体设备维修分配管理与统计的效率,保证半导体设备维修分配的合理性。 展开更多
关键词 半导体设备维修 影响因素 分配模型 分配管理
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PCM设备电容参数整体校准方法研究
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作者 乔玉娥 刘霞美 +2 位作者 丁晨 朱超 吴爱华 《计量学报》 CSCD 北大核心 2023年第6期962-967,共6页
半导体行业中普遍使用的工艺过程监控设备(PCM设备),是芯片产品中测环节必不可少的测量设备。PCM设备电容参数的准确测量,是保证与电容制作相关工艺参数的重要手段。针对国内PCM设备电容参数暂无溯源途径现状,根据其测试原理,研究了基... 半导体行业中普遍使用的工艺过程监控设备(PCM设备),是芯片产品中测环节必不可少的测量设备。PCM设备电容参数的准确测量,是保证与电容制作相关工艺参数的重要手段。针对国内PCM设备电容参数暂无溯源途径现状,根据其测试原理,研究了基于在片电容标准件的整体无损校准方法。采用增加绝缘层的半导体工艺,研制了高稳定性、频响至1 MHz、电容低至0.5 pF的在片电容标准件,满足了国内PCM设备电容参数自动校准需求,测量不确定度优于1%。研究了PCM设备电容参数溯源方法,从而保证了芯片产品PCM图形电容量值测量结果的准确一致,提高了计量效率。 展开更多
关键词 计量学 在片电容标准件 工艺过程监控设备 整体校准 定标装置 溯源
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提高瞬态红外设备检测GaNHEMT结温准确度的方法 被引量:5
4
作者 翟玉卫 梁法国 +3 位作者 刘岩 郑世棋 乔玉娥 刘霞美 《中国测试》 北大核心 2017年第5期20-25,共6页
用高空间分辨率测温技术与瞬态红外设备测温结果结合的方法提高瞬态红外设备对GaN HEMT结温检测的准确度。对GaN HEMT随脉冲工作条件的结温变化规律进行分析,证明脉冲条件下器件各个位置的瞬时温度与平均温度呈线性关系;依据上述关系,... 用高空间分辨率测温技术与瞬态红外设备测温结果结合的方法提高瞬态红外设备对GaN HEMT结温检测的准确度。对GaN HEMT随脉冲工作条件的结温变化规律进行分析,证明脉冲条件下器件各个位置的瞬时温度与平均温度呈线性关系;依据上述关系,采用各个位置的平均温度(高空间分辨率)对瞬态红外设备检测结果进行修正,有效提高瞬态红外设备检测GaN HEMT时的准确度。用有限元仿真结果验证上述方法的准确性。根据该方法,用高空间分辨率的显微红外测温结果对瞬态红外设备测温结果进行修正,实现2.8μm空间分辨率的瞬态温度检测。该方法可以有效提高瞬态红外设备检测GaN HEMT结温结果的准确度。 展开更多
关键词 热学 瞬态红外 结温 脉冲条件 空间分辨率
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用结构函数法测量GaN HEMT与夹具的界面层热阻 被引量:1
5
作者 翟玉卫 梁法国 +4 位作者 郑世棋 刘岩 吴爱华 乔玉娥 刘霞美 《中国测试》 CAS 北大核心 2018年第1期31-34,共4页
为准确测量Ga N HEMT与夹具界面层的热阻,在两种不同的管壳界面材料条件下,利用经过改进的显微红外热像仪测量Ga N HEMT的降温曲线。采用结构函数算法对两种降温曲线进行分析,得到反映器件各层材料热阻的积分结构函数曲线。利用JESD51-1... 为准确测量Ga N HEMT与夹具界面层的热阻,在两种不同的管壳界面材料条件下,利用经过改进的显微红外热像仪测量Ga N HEMT的降温曲线。采用结构函数算法对两种降温曲线进行分析,得到反映器件各层材料热阻的积分结构函数曲线。利用JESD51-14中的方法分别确定结壳热阻分离点和夹具到热沉的热阻分离点,得到结壳热阻Rj-c为1.078 K/W,夹具到热沉的热阻Rf-s为0.404 K/W。利用两种条件下的总热阻减去结壳热阻和夹具到热沉的热阻得到管壳界面材料热阻,导热硅脂热阻为0.657 K/W,空气介质热阻为1.105 K/W。依据该方法可以实现对界面层热阻的测量。 展开更多
关键词 结构函数 GAN HEMT 热阻 界面层 瞬态双界面法
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数字多用表比率测量功能在标准电阻器校准中的应用 被引量:4
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作者 刘霞美 乔玉娥 +2 位作者 翟玉卫 吴爱华 梁法国 《电子测量技术》 2016年第6期24-27,共4页
为克服传统复杂测量标准电阻器方法的不足,保证快速、准确地对标准电阻器进行校准,提出了一种基于数字多用表8508A真欧姆比率测量功能测量标准电阻的方法,采用直接四线比率测量功能与真欧姆比率测量功能两种方法对标准电阻器进行校准。... 为克服传统复杂测量标准电阻器方法的不足,保证快速、准确地对标准电阻器进行校准,提出了一种基于数字多用表8508A真欧姆比率测量功能测量标准电阻的方法,采用直接四线比率测量功能与真欧姆比率测量功能两种方法对标准电阻器进行校准。校准结果表明,采用真欧姆比率测量能够更好地消除热电势、电路失调的影响,且相对于传统复杂的测量方法,更快捷、方便,在试验的基础上对校准值进行了测量不确定度的分析与评定,更加验证了本校准方法的准确性和可靠性。 展开更多
关键词 标准电阻器 真欧姆比率测量 测量不确定度
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不同脉冲工作条件对GaN HEMT器件结温的影响 被引量:1
7
作者 刘霞美 翟玉卫 +2 位作者 乔玉娥 梁法国 郑世棋 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第6期471-476,共6页
研究了不同脉冲工作条件对GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)结温的影响,通过改变脉冲信号发生器的输出频率和占空比来改变器件的工作条件,利用具备高空间分辨率的显微红外热像仪进行瞬态结温测试。结果表明:器件工作在给定的平均功率下,可... 研究了不同脉冲工作条件对GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)结温的影响,通过改变脉冲信号发生器的输出频率和占空比来改变器件的工作条件,利用具备高空间分辨率的显微红外热像仪进行瞬态结温测试。结果表明:器件工作在给定的平均功率下,可以通过提高脉冲信号占空比和频率来改善器件的寿命和性能可靠性;工作在给定的峰值功率下,可以通过降低脉冲占空比和提高脉冲频率来改善器件的寿命和性能可靠性。沟道温度影响着半导体器件的寿命,因此,可以在器件能够承受的范围内通过改变脉冲占空比和脉冲频率来改善器件的寿命和性能可靠性。 展开更多
关键词 GaN高电子迁移率晶体管(HEMT) 结温 显微红外热像仪 脉冲工作条件 占空比
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显微红外热成像技术在故障定位中的应用 被引量:8
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作者 刘霞美 翟玉卫 +1 位作者 吴爱华 乔玉娥 《计算机与数字工程》 2015年第1期133-136,共4页
电子元器件是整机的基础,在装备的生产和使用过程中,元器件工作异常将影响整个装备的正常运行,元器件发生故障时,必须迅速、准确地进行故障分析和失效定位,避免军用装备在关键时刻发生故障。显微红外热成像技术是一种对电子元器件的微... 电子元器件是整机的基础,在装备的生产和使用过程中,元器件工作异常将影响整个装备的正常运行,元器件发生故障时,必须迅速、准确地进行故障分析和失效定位,避免军用装备在关键时刻发生故障。显微红外热成像技术是一种对电子元器件的微小面积进行高精度非接触的测量,能够显示元器件的反常热分布,暴露不合理的设计和工艺缺陷。论文介绍了显微红外热像仪的原理及特点,举例说明了显微红外热成像技术在失效分析故障定位中的应用,对元器件的故障失效分析和有效性检测提供了指导作用。 展开更多
关键词 电子元器件 失效分析故障定位 显微红外热成像技术
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1MΩ~100GΩ高值电阻器高精度的校准方法 被引量:1
9
作者 王一帮 郑世棋 +2 位作者 梁法国 乔玉娥 刘霞美 《宇航计测技术》 CSCD 2015年第5期54-56,69,共4页
高阻计、数字源表等仪器在半导体行业有着广泛的应用. 但目前市场上1MΩ-100GΩ高值电阻器准确度(±1. 0x10-3 -±1. 0x10-2)无法满足高阻计、数字源表等仪器电阻参数的溯源需求. 本文提出了一种高精度的高值电阻器的校准方法... 高阻计、数字源表等仪器在半导体行业有着广泛的应用. 但目前市场上1MΩ-100GΩ高值电阻器准确度(±1. 0x10-3 -±1. 0x10-2)无法满足高阻计、数字源表等仪器电阻参数的溯源需求. 本文提出了一种高精度的高值电阻器的校准方法,该方法由两个多功能校准源和指零仪组成的比较电桥实现. 根据校准方法组建了1MΩ-100GΩ测量系统,测量结果的不确定度为3. 0x10-5 -8. 0x10-4,可满足市场上绝大部分高阻测量仪器的校准需求. 展开更多
关键词 高值电阻器 校准方法 高阻计 比较电桥
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一种高精度数字源表小电流校准方法 被引量:1
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作者 刘霞美 吴爱华 +2 位作者 乔玉娥 翟玉卫 郑世棋 《宇航计测技术》 CSCD 2019年第B05期42-46,共5页
针对武器装备科研生产单位计量工作通用要求中TUR不小于4:1的要求,提出了一种利用高值电阻器测量高精度数字源表中纳安、微安量级小电流的间接测量方法,通过对多个型号数字多用表输入阻抗的测量与影响分析,评定了小电流的测量不确定度,... 针对武器装备科研生产单位计量工作通用要求中TUR不小于4:1的要求,提出了一种利用高值电阻器测量高精度数字源表中纳安、微安量级小电流的间接测量方法,通过对多个型号数字多用表输入阻抗的测量与影响分析,评定了小电流的测量不确定度,给出了三个能够满足计量要求的测量标准,通过试验10nA测量点的测量不确定度由7. 0×10^(-4)提高至2. 0×10^(-5),TUR提高了10倍~50倍,不仅满足了规范的要求,更是提高了纳安、微安量级电流参数的测量能力,保证了小电流参数量值的准确、一致。 展开更多
关键词 高精度数字源表 纳安 微安量级电流 高值电阻 输入阻抗
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精密交流数字电桥准确度分析 被引量:1
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作者 刘霞美 吴爱华 +2 位作者 乔玉娥 丁立强 范雅洁 《电子测量技术》 北大核心 2021年第2期61-64,共4页
针对精密交流数字电桥计量与使用过程中,行业内普遍采用基本准确度作为仪器最终技术指标的现状,研究分析了精密交流数字电桥原理及影响测量准确度的因素。详细阐述了数字测量仪最大允许误差的计算方法,以E4980A为典型型号给出了电容参数... 针对精密交流数字电桥计量与使用过程中,行业内普遍采用基本准确度作为仪器最终技术指标的现状,研究分析了精密交流数字电桥原理及影响测量准确度的因素。详细阐述了数字测量仪最大允许误差的计算方法,以E4980A为典型型号给出了电容参数"逐点计算方案",相同测量点的计算结果较传统的计算方法最大相差±11.95%,结果表明所提计算方法能够作为交流数字电桥评价性能指标的准确手段,更好地指导用户正确使用每一个测量点的技术指标,同时避免造成计量人员的误判,具有更高的实用性。 展开更多
关键词 精密交流数字电桥 基本准确度 最大允许误差
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微电子器件红外测温中的发射率测量方法研究 被引量:3
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作者 郑世棋 翟玉卫 刘霞美 《红外》 CAS 2015年第9期25-29,共5页
为了使红外热像仪能够准确测量微电子器件中微米级发热结构的温度,并克服由热胀冷缩引起的器件形变问题,提出了一种单温度发射率测量方法。分析了在用传统的双温度发射率测量方法对微电子器件进行红外检测时热胀冷缩对检测结果的影响。... 为了使红外热像仪能够准确测量微电子器件中微米级发热结构的温度,并克服由热胀冷缩引起的器件形变问题,提出了一种单温度发射率测量方法。分析了在用传统的双温度发射率测量方法对微电子器件进行红外检测时热胀冷缩对检测结果的影响。在温度变换过程中,器件的形变效应会严重影响温度测量结果。提出了一种针对微电子器件显微红外测试的单温度发射率测量方法。该方法只需将被测件保持在一个固定温度下即可对发射率进行测量。理论分析结果表明,该方法与双温度法在最终的测量结果上是等效的。单温度发射率测量方法可以有效避免微电子器件的形变影响,因而可保证温度测量结果的准确性和可靠性。 展开更多
关键词 微电子 显微红外测温 发射率 单温度
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结温准确性对GaN HEMT加速寿命评估的影响 被引量:2
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作者 翟玉卫 程晓辉 +2 位作者 刘岩 郑世棋 刘霞美 《电子产品可靠性与环境试验》 2017年第2期5-9,共5页
通过对阿伦尼斯方程进行研究,指出了结温检测结果的误差将会影响加速寿命试验结果的准确性。根据GaN HEMT加速寿命试验中常用的结温获取方式,分别讨论了采用热阻修正结温和直接测量结温两种方式获取结温对器件寿命评估结果造成的影响。... 通过对阿伦尼斯方程进行研究,指出了结温检测结果的误差将会影响加速寿命试验结果的准确性。根据GaN HEMT加速寿命试验中常用的结温获取方式,分别讨论了采用热阻修正结温和直接测量结温两种方式获取结温对器件寿命评估结果造成的影响。研究了Cree公司GaN HEMT结温测量方法,指出依据显微红外测温结果得到的加速寿命数据与依据有限元仿真得到的加速寿命数据相差近4倍。 展开更多
关键词 氮化镓高电子迁移率晶体管 工作寿命 加速寿命试验 阿伦尼斯方程 结温
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基于红外测温的GaN HEMT器件结构函数法热阻测量
14
作者 翟玉卫 梁法国 +3 位作者 吴爱华 郑世棋 乔玉娥 刘霞美 《电子器件》 CAS 北大核心 2017年第5期1060-1064,共5页
为了准确的测量GaN HEMT的热阻参数,在两种不同的管壳接触热阻条件下,利用经过改进的显微红外热像仪测量了GaN HEMT的降温曲线。采用结构函数算法对两种降温曲线进行分析,得到了反映器件各层材料热阻的积分结构函数曲线。当管壳接触层... 为了准确的测量GaN HEMT的热阻参数,在两种不同的管壳接触热阻条件下,利用经过改进的显微红外热像仪测量了GaN HEMT的降温曲线。采用结构函数算法对两种降温曲线进行分析,得到了反映器件各层材料热阻的积分结构函数曲线。当管壳接触层由空气变化为导热硅脂时,积分结构函数曲线发生了变化。通过结构函数曲线能够明确区分被测件不同层的热阻。可以将被测件的分成7层结构,与器件真实结构基本一致。 展开更多
关键词 热阻测量 结构函数 红外测温 热阻 GAN HEMT 降温曲线
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微小电容测量仪500 fF/1 MHz溯源方法研究
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作者 乔玉娥 刘霞美 +4 位作者 金攀 丁晨 任宇龙 吴爱华 徐燕军 《计量学报》 CSCD 北大核心 2022年第7期934-939,共6页
fF量级高频微小电容测量在军工电子产品领域有着重要作用,针对微小电容测量仪500 fF/1 MHz点无法溯源的现状,研制了惰性气体封装的500 fF高频标准电容器作为传递标准。建立高频小电容测量模型,基于“反算法”估算出500 fF高频标准电容... fF量级高频微小电容测量在军工电子产品领域有着重要作用,针对微小电容测量仪500 fF/1 MHz点无法溯源的现状,研制了惰性气体封装的500 fF高频标准电容器作为传递标准。建立高频小电容测量模型,基于“反算法”估算出500 fF高频标准电容器分布参数,称作“理论推导”溯源方案,不确定度优于0.15%;利用3台同等量级的高频微小电容测量传递标准,称作“计量比对”溯源方案,不确定度优于0.07%。利用以上2种方案对同1台仪器开展溯源,实验数据结果基本一致,能够满足用户使用要求,为更低容值、更高频率的微小电容的溯源提供了可参考的路径。 展开更多
关键词 计量学 微小电容 传递标准 高频标准电容器 反算法 计量比对
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红外测温在半导体器件动态热分析中的应用 被引量:1
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作者 刘霞美 翟玉卫 +1 位作者 吴爱华 乔玉娥 《电子产品可靠性与环境试验》 2016年第1期16-20,共5页
介绍了显微红外热像仪连续稳态测温技术的特点,通过试验说明了连续稳态显微红外测温技术在半导体器件动态热分析中的应用。在器件的结温测试中,通过对器件持续的加电,利用连续稳态显微红外测温技术连续地增加偏执电压的测试,研究了器件... 介绍了显微红外热像仪连续稳态测温技术的特点,通过试验说明了连续稳态显微红外测温技术在半导体器件动态热分析中的应用。在器件的结温测试中,通过对器件持续的加电,利用连续稳态显微红外测温技术连续地增加偏执电压的测试,研究了器件的不同位置在不同的加电条件下的发热情况。另外,在器件的破坏性试验中,利用显微红外热像仪的连续稳态测温技术,研究了器件的终值温度和破坏情况,为设计者改进设计和控制工艺提供了很好的指导。 展开更多
关键词 半导体器件 连续稳态显微红外测温技术 动态热分析
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基于LabVIEW的显微红外图像温度信息分析软件
17
作者 翟玉卫 梁法国 +2 位作者 郑世棋 刘霞美 吴爱华 《现代科学仪器》 2016年第6期90-92,共3页
为了实现对显微红外热像仪测温结果的温度信息提取,基于LabVIEW平台开发了温度分析软件。研究了显微红外热像仪输出TIFF(Tag lmage File Fovmat)图像与温度信息之间的联系,确定温度与图像索引值存在线性的关系,给出了通过图像索引... 为了实现对显微红外热像仪测温结果的温度信息提取,基于LabVIEW平台开发了温度分析软件。研究了显微红外热像仪输出TIFF(Tag lmage File Fovmat)图像与温度信息之间的联系,确定温度与图像索引值存在线性的关系,给出了通过图像索引值确定温度的方法。编写了图像温度信息分析软件,实现了对某一线段或某一矩形区域内全部像素点温度数据的提取和分析,并自动存储在Excel文件中。自主开发的分析软件与显微红外热像仪软件的分析结果最大误差小于1℃。 展开更多
关键词 显微红外热像仪 图像 温度 LABVIEW
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阳光下的快乐——户外活动与幼儿健康教育刍议 被引量:1
18
作者 刘霞美 《新作文(教研)》 2020年第2期0284-0284,共1页
儿童教育家陈鹤琴先生明确提出幼儿园应把健康放在第一位。户外游戏可以增强幼儿的体质,开发儿童的智力,培养儿童优秀的品质,因此,户外游戏是幼儿园健康教育的主要途径之一,因此,户外游戏活动的开展和游戏环境的创设十分重要,让孩子在... 儿童教育家陈鹤琴先生明确提出幼儿园应把健康放在第一位。户外游戏可以增强幼儿的体质,开发儿童的智力,培养儿童优秀的品质,因此,户外游戏是幼儿园健康教育的主要途径之一,因此,户外游戏活动的开展和游戏环境的创设十分重要,让孩子在阳光下快乐玩耍。 展开更多
关键词 幼儿教育 户外活动 健康教育
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用于芯片电容精确测量的在片开路方法研究
19
作者 李灏 乔玉娥 +3 位作者 丁晨 丁立强 刘霞美 吴爱华 《计量学报》 CSCD 北大核心 2022年第5期657-661,共5页
为实现芯片电容参数测量过程中的有效开路,提高在片电容测量的准确性及一致性,针对在片电容开路方法开展了研究工作。通过对标准电容器及开路器原理结构进行分析,结合半导体芯片工艺测试实际需求,设计并制作了在片开路器。在完成在片电... 为实现芯片电容参数测量过程中的有效开路,提高在片电容测量的准确性及一致性,针对在片电容开路方法开展了研究工作。通过对标准电容器及开路器原理结构进行分析,结合半导体芯片工艺测试实际需求,设计并制作了在片开路器。在完成在片电容测试系统搭建基础上,分别利用传统悬空开路法和在片开路法对1 pF量值的在片电容进行了测量。实验数据显示,同悬空开路法相比,在片开路法电容测量结果的准确性及一致性有显著提升,测量重复性可达0.01%,为芯片电容计量测试工作提供了有效开路手段。 展开更多
关键词 计量学 片上电容测量 开路器 标准电容 芯片测试
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